{"id":23635,"date":"2026-05-07T21:09:03","date_gmt":"2026-05-07T21:09:03","guid":{"rendered":"https:\/\/umang.pk\/2026\/05\/07\/%d9%84%d8%aa%da%be%d9%88%da%af%d8%b1%d8%a7%d9%81%db%8c-%db%81%db%8c%d9%86%da%88-%d8%a8%da%a9-%d9%85%d8%b4%db%8c%d9%86%db%8c%da%ba%d8%8c-%d9%85%d8%a7%d8%b1%da%a9%db%8c%d9%b9%d8%b3%d8%8c-%d8%a7%d9%88\/"},"modified":"2026-05-07T21:09:03","modified_gmt":"2026-05-07T21:09:03","slug":"%d9%84%d8%aa%da%be%d9%88%da%af%d8%b1%d8%a7%d9%81%db%8c-%db%81%db%8c%d9%86%da%88-%d8%a8%da%a9-%d9%85%d8%b4%db%8c%d9%86%db%8c%da%ba%d8%8c-%d9%85%d8%a7%d8%b1%da%a9%db%8c%d9%b9%d8%b3%d8%8c-%d8%a7%d9%88","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/umang.pk\/en_us\/2026\/05\/07\/%d9%84%d8%aa%da%be%d9%88%da%af%d8%b1%d8%a7%d9%81%db%8c-%db%81%db%8c%d9%86%da%88-%d8%a8%da%a9-%d9%85%d8%b4%db%8c%d9%86%db%8c%da%ba%d8%8c-%d9%85%d8%a7%d8%b1%da%a9%db%8c%d9%b9%d8%b3%d8%8c-%d8%a7%d9%88\/","title":{"rendered":"\u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06c1\u06cc\u0646\u0688 \u0628\u06a9: \u0645\u0634\u06cc\u0646\u06cc\u06ba\u060c \u0645\u0627\u0631\u06a9\u06cc\u0679\u0633\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0627\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e \u06a9\u06cc \u0627\u06af\u0644\u06cc \u0644\u06c1\u0631"},"content":{"rendered":"<div id=\"\">\n<p>\u0622\u067e \u06a9\u06d2 \u0633\u0645\u0627\u0631\u0679 \u0641\u0648\u0646 \u06a9\u06d2 \u0627\u0646\u062f\u0631 \u0645\u0648\u062c\u0648\u062f \u0686\u067e \u0633\u0628 \u0633\u06d2 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u062f\u0631\u0633\u062a \u0645\u06cc\u0646\u0648\u0641\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0646\u06af \u06a9\u06d2 \u0639\u0645\u0644 \u06a9\u06cc \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u06c1\u06d2 \u062c\u0648 \u0627\u0628 \u062a\u06a9 \u0628\u0646\u06cc \u0646\u0648\u0639 \u0627\u0646\u0633\u0627\u0646 \u0646\u06d2 \u0648\u0636\u0639 \u06a9\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0627\u0633\u06d2 \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2\u060c \u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631\u0632 \u06a9\u0648 \u0635\u0646\u0639\u062a\u06cc \u067e\u06cc\u0645\u0627\u0646\u06d2 \u067e\u0631 \u062a\u0642\u0631\u06cc\u0628\u0627\u064b \u06a9\u0627\u0645\u0644 \u062f\u0631\u0633\u062a\u06af\u06cc \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be \u0633\u0644\u06cc\u06a9\u0648\u0646 \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u067e\u0631 \u0627\u0631\u0628\u0648\u06ba \u0628\u0627\u0631 \u0648\u0627\u0626\u0631\u0633 \u0633\u06d2 \u0686\u06be\u0648\u0679\u06d2 \u067e\u06cc\u0679\u0631\u0646 \u06a9\u06be\u06cc\u0646\u0686\u0646\u0627 \u0686\u0627\u06c1\u06cc\u06d2\u06d4 \u062c\u0648 \u0645\u0634\u06cc\u0646\u06cc\u06ba \u0627\u06cc\u0633\u0627 \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba \u0648\u06c1 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0633\u0633\u0679\u0645 \u06a9\u06c1\u0644\u0627\u062a\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0646 \u06a9\u0648 \u0633\u0645\u062c\u06be\u0646\u0627 \u062c\u062f\u06cc\u062f \u062a\u06a9\u0646\u06cc\u06a9\u06cc \u0645\u0639\u06cc\u0634\u062a \u06a9\u06d2 \u062f\u06be\u0691\u06a9\u062a\u06d2 \u062f\u0644 \u06a9\u0648 \u0633\u0645\u062c\u06be\u0646\u06d2 \u06a9\u06cc \u06a9\u0644\u06cc\u062f \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u06cc\u06c1 \u06c1\u06cc\u0646\u0688 \u0628\u06a9 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0645\u0634\u06cc\u0646\u0648\u06ba \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0627\u06cc\u06a9 \u062c\u0627\u0645\u0639 \u06af\u0627\u0626\u06cc\u0688 \u06c1\u06d2\u060c \u0648\u06c1 \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0627\u06ba \u062c\u0648 \u0627\u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u0628\u0646\u0627\u062a\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0622\u062c \u06a9\u06cc \u0633\u0628 \u0633\u06d2 \u0627\u06c1\u0645 \u062a\u0631\u06cc\u0646 \u0635\u0646\u0639\u062a\u0648\u06ba \u0645\u06cc\u06ba \u0633\u06d2 \u0627\u06cc\u06a9 \u06a9\u06d2 \u0627\u0631\u062f \u06af\u0631\u062f \u0627\u0628\u06be\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u0648\u0626\u06d2 \u0627\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e \u0645\u0627\u062d\u0648\u0644\u06cc\u0627\u062a\u06cc \u0646\u0638\u0627\u0645 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0686\u0627\u06c1\u06d2 \u0622\u067e \u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631 \u06c1\u0648\u06ba\u060c \u0633\u0631\u0645\u0627\u06cc\u06c1 \u06a9\u0627\u0631 \u06c1\u0648\u06ba\u060c \u0628\u0627\u0646\u06cc \u06c1\u0648\u06ba\u060c \u06cc\u0627 \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc \u062d\u06a9\u0645\u062a \u0639\u0645\u0644\u06cc\u060c \u06cc\u06c1 \u06c1\u06cc\u0646\u0688 \u0628\u06a9 \u0622\u067e \u06a9\u0648 \u062a\u06a9\u0646\u06cc\u06a9\u06cc \u0628\u0646\u06cc\u0627\u062f\u06cc \u0628\u0627\u062a\u06cc\u06ba\u060c \u0645\u0633\u0627\u0628\u0642\u062a\u06cc \u0645\u0627\u062d\u0648\u0644\u060c \u0627\u0648\u0631 \u06a9\u0627\u0631\u0648\u0628\u0627\u0631\u06cc \u0633\u06cc\u0627\u0642 \u0648 \u0633\u0628\u0627\u0642 \u0641\u0631\u0627\u06c1\u0645 \u06a9\u0631\u06d2 \u06af\u06cc \u062c\u0633 \u06a9\u06cc \u0622\u067e \u06a9\u0648 \u0627\u0639\u062a\u0645\u0627\u062f \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be \u0627\u0633 \u0641\u06cc\u0644\u0688 \u0645\u06cc\u06ba \u062a\u0634\u0631\u06cc\u0641 \u0644\u06d2 \u062c\u0627\u0646\u06d2 \u06a9\u06cc \u0636\u0631\u0648\u0631\u062a \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<h3 id=\"heading-heres-what-well-cover\">\u06cc\u06c1\u0627\u06ba \u06c1\u0645 \u06a9\u06cc\u0627 \u0627\u062d\u0627\u0637\u06c1 \u06a9\u0631\u06cc\u06ba \u06af\u06d2:<\/h3>\n<ol>\n<li>\n<p>\u062a\u0639\u0627\u0631\u0641: \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06cc\u0648\u06ba \u0627\u06c1\u0645\u06cc\u062a \u0631\u06a9\u06be\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06cc\u0633\u06d2 \u06a9\u0627\u0645 \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u06c1\u06d2: \u0637\u0628\u06cc\u0639\u06cc\u0627\u062a \u0627\u0648\u0631 \u0639\u0645\u0644<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0645\u0634\u06cc\u0646\u0648\u06ba \u06a9\u06cc \u0645\u062e\u062a\u0635\u0631 \u062a\u0627\u0631\u06cc\u062e<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>ASML: \u0627\u06cc\u06a9 \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc \u062c\u0648 \u0627\u06cc\u06a9 \u0686\u0648\u06a9 \u067e\u0648\u0627\u0626\u0646\u0679 \u0628\u0646 \u06af\u0626\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>ASML \u06a9\u06d2 \u062d\u0631\u06cc\u0641: \u062c\u0646\u0627\u062a \u06a9\u0648 \u06a9\u0648\u0646 \u0686\u06cc\u0644\u0646\u062c \u06a9\u0631 \u0631\u06c1\u0627 \u06c1\u06d2\u061f<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06cc \u062c\u063a\u0631\u0627\u0641\u06cc\u0627\u0626\u06cc \u0633\u06cc\u0627\u0633\u062a<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u06a9\u0627 \u0633\u0627\u0645\u0627\u0646 \u0634\u0631\u0648\u0639 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u0627 \u0645\u0627\u062d\u0648\u0644<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0627\u06cc\u06a9\u0648 \u0633\u0633\u0679\u0645 \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e \u06a9\u06cc\u0633\u06d2 \u0628\u0646\u0627\u06cc\u0627 \u062c\u0627\u0626\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u0633\u0631\u0645\u0627\u06cc\u06c1 \u06a9\u0627\u0631\u06cc \u06a9\u06d2 \u0631\u062c\u062d\u0627\u0646\u0627\u062a \u0627\u0648\u0631 \u0641\u0646\u0688\u0646\u06af \u200b\u200b\u06a9\u0627 \u0645\u0627\u062d\u0648\u0644<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u0627 \u0645\u0633\u062a\u0642\u0628\u0644<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u0646\u062a\u06cc\u062c\u06c1<\/p>\n<\/li>\n<\/ol>\n<h2 id=\"heading-introduction-why-lithography-matters\">\u062a\u0639\u0627\u0631\u0641: \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06cc\u0648\u06ba \u0627\u06c1\u0645\u06cc\u062a \u0631\u06a9\u06be\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/h2>\n<p>2023 \u0645\u06cc\u06ba\u060c \u0627\u06cc\u06a9 \u0648\u0627\u062d\u062f EUV \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0645\u0634\u06cc\u0646 ASML \u06a9\u06cc \u0648\u06cc\u0644\u0688\u06c1\u0648\u0648\u0646\u060c \u0646\u06cc\u062f\u0631\u0644\u06cc\u0646\u0688\u0632 \u06a9\u06cc \u0641\u06cc\u06a9\u0679\u0631\u06cc \u0633\u06d2 \u062a\u0627\u0626\u06cc\u0648\u0627\u0646 \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u06cc\u06a9 \u0635\u0627\u0631\u0641 \u06a9\u0648 \u0641\u0631\u0627\u06c1\u0645 \u06a9\u06cc \u06af\u0626\u06cc\u06d4 \u0627\u0633 \u0645\u0634\u06cc\u0646 \u06a9\u0627 \u0648\u0632\u0646 \u062a\u0642\u0631\u06cc\u0628\u0627\u064b 180 \u0679\u0646 \u062a\u06be\u0627\u060c \u0627\u0633\u06d2 \u0644\u06d2 \u062c\u0627\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0627\u06cc\u06a9 \u0648\u0642\u0641 \u0634\u062f\u06c1 \u0628\u0648\u0626\u0646\u06af 747 \u0645\u0627\u0644 \u0628\u0631\u062f\u0627\u0631 \u062c\u06c1\u0627\u0632 \u06a9\u06cc \u0636\u0631\u0648\u0631\u062a \u062a\u06be\u06cc\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0633 \u06a9\u06cc \u0644\u0627\u06af\u062a \u062a\u0642\u0631\u06cc\u0628\u0627\u064b 380 \u0645\u0644\u06cc\u0646 \u0688\u0627\u0644\u0631 \u062a\u06be\u06cc\u06d4<\/p>\n<p>\u0627\u0633 \u0645\u06cc\u06ba 100,000 \u0633\u06d2 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u0627\u0646\u0641\u0631\u0627\u062f\u06cc \u0627\u062c\u0632\u0627\u0621 \u0634\u0627\u0645\u0644 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u0628\u0634\u0645\u0648\u0644 \u062c\u0648\u06c1\u0631\u06cc \u06c1\u0645\u0648\u0627\u0631\u06cc \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u067e\u0627\u0644\u0634 \u06a9\u06cc\u06d2 \u06af\u0626\u06d2 \u0622\u0626\u06cc\u0646\u06d2 \u0627\u0648\u0631 \u0627\u06cc\u06a9 \u0644\u06cc\u0632\u0631 \u0633\u0633\u0679\u0645 \u062c\u0648 \u0641\u06cc \u0633\u06cc\u06a9\u0646\u0688 50\u060c000 \u062f\u0627\u0644\u06cc\u06ba \u0641\u0627\u0626\u0631 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06cc \u0635\u0644\u0627\u062d\u06cc\u062a \u0631\u06a9\u06be\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u06cc\u06c1 \u062a\u0642\u0631\u06cc\u0628\u0627\u064b \u06c1\u0631 \u0644\u062d\u0627\u0638 \u0633\u06d2 \u062a\u062c\u0627\u0631\u062a\u06cc \u0645\u0642\u0627\u0635\u062f \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0628\u0646\u0627\u0626\u06cc \u06af\u0626\u06cc \u0633\u0628 \u0633\u06d2 \u067e\u06cc\u0686\u06cc\u062f\u06c1 \u0645\u0634\u06cc\u0646 \u062a\u06be\u06cc\u06d4<\/p>\n<p>\u0645\u0634\u06cc\u0646\u060c \u062c\u0633\u06d2 ASML NXE:3600D \u06a9\u06c1\u0627 \u062c\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u060c \u0633\u0644\u06cc\u06a9\u0648\u0646 \u067e\u0631 \u0634\u06a9\u0644\u06cc\u06ba \u067e\u0631\u0646\u0679 \u06a9\u0631 \u0633\u06a9\u062a\u06cc \u06c1\u06d2 \u062c\u0648 \u0635\u0631\u0641 13 \u0646\u06cc\u0646\u0648 \u0645\u06cc\u0679\u0631 \u0686\u0648\u0691\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4 \u0627\u0633 \u0646\u0642\u0637\u06c1 \u0646\u0638\u0631 \u0645\u06cc\u06ba \u0688\u0627\u0644\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u0626\u06d2\u060c \u0627\u06cc\u06a9 \u0627\u0646\u0633\u0627\u0646\u06cc \u0628\u0627\u0644 \u062a\u0642\u0631\u06cc\u0628\u0627 70\u060c000 \u0646\u06cc\u0646\u0648 \u0645\u06cc\u0679\u0631 \u0686\u0648\u0691\u0627 \u06c1\u06d2. \u0627\u0633 \u0645\u0634\u06cc\u0646 \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be \u0644\u06af\u0627\u0626\u06d2 \u06af\u0626\u06d2 \u0679\u0631\u0627\u0646\u0632\u0633\u0679\u0631 \u0627\u062a\u0646\u06d2 \u0686\u06be\u0648\u0679\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba \u06a9\u06c1 \u06a9\u0648\u0627\u0646\u0679\u0645 \u0645\u06a9\u06cc\u0646\u06cc\u06a9\u0644 \u0627\u062b\u0631\u0627\u062a \u0627\u0646 \u06a9\u06d2 \u0631\u0648\u06cc\u06d2 \u067e\u0631 \u0627\u062b\u0631 \u0627\u0646\u062f\u0627\u0632 \u06c1\u0648\u0646\u06d2 \u0644\u06af\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p>\u06cc\u06c1 \u06a9\u06cc\u0648\u06ba \u0636\u0631\u0648\u0631\u06cc \u06c1\u06d2\u061f \u0627\u0633 \u06a9\u06cc \u0648\u062c\u06c1 \u06cc\u06c1 \u06c1\u06d2 \u06a9\u06c1 \u06c1\u0631 \u062c\u062f\u06cc\u062f \u0686\u067e \u0644\u06cc\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u0627 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u0648\u0626\u06d2 \u0628\u0646\u0627\u0626\u06cc \u06af\u0626\u06cc \u06c1\u06d2: \u06c1\u0631 GPU \u062c\u0648 AI \u0645\u0627\u0688\u0644\u0632 \u06a9\u0648 \u0637\u0627\u0642\u062a \u062f\u06cc\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u060c \u0688\u06cc\u0679\u0627 \u0633\u06cc\u0646\u0679\u0631 \u0645\u06cc\u06ba \u06c1\u0631 \u067e\u0631\u0648\u0633\u06cc\u0633\u0631\u060c \u06c1\u0631 \u0645\u0648\u0688\u06cc\u0645 \u062c\u0648 \u0627\u0633\u0645\u0627\u0631\u0679 \u0641\u0648\u0646 \u06a9\u0648 5G \u0646\u06cc\u0679 \u0648\u0631\u06a9 \u0633\u06d2 \u062c\u0648\u0691\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 \u0627\u0633 \u0639\u0645\u0644 \u06a9\u0648 \u0627\u0646\u062c\u0627\u0645 \u062f\u06cc\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06cc \u0645\u0634\u06cc\u0646\u06cc\u06ba \u0635\u0631\u0641 \u0627\u0648\u0632\u0627\u0631 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u06cc\u06c1 \u0688\u06cc\u062c\u06cc\u0679\u0644 \u0645\u0639\u06cc\u0634\u062a \u06a9\u06cc \u062c\u0633\u0645\u0627\u0646\u06cc \u0628\u0646\u06cc\u0627\u062f \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0639\u0627\u0644\u0645\u06cc \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0627\u0646\u0688\u0633\u0679\u0631\u06cc \u0646\u06d2 2023 \u0645\u06cc\u06ba 527 \u0628\u0644\u06cc\u0646 \u0688\u0627\u0644\u0631 \u0633\u06d2 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u06a9\u06cc \u0622\u0645\u062f\u0646\u06cc \u062d\u0627\u0635\u0644 \u06a9\u06cc\u06d4 \u0635\u0631\u0641 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06d2 \u0622\u0644\u0627\u062a \u06a9\u0627 \u062d\u0635\u06c1 \u062a\u0642\u0631\u06cc\u0628\u0627\u064b $20 \u0633\u06d2 $25 \u0628\u0644\u06cc\u0646 \u0633\u0627\u0644\u0627\u0646\u06c1 \u0633\u0631\u0645\u0627\u06cc\u06c1 \u062e\u0631\u0686 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0644\u06cc\u06a9\u0646 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06cc \u0627\u0633\u0679\u0631\u06cc\u0679\u062c\u06a9 \u0627\u06c1\u0645\u06cc\u062a \u0627\u0633 \u06a9\u06d2 \u0628\u0631\u0627\u06c1 \u0631\u0627\u0633\u062a \u0645\u0639\u0627\u0634\u06cc \u0627\u062b\u0631\u0627\u062a \u0633\u06d2 \u06a9\u06c1\u06cc\u06ba \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u06c1\u06d2\u06d4 \u0644\u06cc\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc \u067e\u0631 \u06a9\u0646\u0679\u0631\u0648\u0644 \u062f\u0631\u0627\u0635\u0644 \u0627\u0633 \u0628\u0627\u062a \u067e\u0631 \u06a9\u0646\u0679\u0631\u0648\u0644 \u06c1\u06d2 \u06a9\u06c1 \u06a9\u0648\u0646 \u0633\u0628 \u0633\u06d2 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u062c\u062f\u06cc\u062f \u0686\u067e\u0633 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631 \u0633\u06a9\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0633 \u0648\u062c\u06c1 \u0633\u06d2 \u06cc\u06c1 \u06a9\u0646\u0679\u0631\u0648\u0644 \u06c1\u06d2 \u06a9\u06c1 \u06a9\u0648\u0646 \u0645\u0635\u0646\u0648\u0639\u06cc \u0630\u06c1\u0627\u0646\u062a\u060c \u062f\u0641\u0627\u0639\u06cc \u0646\u0638\u0627\u0645\u060c \u0645\u0648\u0627\u0635\u0644\u0627\u062a\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0639\u0645\u0644\u06cc \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 21\u0648\u06cc\u06ba \u0635\u062f\u06cc \u0645\u06cc\u06ba \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc \u06a9\u06d2 \u06c1\u0631 \u062f\u0648\u0633\u0631\u06d2 \u0634\u0639\u0628\u06d2 \u06a9\u06cc \u0642\u06cc\u0627\u062f\u062a \u06a9\u0631 \u0633\u06a9\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u06cc\u06c1\u06cc \u0648\u062c\u06c1 \u06c1\u06d2 \u06a9\u06c1 \u0648\u0627\u0634\u0646\u06af\u0679\u0646 \u0633\u06d2 \u0628\u06cc\u062c\u0646\u06af \u0633\u06d2 \u0628\u0631\u0633\u0644\u0632 \u062a\u06a9 \u06a9\u06cc \u062d\u06a9\u0648\u0645\u062a\u0648\u06ba \u0646\u06d2 \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u0648 \u0642\u0648\u0645\u06cc \u0633\u0644\u0627\u0645\u062a\u06cc \u06a9\u0627 \u0645\u0633\u0626\u0644\u06c1 \u0628\u0646\u0627 \u062f\u06cc\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 \u06cc\u06c1\u06cc \u0648\u062c\u06c1 \u06c1\u06d2 \u06a9\u06c1 ASML \u0645\u0634\u06cc\u0646\u0648\u06ba \u067e\u0631 \u0628\u0631\u0622\u0645\u062f\u06cc \u06a9\u0646\u0679\u0631\u0648\u0644 \u0627\u0645\u0631\u06cc\u06a9\u06c1 \u0627\u0648\u0631 \u0686\u06cc\u0646 \u06a9\u06d2 \u062a\u0639\u0644\u0642\u0627\u062a \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u06cc\u06a9 \u0641\u0644\u06cc\u0634 \u067e\u0648\u0627\u0626\u0646\u0679 \u0628\u0646 \u06af\u06cc\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 \u0627\u0648\u0631 \u06cc\u06c1\u06cc \u0648\u062c\u06c1 \u06c1\u06d2 \u06a9\u06c1 \u0627\u06cc\u06a9 \u0686\u06be\u0648\u0679\u0627 \u0633\u0627 \u0688\u0686 \u0634\u06c1\u0631 \u062c\u0633 \u06a9\u06d2 \u0628\u0627\u0631\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u062a\u0631 \u0644\u0648\u06af\u0648\u06ba \u0646\u06d2 \u06a9\u0628\u06be\u06cc \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u0633\u0646\u0627 \u06c1\u0648\u06af\u0627\u060c \u0632\u0645\u06cc\u0646 \u067e\u0631 \u062d\u06a9\u0645\u062a \u0639\u0645\u0644\u06cc \u06a9\u06d2 \u0644\u062d\u0627\u0638 \u0633\u06d2 \u0633\u0628 \u0633\u06d2 \u0627\u06c1\u0645 \u0645\u0642\u0627\u0645\u0627\u062a \u0645\u06cc\u06ba \u0633\u06d2 \u0627\u06cc\u06a9 \u0628\u0646 \u06af\u06cc\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc \u06a9\u06cc \u0635\u0646\u0639\u062a \u06a9\u0648 \u0633\u0645\u062c\u06be\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u062e\u0648\u0627\u06c1\u0627\u06ba \u06c1\u0631 \u06a9\u0633\u06cc \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2\u060c \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u0648 \u0633\u0645\u062c\u06be\u0646\u0627 \u0627\u0628 \u0627\u062e\u062a\u06cc\u0627\u0631\u06cc \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06c1\u06d2\u06d4 \u06cc\u06c1 \u06c1\u06cc\u0646\u0688 \u0628\u06a9 \u0631\u0648\u0634\u0646\u06cc \u0627\u0648\u0631 \u0633\u0644\u06cc\u06a9\u0648\u0646 \u06a9\u06cc \u0637\u0628\u06cc\u0639\u06cc\u0627\u062a \u0633\u06d2 \u0644\u06d2 \u06a9\u0631 \u062f\u0646\u06cc\u0627 \u06a9\u06d2 \u0633\u0628 \u0633\u06d2 \u0627\u06c1\u0645 \u0633\u0627\u0632\u0648\u0633\u0627\u0645\u0627\u0646 \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u0627\u062f\u0627\u0631\u0648\u06ba \u06a9\u06cc \u06a9\u0627\u0631\u0648\u0628\u0627\u0631\u06cc \u062d\u06a9\u0645\u062a \u0639\u0645\u0644\u06cc\u0648\u06ba \u0633\u06d2 \u0644\u06d2 \u06a9\u0631 \u0645\u06cc\u062f\u0627\u0646 \u0645\u06cc\u06ba \u0633\u0628 \u0633\u06d2 \u0622\u06af\u06d2 \u0627\u0628\u06be\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u0648\u0626\u06d2 \u0622\u063a\u0627\u0632 \u06a9\u06d2 \u0645\u0648\u0627\u0642\u0639 \u062a\u06a9 \u0648\u06c1 \u0633\u0645\u062c\u06be \u0641\u0631\u0627\u06c1\u0645 \u06a9\u0631\u06d2 \u06af\u06cc\u06d4<\/p>\n<h2 id=\"heading-how-lithography-works-the-physics-and-the-process\">\u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06cc\u0633\u06d2 \u06a9\u0627\u0645 \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u06c1\u06d2: \u0637\u0628\u06cc\u0639\u06cc\u0627\u062a \u0627\u0648\u0631 \u0639\u0645\u0644<\/h2>\n<h3 id=\"heading-the-core-concept\">\u0627\u06c1\u0645 \u062a\u0635\u0648\u0631\u0627\u062a<\/h3>\n<p>\u0627\u0633 \u06a9\u06cc \u0633\u0628 \u0633\u06d2 \u0628\u0646\u06cc\u0627\u062f\u06cc \u0633\u0637\u062d \u067e\u0631\u060c \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0627\u06cc\u06a9 \u067e\u0631\u0646\u0679\u0646\u06af \u06a9\u0627 \u0639\u0645\u0644 \u06c1\u06d2\u06d4 \u06cc\u06c1 \u0644\u0641\u0638 \u062e\u0648\u062f \u06cc\u0648\u0646\u0627\u0646\u06cc \u0632\u0628\u0627\u0646 \u06a9\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 <em>\u0633\u0644\u06cc\u0679<\/em> (\u067e\u062a\u06be\u0631) \u0627\u0648\u0631 <em>\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc\u0646<\/em> (\u0644\u06a9\u06be\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2) &#8211; 18\u0648\u06cc\u06ba \u0635\u062f\u06cc \u06a9\u06cc \u0627\u0635\u0644 \u067e\u0631\u0646\u0679\u0646\u06af \u062a\u06a9\u0646\u06cc\u06a9 \u06a9\u0627 \u062d\u0648\u0627\u0644\u06c1 \u062c\u0633 \u0645\u06cc\u06ba \u0641\u0644\u06cc\u0679 \u067e\u062a\u06be\u0631\u0648\u06ba \u06a9\u0648 \u067e\u0631\u0646\u0679\u0646\u06af \u067e\u0644\u06cc\u0679\u0648\u06ba \u06a9\u06d2 \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u06cc\u0627 \u062c\u0627\u062a\u0627 \u062a\u06be\u0627\u06d4 \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0645\u06cc\u0646\u0648\u0641\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0646\u06af \u0645\u06cc\u06ba\u060c &#8216;\u067e\u062a\u06be\u0631&#8217; \u0627\u06cc\u06a9 \u0633\u0644\u06a9\u0627\u0646 \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u06c1\u06d2\u060c \u0627\u0648\u0631 &#8216;\u0633\u06cc\u0627\u06c1\u06cc&#8217; \u06c1\u0644\u06a9\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u06cc\u06c1 \u0639\u0645\u0644 \u0627\u0633 \u0637\u0631\u062d \u0622\u06af\u06d2 \u0628\u0691\u06be\u062a\u0627 \u06c1\u06d2: \u0633\u0644\u06cc\u06a9\u0648\u0646 \u0648\u06cc\u0641\u0631\u0632 \u06a9\u0648 \u0627\u06cc\u06a9 \u06c1\u0644\u06a9\u06d2 \u0633\u06d2 \u062d\u0633\u0627\u0633 \u06a9\u06cc\u0645\u06cc\u06a9\u0644 \u0633\u06d2 \u0644\u06cc\u067e\u062a \u06a9\u06cc\u0627 \u062c\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2 \u062c\u0633\u06d2 \u0641\u0648\u0679\u0648 \u0631\u06cc\u0632\u0633\u0679 \u06a9\u06c1\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u0627\u06cc\u06a9 \u0646\u0645\u0648\u0646\u06c1 \u062c\u0633\u06d2 \u0645\u0627\u0633\u06a9 \u06cc\u0627 \u0631\u06cc\u0679\u06cc\u06a9\u0644 \u06a9\u06c1\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba \u0631\u0648\u0634\u0646\u06cc \u06a9\u06d2 \u0645\u0646\u0628\u0639 \u0627\u0648\u0631 \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u06a9\u06d2 \u062f\u0631\u0645\u06cc\u0627\u0646 \u0631\u06a9\u06be\u0627 \u062c\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 \u062c\u0628 \u0631\u0648\u0634\u0646\u06cc \u0645\u0627\u0633\u06a9 \u06a9\u06d2 \u0630\u0631\u06cc\u0639\u06d2 \u0686\u0645\u06a9\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u060c \u062a\u0648 \u0641\u0648\u0679\u0648 \u0631\u06cc\u0632\u0633\u0679 \u0633\u0631\u06a9\u0679 \u0688\u06cc\u0632\u0627\u0626\u0646 \u067e\u06cc\u0679\u0631\u0646 \u06a9\u06d2 \u0645\u0637\u0627\u0628\u0642 \u0638\u0627\u06c1\u0631 \u06c1\u0648\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0627\u0633 \u06a9\u06d2 \u0628\u0639\u062f \u0628\u06d2 \u0646\u0642\u0627\u0628 (\u06cc\u0627 \u0628\u06d2 \u0646\u0642\u0627\u0628\u060c \u0645\u0632\u0627\u062d\u0645\u062a \u06a9\u06cc \u0642\u0633\u0645 \u067e\u0631 \u0645\u0646\u062d\u0635\u0631) \u0645\u0648\u0627\u062f \u06a9\u0648 \u06a9\u06cc\u0645\u06cc\u0627\u0626\u06cc \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u06c1\u0679\u0627 \u062f\u06cc\u0627 \u062c\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u060c \u062c\u0633 \u0633\u06d2 \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u06a9\u06cc \u0633\u0637\u062d \u067e\u0631 \u0627\u06cc\u06a9 \u062f\u0631\u0633\u062a \u0646\u0645\u0648\u0646\u06c1 \u0631\u06c1 \u062c\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 \u0627\u0633 \u06a9\u06d2 \u0628\u0639\u062f \u0627\u0633 \u067e\u06cc\u0679\u0631\u0646 \u06a9\u0648 \u0633\u0644\u06a9\u0627\u0646 \u0645\u06cc\u06ba \u0645\u0648\u0627\u062f \u06a9\u0648 \u06a9\u06be\u06cc\u0646\u0686\u0646\u06d2\u060c \u062c\u0645\u0639 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06cc\u0627 \u0627\u0645\u067e\u0644\u0627\u0646\u0679 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u06cc\u0627 \u062c\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2 \u062a\u0627\u06a9\u06c1 \u0679\u0631\u0627\u0646\u062c\u0633\u0679\u0631\u0632 \u0627\u0648\u0631 \u0622\u067e\u0633 \u0645\u06cc\u06ba \u062c\u0648\u0691\u06cc\u06ba \u062c\u0648 \u0686\u067e \u0628\u0646\u0627\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p>\u06a9\u0648\u0679\u0646\u06af\u060c \u0627\u06cc\u06a9\u0633\u067e\u0648\u0632\u0646\u06af\u060c \u0688\u06cc\u0648\u0644\u067e\u0646\u06af \u0627\u0648\u0631 \u0627\u06cc\u0646\u0686\u0646\u06af \u06a9\u0627 \u06cc\u06c1 \u0633\u0644\u0633\u0644\u06c1 \u06c1\u0631 \u0686\u067e \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u062f\u0631\u062c\u0646\u0648\u06ba \u0628\u0627\u0631 \u062f\u06c1\u0631\u0627\u06cc\u0627 \u062c\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u060c \u06c1\u0631 \u067e\u0631\u062a \u06a9\u0648 \u0646\u06cc\u0646\u0648 \u0645\u06cc\u0679\u0631 \u06a9\u06cc \u062f\u0631\u0633\u062a\u06af\u06cc \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be \u067e\u0686\u06be\u0644\u06cc \u067e\u0631\u062a \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be \u062c\u0648\u0691\u0627 \u062c\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 \u0627\u06cc\u06a9 \u062c\u062f\u06cc\u062f \u0686\u067e \u06a9\u0648 \u0645\u06a9\u0645\u0644 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 80 \u0633\u06d2 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u0644\u06cc\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0645\u0631\u0627\u062d\u0644 \u06a9\u06cc \u0636\u0631\u0648\u0631\u062a \u067e\u0691 \u0633\u06a9\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<h3 id=\"heading-the-resolution-equation\">\u062d\u0644 \u06a9\u06cc \u0645\u0633\u0627\u0648\u0627\u062a<\/h3>\n<p>\u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06cc \u0628\u0646\u06cc\u0627\u062f\u06cc \u062d\u062f \u0631\u06cc\u0632\u0648\u0644\u0648\u0634\u0646 \u06c1\u06d2\u060c \u06cc\u0627 \u0686\u06be\u0648\u0679\u06cc \u062e\u0635\u0648\u0635\u06cc\u0627\u062a \u06a9\u0648 \u06a9\u0633 \u0637\u0631\u062d \u067e\u0631\u0646\u0679 \u06a9\u06cc\u0627 \u062c\u0627 \u0633\u06a9\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 \u0627\u0633 \u06a9\u0627 \u062a\u0639\u06cc\u0646 Rayleigh \u06a9\u06d2 \u0645\u0639\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u06d2 \u0645\u0637\u0627\u0628\u0642 \u06a9\u06cc\u0627 \u062c\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p><strong>R = k2 \u00d7 (\u03bb\/NA)<\/strong><\/p>\n<p>\u06a9\u06c1\u0627\u06ba:<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p><strong>\u0622\u0631<\/strong> \u06a9\u0645 \u0627\u0632 \u06a9\u0645 \u06af\u0644\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0642\u0627\u0628\u0644 \u062e\u0635\u0648\u0635\u06cc\u062a \u06a9\u0627 \u0633\u0627\u0626\u0632\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>k\u2081<\/strong> \u0639\u0645\u0644 \u067e\u0631 \u0645\u0646\u062d\u0635\u0631 \u0645\u0633\u062a\u0642\u0644 (\u0639\u0627\u0645 \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 0.25\u20130.4)<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0627\u06cc\u0644<\/strong> \u0631\u0648\u0634\u0646\u06cc \u06a9\u06d2 \u0645\u0646\u0628\u0639 \u06a9\u06cc \u0637\u0648\u0644 \u0645\u0648\u062c \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u06a9\u06c1<\/strong> \u0622\u067e\u0679\u06cc\u06a9\u0644 \u0633\u0633\u0679\u0645 \u06a9\u0627 \u0639\u062f\u062f\u06cc \u06cc\u067e\u0631\u0686\u0631 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u06cc\u06c1 \u0645\u0633\u0627\u0648\u0627\u062a \u06c1\u0645\u06cc\u06ba \u062f\u0648 \u0686\u06cc\u0632\u06cc\u06ba \u0628\u062a\u0627\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4 \u0686\u06be\u0648\u0679\u06cc \u062e\u0635\u0648\u0635\u06cc\u0627\u062a \u06a9\u0648 \u067e\u0631\u0646\u0679 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0631\u0648\u0634\u0646\u06cc \u06a9\u06cc \u06a9\u0645 \u0637\u0648\u0644 \u0645\u0648\u062c \u06cc\u0627 \u0628\u0691\u06d2 \u0639\u062f\u062f\u06cc \u06cc\u067e\u0631\u0686\u0631\u0632 (\u0648\u0627\u0626\u0688 \u0627\u06cc\u0646\u06af\u0644 \u0622\u067e\u0679\u06a9\u0633) \u06a9\u06cc \u0636\u0631\u0648\u0631\u062a \u06c1\u0648\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4 \u062f\u0648\u0646\u0648\u06ba \u0637\u0631\u06cc\u0642\u0648\u06ba \u06a9\u0648 \u06a9\u0626\u06cc \u062f\u06c1\u0627\u0626\u06cc\u0648\u06ba \u0633\u06d2 \u062c\u0627\u0631\u062d\u0627\u0646\u06c1 \u0627\u0646\u062f\u0627\u0632 \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u067e\u0646\u0627\u06cc\u0627 \u062c\u0627 \u0631\u06c1\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<h3 id=\"heading-light-sources-from-mercury-to-euv\">\u0631\u0648\u0634\u0646\u06cc \u06a9\u06d2 \u0630\u0631\u0627\u0626\u0639: \u0645\u0631\u06a9\u0631\u06cc \u0633\u06d2 EUV \u062a\u06a9<\/h3>\n<p>\u0627\u0628\u062a\u062f\u0627\u0626\u06cc \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06d2 \u0646\u0638\u0627\u0645\u0648\u06ba \u0645\u06cc\u06ba \u0645\u0631\u06a9\u0631\u06cc \u0622\u0631\u06a9 \u0644\u06cc\u0645\u067e \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u06cc\u06d2 \u062c\u0627\u062a\u06d2 \u062a\u06be\u06d2 \u062c\u0648 \u0645\u062a\u0639\u062f\u062f \u0637\u0648\u0644 \u0645\u0648\u062c\u0648\u06ba \u067e\u0631 \u0631\u0648\u0634\u0646\u06cc \u062e\u0627\u0631\u062c \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u062a\u06be\u06d2\u06d4 \u0635\u0646\u0639\u062a \u0622\u06c1\u0633\u062a\u06c1 \u0622\u06c1\u0633\u062a\u06c1 \u0686\u06be\u0648\u0679\u06cc \u0637\u0648\u0644 \u0645\u0648\u062c \u06a9\u06cc \u0637\u0631\u0641 \u0686\u0644\u06cc \u06af\u0626\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p><strong>G \u0644\u0627\u0626\u0646 (436nm)<\/strong>: 1980 \u06a9\u06cc \u062f\u06c1\u0627\u0626\u06cc \u062a\u06a9 ~ 0.5 \u0645\u0627\u0626\u06a9\u0631\u0648\u0646 \u062a\u06a9 \u06a9\u06cc \u062e\u0635\u0648\u0635\u06cc\u0627\u062a \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u06cc\u0627 \u062c\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>I-line (365 nm)<\/strong>: 1990 \u06a9\u06cc \u062f\u06c1\u0627\u0626\u06cc \u06a9\u06d2 \u0627\u0648\u0627\u0626\u0644 \u0645\u06cc\u06ba \u063a\u0627\u0644\u0628\u060c ~ 0.35 \u0645\u0627\u0626\u06a9\u0631\u0648\u0646 \u0635\u0644\u0627\u062d\u06cc\u062a\u0648\u06ba \u06a9\u06d2 \u0642\u0627\u0628\u0644<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>KrF excimer \u0644\u06cc\u0632\u0631 (248nm)<\/strong>: 1990 \u06a9\u06cc \u062f\u06c1\u0627\u0626\u06cc \u06a9\u06d2 \u0648\u0633\u0637 \u0645\u06cc\u06ba \u062c\u0627\u0631\u06cc \u06a9\u06cc\u0627 \u06af\u06cc\u0627\u060c ~ 0.18 \u0645\u0627\u0626\u06a9\u0631\u0648\u0646 \u062e\u0635\u0648\u0635\u06cc\u0627\u062a \u06a9\u06d2 \u0642\u0627\u0628\u0644<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>ArF excimer \u0644\u06cc\u0632\u0631 (193nm)<\/strong>: 2000 \u06a9\u06cc \u062f\u06c1\u0627\u0626\u06cc \u06a9\u06d2 \u0627\u0648\u0627\u0626\u0644 \u0633\u06d2 \u0627\u0646\u0688\u0633\u0679\u0631\u06cc \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u06cc\u06a9 \u0633\u0631\u06a9\u0631\u062f\u06c1 \u0634\u062e\u0635\u06cc\u062a<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0627\u06d2 \u0622\u0631 \u0627\u06cc\u0641 \u0648\u0633\u0631\u062c\u0646 (193i)<\/strong>: \u0644\u06cc\u0646\u0633 \u0627\u0648\u0631 \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u06a9\u06d2 \u062f\u0631\u0645\u06cc\u0627\u0646 \u067e\u0627\u0646\u06cc (\u0631\u06cc\u0641\u0631\u06cc\u06a9\u0679\u06cc\u0648 \u0627\u0646\u0688\u06cc\u06a9\u0633 ~1.44) \u0628\u06be\u0631 \u06a9\u0631\u060c 40 nm \u0633\u06d2 \u06a9\u0645 \u062e\u0635\u0648\u0635\u06cc\u0627\u062a \u062d\u0627\u0635\u0644 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0645\u0648\u062b\u0631 \u0637\u0648\u0644 \u0645\u0648\u062c \u06a9\u0648 \u06a9\u0645 \u06a9\u06cc\u0627 \u062c\u0627 \u0633\u06a9\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>EUV (13.5nm)<\/strong>: \u0627\u0646\u062a\u06c1\u0627\u0626\u06cc \u0628\u0627\u0644\u0627\u0626\u06d2 \u0628\u0646\u0641\u0634\u06cc \u0634\u0639\u0627\u0639\u0648\u06ba \u06a9\u0627 \u0645\u0648\u062c\u0648\u062f\u06c1 \u0633\u0628 \u0633\u06d2 \u0622\u06af\u06d2\u060c 10 nm \u06cc\u0627 \u0627\u0633 \u0633\u06d2 \u06a9\u0645 \u062e\u0635\u0648\u0635\u06cc\u0627\u062a \u06a9\u0627 \u0627\u062d\u0633\u0627\u0633<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<p>193 nm \u0633\u06d2 13.5 nm \u062a\u06a9 \u0686\u06be\u0644\u0627\u0646\u06af (\u0637\u0648\u0644 \u0645\u0648\u062c \u0645\u06cc\u06ba 14 \u06af\u0646\u0627 \u0633\u06d2 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u06a9\u0645\u06cc) \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0645\u0634\u06cc\u0646\u0631\u06cc \u06a9\u06cc \u0628\u0627\u0644\u06a9\u0644 \u0646\u0626\u06cc \u06a9\u0644\u0627\u0633 \u062f\u0631\u06a9\u0627\u0631 \u062a\u06be\u06cc\u06d4<\/p>\n<p>\u0686\u0648\u0646\u06a9\u06c1 EUV \u0631\u0648\u0634\u0646\u06cc \u0631\u0648\u0627\u06cc\u062a\u06cc \u0634\u06cc\u0634\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u0646\u0633\u0632 \u06a9\u06d2 \u0630\u0631\u06cc\u0639\u06d2 \u0645\u0646\u062a\u0642\u0644 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06a9\u06cc \u062c\u0627 \u0633\u06a9\u062a\u06cc (\u06cc\u06c1 \u062a\u0642\u0631\u06cc\u0628\u0627\u064b \u062a\u0645\u0627\u0645 \u0645\u0648\u0627\u062f \u0633\u06d2 \u062c\u0630\u0628 \u06c1\u0648\u062a\u06cc \u06c1\u06d2)\u060c EUV \u0633\u0633\u0679\u0645 \u0639\u06a9\u0627\u0633\u06cc \u0622\u067e\u0679\u06a9\u0633 \u06a9\u0627 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u06cc\u0639\u0646\u06cc \u06cc\u06c1 \u0627\u06cc\u06a9 \u0622\u0626\u06cc\u0646\u06c1 \u06c1\u06d2 \u062c\u0633 \u0645\u06cc\u06ba \u0645\u0648\u0644\u06cc\u0628\u0688\u06cc\u0646\u0645 \u0627\u0648\u0631 \u0633\u0644\u06cc\u06a9\u0648\u0646 \u06a9\u06cc \u0628\u0627\u0631\u06cc \u0628\u0627\u0631\u06cc \u062a\u06c1\u0648\u06ba \u06a9\u0627 \u0644\u06cc\u067e\u062a \u06c1\u0648\u062a\u0627 \u06c1\u06d2 \u062c\u0633 \u06a9\u06cc \u06c1\u0631 \u067e\u0631\u062a \u0635\u0631\u0641 \u0686\u0646\u062f \u0646\u06cc\u0646\u0648 \u0645\u06cc\u0679\u0631 \u0645\u0648\u0679\u06cc \u06c1\u0648\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u067e\u0648\u0631\u06d2 \u0646\u0638\u0631\u06cc \u0631\u0627\u0633\u062a\u06d2 \u06a9\u0648 \u062a\u0642\u0631\u06cc\u0628\u0627\u064b \u06a9\u0627\u0645\u0644 \u0648\u06cc\u06a9\u06cc\u0648\u0645 \u0645\u06cc\u06ba \u0628\u0631\u0642\u0631\u0627\u0631 \u0631\u06a9\u06be\u0627 \u062c\u0627\u0646\u0627 \u0686\u0627\u06c1\u06cc\u06d2\u06d4 \u0631\u0648\u0634\u0646\u06cc \u06a9\u0627 \u0645\u0646\u0628\u0639 \u062e\u0648\u062f \u0627\u06cc\u06a9 \u06c1\u0627\u0626\u06cc \u067e\u0627\u0648\u0631 CO2 \u0644\u06cc\u0632\u0631 \u06a9\u0648 \u0686\u06be\u0648\u0679\u06d2 \u067e\u06af\u06be\u0644\u06d2 \u06c1\u0648\u0626\u06d2 \u0679\u0646 \u06a9\u06cc \u0628\u0648\u0646\u062f\u0648\u06ba \u067e\u0631 \u0641\u0627\u0626\u0631 \u06a9\u0631\u06a9\u06d2 \u0627\u06cc\u06a9 \u067e\u0644\u0627\u0632\u0645\u0627 \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0628\u0646\u0627\u06cc\u0627 \u06af\u06cc\u0627 \u06c1\u06d2 \u062c\u0648 EUV \u062a\u0627\u0628\u06a9\u0627\u0631\u06cc \u062e\u0627\u0631\u062c \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<h3 id=\"heading-immersion-lithography-and-multiple-patterning\">\u0648\u0633\u0631\u062c\u0646 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0627\u0648\u0631 \u0645\u0644\u0679\u06cc \u067e\u06cc\u0679\u0631\u0646\u0646\u06af<\/h3>\n<p>EUV \u062a\u062c\u0627\u0631\u062a\u06cc \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u0642\u0627\u0628\u0644 \u0639\u0645\u0644 \u06c1\u0648\u0646\u06d2 \u0633\u06d2 \u067e\u06c1\u0644\u06d2\u060c \u0635\u0646\u0639\u062a \u0646\u06d2 \u062f\u0648 \u0627\u06c1\u0645 \u0627\u062e\u062a\u0631\u0627\u0639\u0627\u062a \u06a9\u06d2 \u0630\u0631\u06cc\u0639\u06d2 193nm ArF \u0644\u06cc\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06cc \u0632\u0646\u062f\u06af\u06cc \u06a9\u0648 \u0628\u0691\u06be\u0627\u06cc\u0627\u06d4<\/p>\n<p><strong>\u0648\u0633\u0631\u062c\u0646 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc\u06d4<\/strong> \u0622\u062e\u0631\u06cc \u0644\u06cc\u0646\u0633 \u0639\u0646\u0627\u0635\u0631 \u0627\u0648\u0631 \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u06a9\u06d2 \u062f\u0631\u0645\u06cc\u0627\u0646 \u06c1\u0648\u0627 \u06a9\u06d2 \u0641\u0631\u0642 \u06a9\u0648 \u0627\u0644\u0679\u0631\u0627 \u067e\u06cc\u0648\u0631 \u067e\u0627\u0646\u06cc \u0633\u06d2 \u0628\u062f\u0644 \u062f\u06cc\u0627 \u06af\u06cc\u0627\u06d4<\/p>\n<p>\u0686\u0648\u0646\u06a9\u06c1 \u067e\u0627\u0646\u06cc \u0645\u06cc\u06ba \u06c1\u0648\u0627 \u0633\u06d2 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u0631\u06cc\u0641\u0631\u06cc\u06a9\u0679\u06cc\u0648 \u0627\u0646\u0688\u06cc\u06a9\u0633 \u06c1\u0648\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u060c \u0627\u0633 \u0644\u06cc\u06d2 \u0645\u0648\u062b\u0631 \u0639\u062f\u062f\u06cc \u06cc\u067e\u0631\u0686\u0631 \u0628\u0691\u06be\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u060c \u062c\u0633 \u06a9\u06d2 \u0646\u062a\u06cc\u062c\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba \u0631\u06cc\u0632\u0648\u0644\u0648\u0634\u0646 \u0628\u06c1\u062a\u0631 \u06c1\u0648\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 \u06cc\u06c1 \u0679\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc\u060c TSMC \u06a9\u06cc \u0637\u0631\u0641 \u0633\u06d2 \u067e\u06cc\u0634 \u06a9\u06cc \u06af\u0626\u06cc \u0627\u0648\u0631 ASML \u06a9\u06d2 \u0648\u0633\u0631\u062c\u0646 \u0633\u06a9\u06cc\u0646\u0631\u0632 \u06a9\u06d2 \u0630\u0631\u06cc\u0639\u06d2 \u0644\u0627\u06af\u0648 \u06a9\u06cc \u06af\u0626\u06cc\u060c 193nm \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u0648 \u0646\u0638\u0631\u06cc\u0627\u062a\u06cc \u062e\u0634\u06a9 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06cc \u062d\u062f \u0633\u06d2 \u0628\u06c1\u062a \u0646\u06cc\u0686\u06d2 \u062a\u06a9 \u0628\u0691\u06be\u0627\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p><strong>\u0645\u062a\u0639\u062f\u062f \u067e\u06cc\u0679\u0631\u0646\u0646\u06af<\/strong> \u0627\u06cc\u06a9 \u0648\u0627\u062d\u062f \u0633\u0631\u06a9\u0679 \u067e\u0631\u062a \u0644\u06cc\u06ba \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0633\u06d2 \u062f\u0648\u060c \u062a\u06cc\u0646 \u06cc\u0627 \u0686\u0627\u0631 \u0627\u0644\u06af \u0627\u0644\u06af \u0627\u06cc\u06a9\u0633\u067e\u0648\u0698\u0631\u0632 \u06a9\u06d2 \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u067e\u0631\u0646\u0679 \u06a9\u0631\u06cc\u06ba\u060c \u06c1\u0631 \u0627\u06cc\u06a9 \u06a9\u0648 \u062a\u06be\u0648\u0691\u0627 \u0633\u0627 \u0622\u0641\u0633\u06cc\u0679 \u06a9\u0631\u06cc\u06ba\u06d4 \u0627\u0646 \u0627\u06cc\u06a9\u0633\u067e\u0648\u0698\u0631\u0632 \u06a9\u0648 \u06cc\u06a9\u062c\u0627 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u0633\u06d2 \u0627\u06cc\u0633\u06cc \u062e\u0635\u0648\u0635\u06cc\u0627\u062a \u062d\u0627\u0635\u0644 \u06c1\u0648\u062a\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba \u062c\u0648 \u0633\u0646\u06af\u0644 \u0627\u06cc\u06a9\u0633\u067e\u0648\u0698\u0631 \u0631\u06cc\u0632\u0648\u0644\u0648\u0634\u0646 \u06a9\u06cc \u062d\u062f \u0633\u06d2 \u0686\u06be\u0648\u0679\u06cc \u06c1\u0648\u062a\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p>\u0688\u0628\u0644 \u067e\u06cc\u0679\u0631\u0646\u0646\u06af (LELE &#8211; Litho-Etch-Litho-Etch) \u0646\u06d2 20nm \u0627\u0648\u0631 14nm \u0646\u0648\u0688\u0633 \u06a9\u0648 \u0641\u0639\u0627\u0644 \u06a9\u06cc\u0627\u06d4 \u0686\u0648\u06af\u0646\u06cc \u067e\u06cc\u0679\u0631\u0646\u0646\u06af \u06a9\u0648 10nm \u0627\u0648\u0631 7nm \u062a\u06a9 \u0628\u0691\u06be\u0627 \u062f\u06cc\u0627 \u06af\u06cc\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 \u0645\u062a\u0639\u062f\u062f \u067e\u06cc\u0679\u0631\u0646\u0646\u06af \u06a9\u06cc \u0644\u0627\u06af\u062a \u0627\u0648\u0631 \u067e\u06cc\u0686\u06cc\u062f\u06af\u06cc (\u06c1\u0631 \u0627\u0636\u0627\u0641\u06cc \u0646\u0645\u0627\u0626\u0634 \u0645\u06cc\u06ba \u0648\u0642\u062a\u060c \u0644\u0627\u06af\u062a \u0627\u0648\u0631 \u0635\u0641 \u0628\u0646\u062f\u06cc \u06a9\u06cc \u062e\u0631\u0627\u0628\u06cc \u0634\u0627\u0645\u0644 \u06c1\u0648\u062a\u06cc \u06c1\u06d2) \u0635\u0646\u0639\u062a \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 EUV \u06a9\u06cc \u0637\u0631\u0641 \u062f\u06be\u06a9\u06cc\u0644\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0627\u06cc\u06a9 \u06a9\u0644\u06cc\u062f\u06cc \u0645\u062d\u0631\u06a9 \u0631\u06c1\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<h3 id=\"heading-the-wafer-stage-precision-at-scale\">\u0648\u06cc\u0641\u0631 \u0627\u0633\u0679\u06cc\u062c: \u067e\u06cc\u0645\u0627\u0646\u06d2 \u067e\u0631 \u062f\u0631\u0633\u062a\u06af\u06cc<\/h3>\n<p>\u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06d2 \u0646\u0638\u0627\u0645 \u0635\u0631\u0641 \u0646\u0638\u0631\u06cc \u0622\u0644\u0627\u062a \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u0628\u0644\u06a9\u06c1 \u0627\u0646\u062a\u06c1\u0627\u0626\u06cc \u062f\u0631\u0633\u062a \u0645\u06cc\u06a9\u0627\u0646\u06cc \u0646\u0638\u0627\u0645 \u0628\u06be\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u0627\u0633\u0679\u06cc\u062c \u06a9\u0648 300 \u0645\u0644\u06cc \u0645\u06cc\u0679\u0631 \u0633\u0644\u06a9\u0627\u0646 \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u06a9\u0648 \u0646\u06cc\u0646\u0648 \u0645\u06cc\u0679\u0631 \u06a9\u06d2 \u0627\u0646\u062f\u0631 \u06c1\u0632\u0627\u0631\u0648\u06ba \u0628\u0627\u0631 \u0641\u06cc \u06af\u06be\u0646\u0679\u06c1 \u06a9\u06d2 \u0627\u0646\u062f\u0631 \u0631\u06a9\u06be\u0646\u0627 \u0686\u0627\u06c1\u0626\u06d2 \u062c\u0628 \u06a9\u06c1 \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u0634\u062f\u06cc\u062f \u0631\u0648\u0634\u0646\u06cc \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u0645\u0646\u06d2 \u06c1\u0648\u06d4<\/p>\n<p>\u062c\u062f\u06cc\u062f ASML \u0627\u0633\u06a9\u06cc\u0646\u0631\u0632 2 \u0646\u06cc\u0646\u0648 \u0645\u06cc\u0679\u0631 \u0633\u06d2 \u06a9\u0645 \u06a9\u06cc \u0627\u0648\u0648\u0631\u0644\u06d2 \u062f\u0631\u0633\u062a\u06af\u06cc (\u0648\u06c1 \u062f\u0631\u0633\u062a\u06af\u06cc \u062c\u0633 \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be \u0644\u06af\u0627\u062a\u0627\u0631 \u067e\u0631\u062a\u06cc\u06ba \u0645\u0646\u0633\u0644\u06a9 \u06c1\u0648\u062a\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba) \u062d\u0627\u0635\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u062c\u0648 \u062a\u0642\u0631\u06cc\u0628\u0627\u064b 10 \u0633\u0644\u06cc\u06a9\u0648\u0646 \u0627\u06cc\u0679\u0645\u0648\u06ba \u06a9\u06d2 \u0642\u0637\u0631 \u06a9\u06d2 \u0628\u0631\u0627\u0628\u0631 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u06cc\u06c1 \u062f\u0631\u0633\u062a\u06af\u06cc \u0644\u06cc\u0632\u0631 \u0627\u0646\u0679\u0631\u0641\u06cc\u0648\u0645\u06cc\u0679\u0631\u06cc\u060c \u0628\u0631\u0642\u06cc \u0645\u0642\u0646\u0627\u0637\u06cc\u0633\u06cc \u0627\u06cc\u06a9\u0686\u06cc\u0648\u0679\u0631\u0632 \u0627\u0648\u0631 \u0627\u06cc\u06a9\u0679\u0648 \u0648\u0627\u0626\u0628\u0631\u06cc\u0634\u0646 \u0622\u0626\u0633\u0648\u0644\u06cc\u0634\u0646 \u06a9\u06d2 \u0627\u0645\u062a\u0632\u0627\u062c \u0633\u06d2 \u062d\u0627\u0635\u0644 \u06a9\u06cc \u062c\u0627\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4 \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u0627\u0633\u0679\u06cc\u062c \u0627\u06cc\u06a9 \u0645\u0642\u0646\u0627\u0637\u06cc\u0633\u06cc \u06a9\u0634\u0646 \u067e\u0631 \u062a\u06cc\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2 \u062c\u0648 \u0641\u06cc\u06a9\u0679\u0631\u06cc \u06a9\u06d2 \u0641\u0631\u0634 \u06a9\u06cc \u06a9\u0645\u067e\u0646 \u0633\u06d2 \u0627\u0644\u06af \u062a\u06be\u0644\u06af \u06c1\u0648\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 \u062a\u06be\u0631\u0645\u0644 \u062a\u0648\u0633\u06cc\u0639 \u06a9\u06d2 \u0642\u0627\u0628\u0644 \u062a\u0645\u0627\u0645 \u0627\u062c\u0632\u0627\u0621 \u062f\u0631\u062c\u06c1 \u062d\u0631\u0627\u0631\u062a \u06a9\u0648 \u0645\u0644\u06cc\u06a9\u06cc\u0644\u0648\u0646 \u062f\u0631\u0633\u062a\u06af\u06cc \u067e\u0631 \u06a9\u0646\u0679\u0631\u0648\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<h3 id=\"heading-masks-and-reticles\">\u0645\u0627\u0633\u06a9 \u0627\u0648\u0631 \u0631\u06cc\u0679\u06cc\u06a9\u0644<\/h3>\n<p>\u0645\u0627\u0633\u06a9 (\u06cc\u0627 \u0631\u06cc\u0679\u06cc\u06a9\u0644) \u0648\u06c1 \u0679\u06cc\u0645\u067e\u0644\u06cc\u0679 \u06c1\u06d2 \u062c\u0633 \u0633\u06d2 \u0633\u0631\u06a9\u0679 \u067e\u06cc\u0679\u0631\u0646 \u06a9\u0648 \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u067e\u0631 \u067e\u06cc\u0634 \u06a9\u06cc\u0627 \u062c\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 \u062c\u062f\u06cc\u062f \u0631\u06cc\u0679\u06cc\u06a9\u0644\u0632 \u0627\u0644\u0679\u0631\u0627 \u0641\u0644\u06cc\u0679 \u0641\u06cc\u0648\u0632\u0688 \u0633\u0644\u06cc\u06a9\u0627 \u0634\u06cc\u0634\u06d2 \u0633\u06d2 \u0628\u0646\u06d2 \u06c1\u0648\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba \u062c\u0648 \u06a9\u0631\u0648\u0645\u06cc\u0645 \u06cc\u0627 \u0645\u0648\u0644\u06cc\u0628\u0688\u06cc\u0646\u0645 \u0633\u0644\u0633\u0627\u0626\u06cc\u0688 \u06a9\u06cc \u067e\u062a\u0644\u06cc \u067e\u0631\u062a \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be \u0644\u06cc\u067e\u062a \u06c1\u0648\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p>\u067e\u06cc\u0679\u0631\u0646 \u06a9\u0648 \u0627\u0644\u06cc\u06a9\u0679\u0631\u0627\u0646 \u0628\u06cc\u0645 \u0644\u06cc\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u0627 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u0648\u0626\u06d2 \u0631\u06cc\u0679\u06cc\u06a9\u0644 \u067e\u0631 \u0644\u06a9\u06be\u0627 \u062c\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u060c \u0627\u06cc\u06a9 \u0633\u0633\u062a \u0644\u06cc\u06a9\u0646 \u0627\u0639\u0644\u06cc \u0631\u06cc\u0632\u0648\u0644\u0648\u0634\u0646 \u0639\u0645\u0644 \u062c\u0648 \u062e\u0627\u0635 \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u0645\u0627\u0633\u06a9 \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06c1\u0648\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0686\u0648\u0646\u06a9\u06c1 \u067e\u0631\u0648\u062c\u06cc\u06a9\u0634\u0646 \u0622\u067e\u0679\u06a9\u0633 \u0631\u06cc\u0679\u06cc\u06a9\u0644 \u0627\u0645\u06cc\u062c \u06a9\u0648 4 \u06a9\u06d2 \u0641\u06cc\u06a9\u0679\u0631 \u0633\u06d2 \u06a9\u0645 \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u06c1\u06d2 (\u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u062a\u0631 \u0633\u0633\u0679\u0645\u0632 \u0645\u06cc\u06ba)\u060c \u0631\u06cc\u0679\u06cc\u06a9\u0644 \u0641\u06cc\u0686\u0631 \u067e\u0631\u0646\u0679 \u0634\u062f\u06c1 \u0641\u06cc\u0686\u0631 \u0633\u06d2 4 \u06af\u0646\u0627 \u0628\u0691\u0627 \u06c1\u0648\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 \u0627\u06af\u0631\u0686\u06c1 \u06cc\u06c1 \u0631\u06cc\u0679\u06cc\u06a9\u0644 \u0645\u06cc\u0646\u0648\u0641\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0646\u06af \u06a9\u06cc \u0636\u0631\u0648\u0631\u06cc\u0627\u062a \u06a9\u0648 \u06a9\u0633\u06cc \u062d\u062f \u062a\u06a9 \u0622\u0631\u0627\u0645 \u062f\u06cc\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u060c \u0631\u06cc\u0679\u06cc\u06a9\u0644 \u0645\u06cc\u0646\u0648\u0641\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0646\u06af \u0627\u0628 \u0628\u06be\u06cc \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0645\u06cc\u0646\u0648\u0641\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0646\u06af \u0645\u06cc\u06ba \u0633\u0628 \u0633\u06d2 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u0645\u0637\u0627\u0644\u0628\u06c1 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u0639\u0645\u0644 \u0645\u06cc\u06ba \u0633\u06d2 \u0627\u06cc\u06a9 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0631\u06cc\u0679\u06cc\u06a9\u0644 \u0646\u0642\u0627\u0626\u0635 \u0627\u06cc\u06a9 \u0627\u06c1\u0645 \u0645\u0633\u0626\u0644\u06c1 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u0631\u06cc\u0679\u06cc\u06a9\u0644 \u067e\u0631 \u062f\u06be\u0648\u0644 \u06a9\u0627 \u0627\u06cc\u06a9 \u0630\u0631\u06c1 \u062a\u0645\u0627\u0645 \u067e\u0631\u0646\u0679 \u0634\u062f\u06c1 \u0686\u067e\u0633 \u06a9\u0648 \u0628\u0631\u0628\u0627\u062f \u06a9\u0631 \u0633\u06a9\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 \u0631\u06cc\u0679\u06cc\u06a9\u0644\u0632 \u06a9\u0648 \u0633\u06cc\u0644 \u0634\u062f\u06c1 \u067e\u06be\u0644\u06cc\u0648\u06ba \u0645\u06cc\u06ba \u0630\u062e\u06cc\u0631\u06c1 \u06a9\u06cc\u0627 \u062c\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2 \u062c\u0633\u06d2 \u0631\u06cc\u0679\u06cc\u06a9\u0644 \u0627\u0633\u0679\u0648\u0631\u06cc\u062c \u067e\u0648\u0688\u0632 (RSPs) \u06a9\u06c1\u0627 \u062c\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2 \u0627\u0648\u0631 \u0628\u06c1\u062a \u0635\u0627\u0641 \u0645\u0627\u062d\u0648\u0644 \u0645\u06cc\u06ba \u067e\u0631\u0648\u0633\u06cc\u0633 \u06a9\u06cc\u0627 \u062c\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>EUV \u0631\u06cc\u0679\u06cc\u06a9\u0644\u0632 \u0627\u0636\u0627\u0641\u06cc \u0686\u06cc\u0644\u0646\u062c\u0632 \u067e\u06cc\u0634 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba \u06a9\u06cc\u0648\u0646\u06a9\u06c1 EUV \u0644\u0627\u0626\u0679 \u0645\u0648\u062c\u0648\u062f\u06c1 \u067e\u06cc\u0644\u06cc\u06a9\u0644 (\u0627\u06cc\u06a9 \u067e\u062a\u0644\u06cc \u0641\u0644\u0645 \u062c\u0648 \u0631\u06cc\u0679\u06cc\u06a9\u0644 \u06a9\u0648 \u0630\u0631\u0627\u062a \u0633\u06d2 \u0628\u0686\u0627\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06c1\u0648\u062a\u06cc \u06c1\u06d2) \u06a9\u06d2 \u0630\u0631\u06cc\u0639\u06d2 \u062c\u0630\u0628 \u06c1\u0648\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u060c \u0646\u0626\u06d2 EUV \u0634\u0641\u0627\u0641 \u067e\u06cc\u0644\u06cc\u06a9\u0644 \u0645\u0648\u0627\u062f \u06a9\u06cc \u0646\u0634\u0648\u0648\u0646\u0645\u0627 \u06a9\u06cc \u0636\u0631\u0648\u0631\u062a \u06c1\u0648\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<h2 id=\"heading-a-brief-history-of-lithography-machines\"><strong>\u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0645\u0634\u06cc\u0646\u0648\u06ba \u06a9\u06cc \u0645\u062e\u062a\u0635\u0631 \u062a\u0627\u0631\u06cc\u062e<\/strong><\/h2>\n<h3 id=\"heading-the-contact-and-proximity-era-1960s1970s\">\u0631\u0627\u0628\u0637\u06d2 \u0627\u0648\u0631 \u0642\u0631\u0628\u062a \u06a9\u0627 \u062f\u0648\u0631 (1960 \u0633\u06d2 1970 \u06a9\u06cc \u062f\u06c1\u0627\u0626\u06cc)<\/h3>\n<p>\u067e\u06c1\u0644\u06cc \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0646\u06d2 \u0631\u0627\u0628\u0637\u06c1 \u067e\u0631\u0646\u0679\u0646\u06af \u06a9\u0627 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u06cc\u0627\u06d4 \u0645\u0627\u0633\u06a9 \u06a9\u0648 \u0628\u0631\u0627\u06c1 \u0631\u0627\u0633\u062a \u0641\u0648\u0679\u0648 \u0631\u06cc\u0633\u0633\u0679 \u0644\u06cc\u067e\u062a \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u067e\u0631 \u062f\u0628\u0627\u06cc\u0627 \u06af\u06cc\u0627 \u062a\u06be\u0627\u06d4 \u06cc\u06c1 \u0633\u0627\u062f\u06c1 \u0627\u0648\u0631 \u0633\u0633\u062a\u0627 \u062a\u06be\u0627\u060c \u0644\u06cc\u06a9\u0646 \u062c\u0633\u0645\u0627\u0646\u06cc \u0631\u0627\u0628\u0637\u06d2 \u0646\u06d2 \u0645\u0627\u0633\u06a9 \u0627\u0648\u0631 \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u062f\u0648\u0646\u0648\u06ba \u06a9\u0648 \u0646\u0642\u0635\u0627\u0646 \u067e\u06c1\u0646\u0686\u0627\u06cc\u0627\u060c \u062c\u0633 \u0633\u06d2 \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u0627\u0648\u0631 \u0645\u0627\u0633\u06a9 \u06a9\u06cc \u0632\u0646\u062f\u06af\u06cc \u0645\u062d\u062f\u0648\u062f \u06c1\u0648 \u06af\u0626\u06cc\u06d4<\/p>\n<p>\u0628\u0646\u062f \u067e\u0631\u0646\u0679\u0646\u06af (\u0645\u0627\u0633\u06a9 \u06a9\u0648 \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u0633\u06d2 \u062a\u06be\u0648\u0691\u0627 \u0633\u0627 \u0641\u0627\u0635\u0644\u06c1 \u0631\u06a9\u06be\u0646\u0627) \u0646\u0642\u0635\u0627\u0646 \u06a9\u0648 \u06a9\u0645 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2 \u0644\u06cc\u06a9\u0646 \u067e\u06be\u06cc\u0644\u0627\u0624 \u06a9\u06cc \u0648\u062c\u06c1 \u0633\u06d2 \u0631\u06cc\u0632\u0648\u0644\u0648\u0634\u0646 \u06a9\u0648 \u06a9\u0645 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<h3 id=\"heading-projection-lithography-1970s1980s\">\u067e\u0631\u0648\u062c\u06cc\u06a9\u0634\u0646 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc (1970 &#8211; 1980)<\/h3>\n<p>1970 \u06a9\u06cc \u062f\u06c1\u0627\u0626\u06cc \u06a9\u06d2 \u0627\u0648\u0627\u0626\u0644 \u0645\u06cc\u06ba \u067e\u0631\u0648\u062c\u06cc\u06a9\u0634\u0646 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u0627 \u062a\u0639\u0627\u0631\u0641 \u0627\u06cc\u06a9 \u0627\u06c1\u0645 \u067e\u06cc\u0634\u0631\u0641\u062a \u062a\u06be\u06cc\u06d4 \u0628\u063a\u06cc\u0631 \u06a9\u0633\u06cc \u062c\u0633\u0645\u0627\u0646\u06cc \u0631\u0627\u0628\u0637\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0645\u0627\u0633\u06a9 \u06a9\u06cc \u062a\u0635\u0648\u06cc\u0631 \u06a9\u0648 \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u067e\u0631 \u067e\u06cc\u0634 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0644\u06cc\u0646\u0633 \u0633\u0633\u0679\u0645 \u06a9\u0627 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u0648\u0626\u06d2\u060c \u067e\u0631\u0648\u062c\u06cc\u06a9\u0634\u0646 \u0633\u0633\u0679\u0645 \u0646\u06d2 \u0628\u06c1\u062a\u0631 \u0631\u06cc\u0632\u0648\u0644\u0648\u0634\u0646 \u0627\u0648\u0631 \u0645\u0627\u0633\u06a9 \u06a9\u06cc \u0637\u0648\u06cc\u0644 \u0632\u0646\u062f\u06af\u06cc \u0641\u0631\u0627\u06c1\u0645 \u06a9\u06cc\u06d4 1973 \u0645\u06cc\u06ba \u0645\u062a\u0639\u0627\u0631\u0641 \u06a9\u0631\u0627\u06cc\u0627 \u06af\u06cc\u0627\u060c Perkin-Elmer Micralign \u067e\u06c1\u0644\u0627 \u062a\u062c\u0627\u0631\u062a\u06cc \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u06a9\u0627\u0645\u06cc\u0627\u0628 \u067e\u0631\u0648\u062c\u06cc\u06a9\u0634\u0646 \u0627\u0644\u0627\u0626\u0646\u0631 \u062a\u06be\u0627 \u0627\u0648\u0631 1970 \u06a9\u06cc \u062f\u06c1\u0627\u0626\u06cc \u06a9\u06d2 \u0622\u062e\u0631 \u062a\u06a9 \u0645\u0627\u0631\u06a9\u06cc\u0679 \u067e\u0631 \u063a\u0644\u0628\u06c1 \u0631\u06a9\u06be\u062a\u0627 \u062a\u06be\u0627\u06d4<\/p>\n<p>\u0627\u06af\u0644\u0627 \u0628\u0691\u0627 \u0642\u062f\u0645 1970 \u06a9\u06cc \u062f\u06c1\u0627\u0626\u06cc \u06a9\u06d2 \u0622\u062e\u0631 \u0645\u06cc\u06ba \u0642\u062f\u0645 \u0627\u0648\u0631 \u062f\u06c1\u0631\u0627\u0626\u06d2 \u062c\u0627\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u06a9\u06cc\u0645\u0631\u0648\u06ba\u060c \u06cc\u0627 &quot;\u0633\u0679\u06cc\u067e\u0631\u0632&#8221; \u06a9\u0627 \u062a\u0639\u0627\u0631\u0641 \u062a\u06be\u0627\u06d4 \u067e\u0648\u0631\u06d2 \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u06a9\u0648 \u0627\u06cc\u06a9 \u0633\u0627\u062a\u06be \u0628\u06d2 \u0646\u0642\u0627\u0628 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0628\u062c\u0627\u0626\u06d2\u060c \u0633\u0679\u06cc\u067e\u0631 \u0627\u06cc\u06a9 \u0648\u0642\u062a \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u06cc\u06a9 \u0686\u06be\u0648\u0679\u06d2 \u0633\u06d2 \u0645\u06cc\u062f\u0627\u0646 \u06a9\u0648 \u0628\u06d2 \u0646\u0642\u0627\u0628 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2 \u0627\u0648\u0631 \u067e\u06be\u0631 \u0627\u06af\u0644\u06cc \u067e\u0648\u0632\u06cc\u0634\u0646 \u067e\u0631 \u0686\u0644\u0627 \u062c\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 \u06cc\u06c1 \u0631\u06cc\u0632\u0648\u0644\u06cc\u0648\u0634\u0646 \u06a9\u0648 \u0628\u06c1\u062a\u0631 \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u0627\u0648\u0631 \u0686\u06be\u0648\u0679\u06d2\u060c \u0627\u0639\u0644\u06cc\u0670 \u0645\u0639\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u06d2 \u0631\u06cc\u0679\u06cc\u06a9\u0644\u0632 \u06a9\u0627 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0631\u06cc\u0688\u06a9\u0634\u0646 \u0622\u067e\u0679\u06a9\u0633 \u06a9\u06d2 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u06cc \u0627\u062c\u0627\u0632\u062a \u062f\u06cc\u062a\u0627 \u06c1\u06d2 (\u0627\u06cc\u06a9 \u062a\u0635\u0648\u06cc\u0631 \u06a9\u0648 \u0631\u06cc\u0679\u06cc\u06a9\u0644 \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u0626\u0632 \u0633\u06d2 4 \u06cc\u0627 5 \u06af\u0646\u0627 \u0628\u0691\u06be\u0627\u0646\u0627)\u06d4<\/p>\n<p>GCA \u06a9\u0627\u0631\u067e\u0648\u0631\u06cc\u0634\u0646 \u06a9\u0627 DSW 4800 stepper\u060c \u062c\u0648 1978 \u0645\u06cc\u06ba \u062c\u0627\u0631\u06cc \u06c1\u0648\u0627\u060c \u067e\u06c1\u0644\u0627 \u062a\u062c\u0627\u0631\u062a\u06cc \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u06a9\u0627\u0645\u06cc\u0627\u0628 \u0633\u0679\u06cc\u067e\u0631 \u062a\u06be\u0627 \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0633 \u0646\u06d2 \u0628\u0646\u06cc\u0627\u062f\u06cc \u0641\u0646 \u062a\u0639\u0645\u06cc\u0631 \u0642\u0627\u0626\u0645 \u06a9\u06cc\u0627 \u062c\u0648 \u0622\u062c \u062a\u06a9 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06d2 \u0646\u0638\u0627\u0645 \u0645\u06cc\u06ba \u0628\u0631\u0642\u0631\u0627\u0631 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<h3 id=\"heading-the-scanner-revolution-1990s\">\u0633\u06a9\u06cc\u0646\u0631 \u0627\u0646\u0642\u0644\u0627\u0628 (1990)<\/h3>\n<p>1990 \u06a9\u06cc \u062f\u06c1\u0627\u0626\u06cc \u06a9\u06d2 \u0627\u0648\u0627\u0626\u0644 \u0645\u06cc\u06ba\u060c \u0633\u0679\u06cc\u067e \u0627\u06cc\u0646\u0688 \u0633\u06a9\u06cc\u0646 \u0622\u0631\u06a9\u06cc\u0679\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0632 \u0646\u06d2 \u062e\u0627\u0644\u0635 \u0633\u0679\u06cc\u067e\u0631\u0632 \u06a9\u06cc \u062c\u06af\u06c1 \u0644\u06d2 \u0644\u06cc\u06d4 \u0627\u06cc\u06a9 \u0628\u0627\u0631 \u0645\u06cc\u06ba \u067e\u0648\u0631\u06d2 \u0631\u06cc\u0679\u06cc\u06a9\u0644 \u0641\u06cc\u0644\u0688 \u06a9\u0648 \u0628\u06d2 \u0646\u0642\u0627\u0628 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0628\u062c\u0627\u0626\u06d2\u060c \u0633\u06a9\u06cc\u0646\u0631 \u0631\u06cc\u0679\u06cc\u06a9\u0644 \u0645\u06cc\u06ba \u0635\u0631\u0641 \u0627\u06cc\u06a9 \u062a\u0646\u06af \u0633\u0644\u0679 \u06a9\u0648 \u0631\u0648\u0634\u0646 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2 \u0627\u0648\u0631 \u0631\u06cc\u0679\u06cc\u06a9\u0644 \u0627\u0648\u0631 \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u06a9\u0648 \u0628\u06cc\u06a9 \u0648\u0642\u062a \u0627\u0633\u06a9\u06cc\u0646 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u06cc\u06c1 \u0646\u0642\u0637\u06c1 \u0646\u0638\u0631 \u06a9\u0626\u06cc \u0641\u0648\u0627\u0626\u062f \u067e\u06cc\u0634 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2: \u0627\u0633 \u06a9\u0627 \u0645\u0637\u0644\u0628 \u06cc\u06c1 \u06c1\u06d2 \u06a9\u06c1 \u067e\u0648\u0631\u06d2 \u0627\u0633\u06a9\u06cc\u0646 \u0645\u06cc\u06ba \u0644\u06cc\u0646\u0633 \u06a9\u06cc \u062e\u0631\u0627\u0628\u06cc \u06a9\u0627 \u0627\u0648\u0633\u0637 \u0644\u06cc\u0627 \u062c\u0627 \u0633\u06a9\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u060c \u0686\u06be\u0648\u0679\u06d2 (\u0627\u0648\u0631 \u0627\u0633 \u0648\u062c\u06c1 \u0633\u06d2 \u0627\u0639\u0644\u06cc\u0670 \u0645\u0639\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u06d2) \u0627\u0644\u06cc\u0648\u0645\u06cc\u0646\u06cc\u0634\u0646 \u0641\u06cc\u0644\u0688\u0632 \u06a9\u0627 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u06cc\u0627 \u062c\u0627 \u0633\u06a9\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0639\u0644\u06cc \u062a\u06be\u0631\u0648 \u067e\u0679 \u06a9\u0648 \u0641\u0639\u0627\u0644 \u06a9\u06cc\u0627 \u062c\u0627 \u0633\u06a9\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>ASML \u0646\u06d2 \u0627\u067e\u0646\u0627 \u067e\u06c1\u0644\u0627 \u0633\u0679\u06cc\u067e \u0627\u06cc\u0646\u0688 \u0633\u06a9\u06cc\u0646 \u0633\u0633\u0679\u0645 1991 \u0645\u06cc\u06ba \u0645\u062a\u0639\u0627\u0631\u0641 \u06a9\u0631\u0627\u06cc\u0627\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0633 \u06a9\u0627 \u0633\u06a9\u06cc\u0646\u0631 \u0641\u0646 \u062a\u0639\u0645\u06cc\u0631 \u062a\u06cc\u0632\u06cc \u0633\u06d2 \u0627\u0646\u0688\u0633\u0679\u0631\u06cc \u06a9\u0627 \u0645\u0639\u06cc\u0627\u0631 \u0628\u0646 \u06af\u06cc\u0627\u06d4 1990 \u06a9\u06cc \u062f\u06c1\u0627\u0626\u06cc \u06a9\u06d2 \u0622\u062e\u0631 \u062a\u06a9\u060c ASML \u0646\u06d2 \u0644\u06cc\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u0632\u0648\u0633\u0627\u0645\u0627\u0646 \u06a9\u0627 \u062f\u0646\u06cc\u0627 \u06a9\u0627 \u0633\u0628 \u0633\u06d2 \u0628\u0691\u0627 \u0641\u0631\u0627\u06c1\u0645 \u06a9\u0646\u0646\u062f\u06c1 \u0628\u0646\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0642\u0627\u0626\u0645 \u0631\u06c1\u0646\u0645\u0627\u0624\u06ba Nikon \u0627\u0648\u0631 Canon \u06a9\u0648 \u067e\u06cc\u0686\u06be\u06d2 \u0686\u06be\u0648\u0691 \u062f\u06cc\u0627 \u062a\u06be\u0627\u06d4<\/p>\n<h3 id=\"heading-the-euv-era-2010spresent\">EUV \u062f\u0648\u0631 (2010 \u0633\u06d2 \u0627\u0628 \u062a\u06a9)<\/h3>\n<p>EUV \u0627\u06cc\u06a9\u0633\u067e\u0648\u0632\u0631 \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc \u06a9\u06cc \u062a\u0631\u0642\u06cc \u06a9\u0627 \u0622\u063a\u0627\u0632 1990 \u06a9\u06cc \u062f\u06c1\u0627\u0626\u06cc \u0645\u06cc\u06ba \u06c1\u0648\u0627\u060c \u062c\u0633 \u06a9\u0627 \u0645\u0631\u06a9\u0632 \u0627\u0645\u0631\u06cc\u06a9\u06cc \u0642\u0648\u0645\u06cc \u0644\u06cc\u0628\u0627\u0631\u0679\u0631\u06cc\u0648\u06ba \u0627\u0648\u0631 \u0686\u067e \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u0648\u06ba \u06a9\u06d2 \u06a9\u0646\u0633\u0648\u0631\u0634\u06cc\u0645 \u06a9\u06d2 \u0627\u0631\u062f \u06af\u0631\u062f \u062a\u06be\u0627\u06d4 \u062a\u06a9\u0646\u06cc\u06a9\u06cc \u0686\u06cc\u0644\u0646\u062c\u0632 \u0628\u06c1\u062a \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u062a\u06be\u06d2\u06d4 \u0686\u06cc\u0644\u0646\u062c \u06a9\u0627\u0641\u06cc EUV \u0622\u0624\u0679 \u067e\u0679 \u067e\u06cc\u062f\u0627 \u06a9\u0631\u0646\u0627\u060c \u0645\u0637\u0644\u0648\u0628\u06c1 \u062f\u0631\u0633\u062a\u06af\u06cc \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be \u0639\u06a9\u0627\u0633 \u0622\u067e\u0679\u06a9\u0633 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631\u0646\u0627\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0648\u06cc\u06a9\u06cc\u0648\u0645 \u0633\u0633\u0679\u0645 \u0628\u0646\u0627\u0646\u0627 \u062a\u06be\u0627 \u062c\u0648 \u0645\u0637\u0644\u0648\u0628\u06c1 \u0635\u0641\u0627\u0626\u06cc \u06a9\u0648 \u0628\u0631\u0642\u0631\u0627\u0631 \u0631\u06a9\u06be \u0633\u06a9\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>ASML \u0646\u06d2 2010 \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u067e\u0646\u0627 \u067e\u06c1\u0644\u0627 \u067e\u0631\u06cc \u067e\u0631\u0648\u0688\u06a9\u0634\u0646 EUV \u0633\u0633\u0679\u0645 \u0634\u0631\u0648\u0639 \u06a9\u06cc\u0627 \u0627\u0648\u0631 2013 \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u067e\u0646\u06cc \u067e\u06c1\u0644\u06cc \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u06a9\u06d2 \u0644\u0627\u0626\u0642 NXE:3300B\u06d4 \u062a\u0627\u06c1\u0645\u060c EUV 2019 \u062a\u06a9 \u0628\u0691\u06d2 \u067e\u06cc\u0645\u0627\u0646\u06d2 \u067e\u0631 \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u0645\u06cc\u06ba \u062f\u0627\u062e\u0644 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06c1\u0648\u0627\u060c \u062c\u0628 TSMC \u0646\u06d2 \u0627\u0633\u06d2 \u067e\u06c1\u0644\u06cc \u0628\u0627\u0631 \u0627\u067e\u0646\u06d2 7nm+ \u067e\u0631\u0648\u0633\u06cc\u0633 \u0646\u0648\u0688 \u06a9\u0648 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u06cc\u0627\u06d4 \u067e\u06c1\u0644\u06cc \u06a9\u06be\u06cc\u067e \u0633\u06d2 \u0644\u06d2 \u06a9\u0631 \u0628\u0691\u06d2 \u067e\u06cc\u0645\u0627\u0646\u06d2 \u067e\u0631 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u062a\u06a9 \u062a\u0642\u0631\u06cc\u0628\u0627\u064b \u0627\u06cc\u06a9 \u062f\u06c1\u0627\u0626\u06cc \u06a9\u06cc \u062a\u0627\u062e\u06cc\u0631 EUV \u06a9\u0648 \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631\u06cc \u067e\u06cc\u0645\u0627\u0646\u06d2 \u067e\u0631 \u0642\u0627\u0628\u0644 \u0627\u0639\u062a\u0645\u0627\u062f \u0637\u0631\u06cc\u0642\u06d2 \u0633\u06d2 \u0686\u0644\u0627\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0628\u06c1\u062a \u0628\u0691\u06d2 \u0686\u06cc\u0644\u0646\u062c\u0648\u06ba \u06a9\u06cc \u0639\u06a9\u0627\u0633\u06cc \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0622\u062c\u060c EUV \u06a9\u0648 TSMC\u060c Samsung\u060c \u0627\u0648\u0631 Intel \u06a9\u06cc \u0637\u0631\u0641 \u0633\u06d2 \u0644\u06cc\u0688\u0646\u06af \u0627\u06cc\u062c \u0646\u0648\u0688\u0633 (5nm\u060c 3nm \u0627\u0648\u0631 \u0646\u06cc\u0686\u06d2) \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u06c1\u0627\u0626\u06cc \u0648\u0627\u0644\u06cc\u0648\u0645 \u0645\u06cc\u0646\u0648\u0641\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0646\u06af \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u06cc\u0627 \u062c\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 High-NA EUV \u06a9\u06cc \u0627\u06af\u0644\u06cc \u0646\u0633\u0644\u060c \u0627\u0639\u0644\u06cc \u0639\u062f\u062f\u06cc \u06cc\u067e\u0631\u0686\u0631 \u0644\u06cc\u0646\u0632 \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be \u0686\u06be\u0648\u0679\u06cc \u062e\u0635\u0648\u0635\u06cc\u0627\u062a \u06a9\u0648 \u0641\u0639\u0627\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u060c \u0627\u0628 \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0627\u06c1\u0644 \u06c1\u06d2\u060c \u062c\u0633 \u0645\u06cc\u06ba ASML \u06a9\u0627 EXE:5000 \u0646\u0638\u0627\u0645 \u0622\u06af\u06d2 \u0628\u0691\u06be \u0631\u06c1\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<h2 id=\"heading-asml-the-company-that-became-a-chokepoint\">ASML: \u0627\u06cc\u06a9 \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc \u062c\u0648 \u0627\u06cc\u06a9 \u0686\u0648\u06a9 \u067e\u0648\u0627\u0626\u0646\u0679 \u0628\u0646 \u06af\u0626\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/h2>\n<h3 id=\"heading-origins-and-early-history\">\u0627\u0628\u062a\u062f\u0627 \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0628\u062a\u062f\u0627\u0626\u06cc \u062a\u0627\u0631\u06cc\u062e<\/h3>\n<p>ASML \u06a9\u06cc \u0628\u0646\u06cc\u0627\u062f 1984 \u0645\u06cc\u06ba ASM \u0627\u0646\u0679\u0631\u0646\u06cc\u0634\u0646\u0644 \u0627\u0648\u0631 \u0641\u0644\u067e\u0633 \u06a9\u06d2 \u062f\u0631\u0645\u06cc\u0627\u0646 \u0627\u06cc\u06a9 \u0645\u0634\u062a\u0631\u06a9\u06c1 \u0645\u0646\u0635\u0648\u0628\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u0631\u06a9\u06be\u06cc \u06af\u0626\u06cc \u062a\u06be\u06cc \u0627\u0648\u0631 \u06cc\u06c1 \u0646\u06cc\u062f\u0631\u0644\u06cc\u0646\u0688\u0632 \u06a9\u06d2 \u0622\u0626\u0646\u062f\u06be\u0648\u0648\u0646 \u0645\u06cc\u06ba \u0641\u0644\u067e\u0633 \u06a9\u06cc\u0645\u067e\u0633 \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u06cc\u06a9 \u0631\u0633\u0627\u0648 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u06af\u0648\u062f\u0627\u0645 \u0633\u06d2 \u06a9\u0627\u0645 \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u062a\u06be\u06cc\u06d4<\/p>\n<p>\u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc \u06a9\u06d2 \u0627\u0628\u062a\u062f\u0627\u0626\u06cc \u0633\u0627\u0644 \u0645\u0627\u0644\u06cc \u0645\u0634\u06a9\u0644\u0627\u062a \u0627\u0648\u0631 \u062f\u06cc\u0648\u0627\u0644\u06cc\u06c1 \u06c1\u0648\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0642\u0631\u06cc\u0628 \u062a\u06be\u06d2\u06d4 \u067e\u06c1\u0644\u06cc \u0645\u0635\u0646\u0648\u0639\u0627\u062a\u060c PAS 2000 \u0633\u0679\u06cc\u067e\u0631\u060c \u062a\u06a9\u0646\u06cc\u06a9\u06cc \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u0645\u0633\u0627\u0628\u0642\u062a\u06cc \u062a\u06be\u06cc \u0644\u06cc\u06a9\u0646 \u062a\u062c\u0627\u0631\u062a\u06cc \u0644\u062d\u0627\u0638 \u0633\u06d2 \u0645\u062d\u062f\u0648\u062f \u062a\u06be\u06cc\u06d4<\/p>\n<p>\u062c\u0633 \u0686\u06cc\u0632 \u0646\u06d2 ASML \u06a9\u0648 \u0628\u0686\u0627\u06cc\u0627 \u0648\u06c1 \u062a\u06a9\u0646\u06cc\u06a9\u06cc \u0645\u06c1\u0627\u0631\u062a\u060c \u0633\u0679\u0631\u06cc\u0679\u062c\u06a9 \u0634\u0631\u0627\u06a9\u062a \u062f\u0627\u0631\u06cc\u060c \u0627\u0648\u0631 \u062d\u0631\u06cc\u0641\u0648\u06ba \u06a9\u06cc \u0637\u0631\u0641 \u0633\u06d2 \u0646\u0642\u0644 \u06a9\u06cc\u06d2 \u062c\u0627\u0646\u06d2 \u0633\u06d2 \u0628\u0686\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0637\u0648\u06cc\u0644 \u0645\u062f\u062a\u06cc \u0633\u0631\u0645\u0627\u06cc\u06c1 \u06a9\u0627\u0631\u06cc \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06cc \u062e\u0648\u0627\u06c1\u0634 \u06a9\u0627 \u0645\u062c\u0645\u0648\u0639\u06c1 \u062a\u06be\u0627\u06d4 1995 \u0645\u06cc\u06ba\u060c ASML \u06a9\u0648 \u0627\u06cc\u0645\u0633\u0679\u0631\u0688\u06cc\u0645 \u0627\u0648\u0631 \u0646\u06cc\u0633 \u0688\u06cc\u06a9 \u0627\u06cc\u06a9\u0633\u0686\u06cc\u0646\u062c\u0632 \u0645\u06cc\u06ba \u062f\u0631\u062c \u06a9\u06cc\u0627 \u06af\u06cc\u0627\u06d4 1997 \u0645\u06cc\u06ba\u060c ASML Nikon \u06a9\u0648 \u067e\u06cc\u0686\u06be\u06d2 \u0686\u06be\u0648\u0691 \u06a9\u0631 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06d2 \u0622\u0644\u0627\u062a \u06a9\u0627 \u062f\u0646\u06cc\u0627 \u06a9\u0627 \u0633\u0628 \u0633\u06d2 \u0628\u0691\u0627 \u0633\u067e\u0644\u0627\u0626\u0631 \u0628\u0646 \u06af\u06cc\u0627\u06d4 \u0627\u06d2 \u0627\u06cc\u0633 \u0627\u06cc\u0645 \u0627\u06cc\u0644 \u0646\u06d2 \u06a9\u0628\u06be\u06cc \u06cc\u06c1 \u0639\u06c1\u062f\u06c1 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u0686\u06be\u0648\u0691\u0627\u06d4<\/p>\n<h3 id=\"heading-the-business-model\">\u06a9\u0627\u0631\u0648\u0628\u0627\u0631\u06cc \u0645\u0627\u0688\u0644<\/h3>\n<p>ASML \u0627\u06cc\u06a9 \u0633\u0633\u0679\u0645 \u0627\u0646\u0679\u06cc\u06af\u0631\u06cc\u0679\u0631 \u06a9\u06d2 \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u06a9\u0627\u0645 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u060c \u062a\u0642\u0631\u06cc\u0628\u0627\u064b 5,000 \u0633\u067e\u0644\u0627\u0626\u0631\u0632 \u06a9\u06d2 \u0627\u062d\u062a\u06cc\u0627\u0637 \u0633\u06d2 \u0645\u0646\u0638\u0645 \u0645\u0627\u062d\u0648\u0644\u06cc\u0627\u062a\u06cc \u0646\u0638\u0627\u0645 \u0633\u06d2 \u062d\u0627\u0635\u0644 \u06a9\u0631\u062f\u06c1 \u0627\u062c\u0632\u0627\u0621 \u0633\u06d2 \u0645\u0634\u06cc\u0646\u06cc\u06ba \u0627\u0633\u0645\u0628\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0633\u0628 \u0633\u06d2 \u0627\u06c1\u0645 \u06a9\u0627\u0631\u0644 \u0632\u06cc\u0633 \u0627\u06cc\u0633 \u0627\u06cc\u0645 \u0679\u06cc \u06c1\u06d2\u060c \u062c\u0648 EUV \u0633\u0633\u0679\u0645\u0632 \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06c1\u0648\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u0639\u06cc\u0646 \u0645\u0637\u0627\u0628\u0642 \u0622\u0626\u06cc\u0646\u06c1 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 ASML \u0646\u06d2 2016 \u0645\u06cc\u06ba Zeiss SMT \u0645\u06cc\u06ba 24.9% \u062d\u0635\u0635 \u062d\u0627\u0635\u0644 \u06a9\u06cc\u0627\u06d4 \u062f\u06cc\u06af\u0631 \u0627\u06c1\u0645 \u0633\u067e\u0644\u0627\u0626\u0631\u0632 \u0645\u06cc\u06ba \u0679\u0631\u0645\u067e\u0641 (CO2 \u0644\u06cc\u0632\u0631\u0632) \u0627\u0648\u0631 \u0633\u0627\u0626\u0645\u0631 (ASML \u06a9\u0627 \u0630\u06cc\u0644\u06cc \u0627\u062f\u0627\u0631\u06c1 \u062c\u0648 EUV \u0644\u0627\u0626\u0679 \u0633\u0648\u0631\u0633 \u0645\u0627\u0688\u06cc\u0648\u0644\u0632 \u0628\u0646\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2) \u0634\u0627\u0645\u0644 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<h3 id=\"heading-revenue-and-financial-profile\">\u0622\u0645\u062f\u0646\u06cc \u0627\u0648\u0631 \u0645\u0627\u0644\u06cc\u0627\u062a\u06cc \u067e\u0631\u0648\u0641\u0627\u0626\u0644<\/h3>\n<p>2023 \u0645\u06cc\u06ba\u060c ASML \u0646\u06d2 \u20ac27.6 \u0628\u0644\u06cc\u0646 \u06a9\u06cc \u0622\u0645\u062f\u0646\u06cc \u0627\u0648\u0631 \u20ac7.8 \u0628\u0644\u06cc\u0646 \u06a9\u06d2 \u062e\u0627\u0644\u0635 \u0645\u0646\u0627\u0641\u0639 \u06a9\u06cc \u0627\u0637\u0644\u0627\u0639 \u062f\u06cc\u060c \u062c\u0648 \u06a9\u06c1 \u062a\u0642\u0631\u06cc\u0628\u0627\u064b 28% \u06a9\u06d2 \u062e\u0627\u0644\u0635 \u0645\u0646\u0627\u0641\u0639 \u06a9\u06d2 \u0645\u0633\u0627\u0648\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4 \u0622\u0631\u0688\u0631 \u06a9\u0627 \u0628\u06cc\u06a9 \u0644\u0627\u06af \u0628\u0627\u0642\u0627\u0639\u062f\u06af\u06cc \u0633\u06d2 \u20ac30 \u0628\u0644\u06cc\u0646 \u0633\u06d2 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0646\u0626\u06d2 \u0633\u0633\u0679\u0645\u0632 \u06a9\u06cc \u0641\u0631\u0648\u062e\u062a \u06a9\u06d2 \u0639\u0644\u0627\u0648\u06c1\u060c ASML \u06a9\u0627 Installed Base Management (IBM) \u06a9\u0627\u0631\u0648\u0628\u0627\u0631 \u0633\u0631\u0648\u0633 \u06a9\u0646\u0679\u0631\u06cc\u06a9\u0679\u0633\u060c \u0627\u067e \u06af\u0631\u06cc\u0688 \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0633\u067e\u06cc\u0626\u0631 \u067e\u0627\u0631\u0679\u0633 \u06a9\u06d2 \u0630\u0631\u06cc\u0639\u06d2 \u0628\u0627\u0631 \u0628\u0627\u0631 \u0686\u0644\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06cc\u060c \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u0645\u0627\u0631\u062c\u0646 \u0648\u0627\u0644\u06cc \u0622\u0645\u062f\u0646\u06cc \u067e\u06cc\u062f\u0627 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 \u06cc\u06c1 \u0622\u067e \u06a9\u06d2 \u0646\u0635\u0628 \u0634\u062f\u06c1 \u0628\u0646\u06cc\u0627\u062f \u06a9\u06d2 \u0628\u0691\u06be\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be \u06c1\u06cc \u067e\u06cc\u0686\u06cc\u062f\u06c1 \u0645\u0627\u0644\u06cc \u0641\u0648\u0627\u0626\u062f \u0641\u0631\u0627\u06c1\u0645 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<h3 id=\"heading-euv-the-technology-that-changed-everything\">EUV: \u0648\u06c1 \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc \u062c\u0633 \u0646\u06d2 \u0633\u0628 \u06a9\u0686\u06be \u0628\u062f\u0644 \u062f\u06cc\u0627\u06d4<\/h3>\n<p>ASML \u06a9\u0627 EUV \u063a\u0644\u0628\u06c1 20 \u0633\u0627\u0644\u06c1\u060c \u06a9\u062b\u06cc\u0631 \u0628\u0644\u06cc\u0646 \u0688\u0627\u0644\u0631 \u06a9\u06d2 \u062a\u0631\u0642\u06cc\u0627\u062a\u06cc \u067e\u0631\u0648\u06af\u0631\u0627\u0645 \u06a9\u0627 \u0646\u062a\u06cc\u062c\u06c1 \u06c1\u06d2\u06d4 2000 \u06a9\u06cc \u062f\u06c1\u0627\u0626\u06cc \u06a9\u06d2 \u0627\u0648\u0627\u0626\u0644 \u0645\u06cc\u06ba\u060c Nikon \u0627\u0648\u0631 Canon \u062f\u0648\u0646\u0648\u06ba \u0646\u06d2 EUV \u06a9\u0627 \u062c\u0627\u0626\u0632\u06c1 \u0644\u06cc\u0627 \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0633 \u0646\u062a\u06cc\u062c\u06d2 \u067e\u0631 \u067e\u06c1\u0646\u0686\u06d2 \u06a9\u06c1 \u0686\u06cc\u0644\u0646\u062c\u0632 \u0628\u06c1\u062a \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 ASML \u0646\u06d2 \u0645\u062e\u0627\u0644\u0641 \u0634\u0631\u0637 \u0644\u06af\u0627\u0626\u06cc\u06d4<\/p>\n<p>ASML \u06a9\u06d2 \u0630\u0631\u06cc\u0639\u06d2 \u062d\u0644 \u06a9\u06cc\u06d2 \u06af\u0626\u06d2 \u0627\u06c1\u0645 \u0645\u0633\u0627\u0626\u0644:<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p><strong>\u0631\u0648\u0634\u0646\u06cc \u06a9\u0627 \u0630\u0631\u06cc\u0639\u06c1<\/strong>: \u0679\u0646 \u0688\u0631\u0627\u067e \u067e\u0631 CO2 \u0644\u06cc\u0632\u0631 \u0641\u0627\u0626\u0631 \u06a9\u0631\u06a9\u06d2 EUV \u067e\u0644\u0627\u0632\u0645\u0627 \u0628\u0646\u0627\u0626\u06cc\u06ba\u06d4 250W \u0642\u0627\u0628\u0644 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u0628\u062c\u0644\u06cc \u062d\u0627\u0635\u0644 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0633\u0627\u0644\u0648\u06ba \u06a9\u06cc \u062a\u0631\u0642\u06cc \u062f\u0631\u06a9\u0627\u0631 \u062a\u06be\u06cc\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0622\u067e\u0679\u06a9\u0633<\/strong>: EUV \u0634\u06cc\u0634\u06d2 \u0633\u06d2 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06af\u0632\u0631 \u0633\u06a9\u062a\u06cc\u06d4 Zeiss SMT 0.1 nm \u0633\u06d2 \u06a9\u0645 \u06a9\u06be\u0631\u062f\u0631\u06cc \u067e\u0631 \u067e\u0627\u0644\u0634 \u0634\u062f\u06c1 \u0622\u0626\u06cc\u0646\u06d2 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2 \u0627\u0648\u0631 \u0635\u0631\u0641 \u0646\u06cc\u0646\u0648 \u0645\u06cc\u0679\u0631 \u0645\u0648\u0679\u06cc Mo\/Si \u062a\u06c1\u0648\u06ba \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be \u0644\u06cc\u067e\u062a \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u062e\u0644\u0627<\/strong>: \u067e\u0648\u0631\u0627 \u0646\u0638\u0631\u06cc \u0631\u0627\u0633\u062a\u06c1 \u06c1\u0648\u0627 \u06a9\u06d2 \u0630\u0631\u06cc\u0639\u06d2 EUV \u062c\u0630\u0628 \u06a9\u0648 \u0631\u0648\u06a9\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u062a\u0642\u0631\u06cc\u0628\u0627\u064b \u0645\u06a9\u0645\u0644 \u0648\u06cc\u06a9\u06cc\u0648\u0645 \u0645\u06cc\u06ba \u06a9\u0627\u0645 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u062a\u06be\u0631\u0648 \u067e\u0679<\/strong>: \u0641\u06cc \u06af\u06be\u0646\u0679\u06c1 125 \u0633\u06d2 170 \u0648\u06cc\u0641\u0631\u0632 \u062d\u0627\u0635\u0644 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0633\u0648\u0631\u0633\u060c \u0627\u0633\u0679\u06cc\u062c \u0627\u0648\u0631 \u0633\u0633\u0679\u0645 \u06a9\u06cc \u0628\u06be\u0631\u0648\u0633\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba \u06a9\u0626\u06cc \u0633\u0627\u0644\u0648\u06ba \u06a9\u06cc \u0628\u06c1\u062a\u0631\u06cc \u062f\u0631\u06a9\u0627\u0631 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<h3 id=\"heading-high-na-euv-the-next-frontier\">\u06c1\u0627\u0626\u06cc-NA EUV: \u0627\u06af\u0644\u0627 \u0645\u062d\u0627\u0630<\/h3>\n<p>ASML&#8217;s EXE:5000 High-NA \u0633\u0633\u0679\u0645 0.55 NA \u0644\u06cc\u0646\u0633 (\u0641\u06cc \u0627\u0644\u062d\u0627\u0644 0.33 NA) \u06a9\u0627 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u0648\u0626\u06d2 \u0630\u06cc\u0644\u06cc 8 nm \u062e\u0635\u0648\u0635\u06cc\u0627\u062a \u06a9\u0648 \u067e\u0631\u0646\u0679 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 \u06cc\u06c1 \u0641\u06cc \u0627\u0644\u062d\u0627\u0644 Intel \u0627\u0648\u0631 IMEC \u06a9\u06d2 \u0630\u0631\u06cc\u0639\u06c1 \u062a\u0635\u062f\u06cc\u0642 \u0634\u062f\u06c1 \u06c1\u06d2\u060c \u0627\u0648\u0631 2025-2027 \u0645\u06cc\u06ba \u0628\u0691\u06d2 \u067e\u06cc\u0645\u0627\u0646\u06d2 \u067e\u0631 \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u0645\u062a\u0648\u0642\u0639 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<h2 id=\"heading-asmls-competitors-who-is-challenging-the-giant\">ASML \u06a9\u06d2 \u062d\u0631\u06cc\u0641: \u062c\u0646\u0627\u062a \u06a9\u0648 \u06a9\u0648\u0646 \u0686\u06cc\u0644\u0646\u062c \u06a9\u0631 \u0631\u06c1\u0627 \u06c1\u06d2\u061f<\/h2>\n<p>ASML \u06a9\u06d2 \u067e\u0627\u0633 EUV \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06d2 \u0645\u06a9\u0645\u0644 \u062e\u0635\u0648\u0635\u06cc \u062d\u0642\u0648\u0642 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u0628\u0627\u0644\u063a \u0646\u0648\u0688\u0633 (28nm \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0633 \u0633\u06d2 \u0627\u0648\u067e\u0631) \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2\u060c Nikon \u0627\u0648\u0631 Canon \u0646\u0645\u0627\u06cc\u0627\u06ba \u0631\u06c1\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u0645\u062a\u0639\u062f\u062f \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0627\u06ba \u0645\u0644\u062d\u0642\u06c1 \u0634\u0639\u0628\u0648\u06ba (DUV\u060c e-beam\u060c nanoimprint) \u0645\u06cc\u06ba \u0645\u0642\u0627\u0628\u0644\u06c1 \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<h3 id=\"heading-nikon-the-fallen-giant\">\u0646\u06cc\u06a9\u0648\u0646: \u06af\u0631\u0627 \u06c1\u0648\u0627 \u062f\u06cc\u0648<\/h3>\n<p>Nikon \u0646\u06d2 \u0627\u067e\u0646\u06cc NSR \u0633\u0679\u06cc\u067e\u0631 \u0633\u06cc\u0631\u06cc\u0632 \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be 1990 \u06a9\u06cc \u062f\u06c1\u0627\u0626\u06cc \u06a9\u06d2 \u0627\u0648\u0627\u0626\u0644 \u0645\u06cc\u06ba \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u067e\u0631 \u063a\u0644\u0628\u06c1 \u062d\u0627\u0635\u0644 \u06a9\u06cc\u0627\u06d4 \u0632\u0648\u0627\u0644 \u0627\u0633 \u0648\u0642\u062a \u0634\u0631\u0648\u0639 \u06c1\u0648\u0627 \u062c\u0628 ASML \u06a9\u0627 \u0633\u06a9\u06cc\u0646\u0631 \u0641\u0646 \u062a\u0639\u0645\u06cc\u0631 \u0627\u0639\u0644\u06cc\u0670 \u0627\u0648\u0631 \u062a\u06cc\u0632 \u062b\u0627\u0628\u062a \u06c1\u0648\u0627 \u06a9\u06cc\u0648\u0646\u06a9\u06c1 Nikon EUV \u0633\u06d2 \u0648\u0627\u0628\u0633\u062a\u06af\u06cc \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba \u0646\u0627\u06a9\u0627\u0645 \u0631\u06c1\u0627\u06d4<\/p>\n<p>\u0622\u062c Nikon \u067e\u0631 \u062a\u0648\u062c\u06c1 \u0645\u0631\u06a9\u0648\u0632 \u06c1\u06d2:<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p><strong>\u0627\u06d2 \u0622\u0631 \u0627\u06cc\u0641 \u0648\u0633\u0631\u062c\u0646 \u0633\u06a9\u06cc\u0646\u0631<\/strong> 20 ~ 40nm \u0646\u0648\u0688\u0633 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u06a9\u06d2 \u0622\u0631 \u0627\u06cc\u0641 \u0627\u0648\u0631 \u0622\u0626\u06cc \u0644\u0627\u0626\u0646 \u0633\u0633\u0679\u0645<\/strong> \u0628\u0627\u0644\u063a \u0646\u0648\u0688\u0633 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 (90 nm+)<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0627\u06cc\u0641 \u067e\u06cc \u0688\u06cc \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc\u06d4<\/strong> LCD \u0627\u0648\u0631 OLED \u0688\u0633\u067e\u0644\u06d2 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u0645\u0633\u0627\u0628\u0642\u062a\u06cc EUV \u0633\u0633\u0679\u0645 \u06a9\u0648 \u0634\u0631\u0648\u0639 \u0633\u06d2 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 $5 \u0628\u0644\u06cc\u0646 \u0633\u06d2 $10 \u0628\u0644\u06cc\u0646 \u0627\u0648\u0631 10 \u0633\u0627\u0644 \u062f\u0631\u06a9\u0627\u0631 \u06c1\u0648\u06ba \u06af\u06d2\u06d4 Nikon \u06a9\u06cc \u0645\u0648\u062c\u0648\u062f\u06c1 \u0645\u0627\u0644\u06cc \u062d\u0627\u0644\u062a \u06a9\u06cc \u0648\u062c\u06c1 \u0633\u06d2 \u06cc\u06c1 \u0628\u06c1\u062a \u0645\u0634\u06a9\u0644 \u0639\u0632\u0645 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<h3 id=\"heading-canon-the-nil-pioneer\">\u06a9\u06cc\u0646\u0646: NIL \u067e\u0627\u06cc\u0646\u06cc\u0631<\/h3>\n<p>\u06a9\u06cc\u0646\u0646 \u06a9\u06d2 \u0633\u0628 \u0633\u06d2 \u062f\u0644\u0686\u0633\u067e \u0627\u0633\u0679\u0631\u06cc\u0679\u062c\u06a9 \u0634\u0631\u0637 \u06cc\u06c1 \u06c1\u06cc\u06ba: <strong>Nanoimprint Lithography (NIL)<\/strong>. FPA-1200NZ2C \u0633\u0633\u0679\u0645 \u0646\u0627\u0646\u0648\u0633\u06a9\u0644 \u0679\u06cc\u0645\u067e\u0644\u06cc\u0679\u0633 \u06a9\u0627 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u0648\u0626\u06d2 \u062c\u0633\u0645\u0627\u0646\u06cc \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u067e\u06cc\u0679\u0631\u0646 \u06a9\u0648 UV- \u0642\u0627\u0628\u0644 \u0639\u0644\u0627\u062c \u0631\u06cc\u0632\u0633\u0679 \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u0633\u0679\u06cc\u0645\u067e \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2 \u062c\u0648 \u06a9\u06c1 \u062a\u0641\u0627\u0648\u062a \u0633\u06d2 \u0645\u062d\u062f\u0648\u062f\u060c EUV \u0633\u06d2 \u06a9\u0645 \u0645\u06c1\u0646\u06af\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u0627\u0648\u0631 3D \u067e\u06cc\u0679\u0631\u0646\u0646\u06af \u06a9\u06cc \u0635\u0644\u0627\u062d\u06cc\u062a\u06cc\u06ba \u0631\u06a9\u06be\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p>2023 \u0645\u06cc\u06ba\u060c \u06a9\u06cc\u0646\u0646 \u0646\u06d2 \u0627\u0639\u0644\u0627\u0646 \u06a9\u06cc\u0627 \u06a9\u06c1 \u0627\u0633 \u06a9\u06d2 NIL \u0633\u0633\u0679\u0645 \u0646\u06d2 NAND \u0641\u0644\u06cc\u0634 \u0645\u06cc\u0646\u0648\u0641\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0646\u06af \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u06a9\u0627\u0641\u06cc \u0627\u0648\u0648\u0631\u0644\u06d2 \u062f\u0631\u0633\u062a\u06af\u06cc \u062d\u0627\u0635\u0644 \u06a9\u0631 \u0644\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4 \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 KIOXIA \u06a9\u0627 \u062c\u0627\u0626\u0632\u06c1 \u0644\u06cc\u0627 \u062c\u0627 \u0631\u06c1\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 \u06cc\u06c1 \u0627\u0628\u06be\u06cc \u062a\u06a9 \u0648\u0627\u0636\u062d \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06c1\u06d2 \u06a9\u06c1 \u0622\u06cc\u0627 NIL \u0645\u0646\u0637\u0642\u06cc \u0686\u067e\u0633 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 EUV \u06a9\u0648 \u0686\u06cc\u0644\u0646\u062c \u06a9\u0631 \u0633\u06a9\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u060c \u0644\u06cc\u06a9\u0646 \u06cc\u06c1 \u0645\u0648\u062c\u0648\u062f\u06c1 \u0622\u0644\u0627\u062a \u06a9\u06d2 \u0645\u06cc\u0646\u0648\u0641\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0631\u0632 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0633\u0628 \u0633\u06d2 \u0642\u0627\u0628\u0644 \u0627\u0639\u062a\u0645\u0627\u062f \u0645\u062a\u0628\u0627\u062f\u0644 \u067e\u06cc\u0679\u0631\u0646\u0646\u06af \u0627\u067e\u0631\u0648\u0686 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<h3 id=\"heading-smee-chinas-national-champion\">SMEE: \u0686\u0627\u0626\u0646\u0627 \u0646\u06cc\u0634\u0646\u0644 \u0686\u06cc\u0645\u067e\u0626\u0646<\/h3>\n<p>2002 \u0645\u06cc\u06ba \u0642\u0627\u0626\u0645 \u06a9\u06cc\u0627 \u06af\u06cc\u0627\u060c \u0634\u0646\u06af\u06be\u0627\u0626\u06cc \u0645\u0627\u0626\u06cc\u06a9\u0631\u0648 \u0627\u0644\u06cc\u06a9\u0679\u0631\u0627\u0646\u06a9\u0633 \u0622\u0644\u0627\u062a (SMEE) \u0686\u06cc\u0646 \u06a9\u06cc \u0627\u06cc\u06a9 \u0628\u0691\u06cc \u06af\u06be\u0631\u06cc\u0644\u0648 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4 \u0628\u06c1\u062a\u0631\u06cc\u0646 \u067e\u0631\u0648\u0688\u06a9\u0634\u0646 \u0633\u0633\u0679\u0645 90nm \u067e\u0631 \u067e\u0631\u0646\u0679 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u06cc\u06c1 \u062a\u0642\u0631\u06cc\u0628\u0627\u064b 2000 \u06a9\u06cc \u062f\u06c1\u0627\u0626\u06cc \u06a9\u06d2 \u0627\u0648\u0627\u0626\u0644 \u0645\u06cc\u06ba ASML \u06a9\u06cc \u0641\u0631\u0648\u062e\u062a \u0633\u06d2 \u0645\u0645\u0627\u062b\u0644 \u06c1\u06d2\u06d4 ASML \u06a9\u0627 EUV 13nm \u067e\u0631 \u067e\u0631\u0646\u0679 \u06a9\u06cc\u0627 \u062c\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 \u06cc\u06c1 \u062a\u0642\u0631\u06cc\u0628\u0627\u064b 15 \u0633\u06d2 20 \u0633\u0627\u0644 \u06a9\u0627 \u062a\u06a9\u0646\u06cc\u06a9\u06cc \u062a\u0631\u0642\u06cc \u06a9\u0627 \u0641\u0631\u0642 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0645\u0646\u062f\u0631\u062c\u06c1 \u0630\u06cc\u0644 \u0648\u062c\u0648\u06c1\u0627\u062a \u06a9\u06cc \u0628\u0646\u0627 \u067e\u0631 \u0627\u0633 \u062e\u0644\u0627 \u06a9\u0648 \u062e\u062a\u0645 \u06a9\u0631\u0646\u0627 \u0628\u06c1\u062a \u0645\u0634\u06a9\u0644 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p>\u0627\u06cc\u06a9\u0633\u067e\u0648\u0631\u0679 \u06a9\u0646\u0679\u0631\u0648\u0644\u0632 \u062c\u0648 \u0627\u06c1\u0645 \u0627\u062c\u0632\u0627\u0621 \u062a\u06a9 \u0631\u0633\u0627\u0626\u06cc \u06a9\u0648 \u0645\u062d\u062f\u0648\u062f \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba (\u0622\u067e\u0679\u06a9\u0633\u060c \u0644\u06cc\u0632\u0631\u060c \u0622\u0644\u0627\u062a)<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u0686\u06cc\u0646 \u0633\u06d2 \u0628\u0627\u06c1\u0631 \u06af\u06c1\u0631\u06cc \u0646\u0645\u0627\u0626\u0634 \u06a9\u06cc \u0645\u06c1\u0627\u0631\u062a \u067e\u0631 \u062a\u0648\u062c\u06c1 \u062f\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u0645\u0632\u0627\u062d\u0645\u062a\u060c \u0645\u0627\u0633\u06a9 \u0627\u0648\u0631 \u0639\u0645\u0644 \u06a9\u06cc \u0645\u0639\u0644\u0648\u0645\u0627\u062a \u06a9\u0627 \u0627\u06cc\u06a9 \u0645\u0639\u0627\u0648\u0646 \u0645\u0627\u062d\u0648\u0644\u06cc\u0627\u062a\u06cc \u0646\u0638\u0627\u0645 \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba \u06a9\u0626\u06cc \u062f\u06c1\u0627\u0626\u06cc\u0627\u06ba \u0644\u06af\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u0686\u06cc\u0646\u06cc \u062d\u06a9\u0648\u0645\u062a \u0646\u06cc\u0634\u0646\u0644 \u0627\u0646\u0679\u06cc\u06af\u0631\u06cc\u0679\u0688 \u0633\u0631\u06a9\u0679 \u0627\u0646\u0688\u0633\u0679\u0631\u06cc \u0627\u0646\u0648\u06cc\u0633\u0679\u0645\u0646\u0679 \u0641\u0646\u0688 (&quot;\u0628\u06af \u0641\u0646\u0688&#8221;) \u06a9\u06d2 \u0630\u0631\u06cc\u0639\u06d2 \u0628\u06c1\u062a \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u0633\u0631\u0645\u0627\u06cc\u06c1 \u06a9\u0627\u0631\u06cc \u06a9\u0631 \u0631\u06c1\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u062a\u0631 \u062a\u062c\u0632\u06cc\u06c1 \u06a9\u0627\u0631 \u062a\u0648\u0642\u0639 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba \u06a9\u06c1 SMEE \u0628\u0627\u0644\u0622\u062e\u0631 \u0645\u0633\u0627\u0628\u0642\u062a\u06cc ArF \u0648\u0633\u0631\u062c\u0646 \u06a9\u0627\u0631\u06a9\u0631\u062f\u06af\u06cc (28nm) \u062a\u06a9 \u067e\u06c1\u0646\u0686 \u062c\u0627\u0626\u06d2 \u06af\u0627\u06d4 \u0645\u0633\u0627\u0628\u0642\u062a\u06cc EUV \u0627\u0628 \u0628\u06be\u06cc \u0628\u06c1\u062a \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u063a\u06cc\u0631 \u06cc\u0642\u06cc\u0646\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<h3 id=\"heading-other-notable-players\">\u062f\u06cc\u06af\u0631 \u0642\u0627\u0628\u0644 \u0630\u06a9\u0631 \u06a9\u06be\u0644\u0627\u0691\u06cc<\/h3>\n<ul>\n<li>\n<p><strong>\u0627\u06cc \u0648\u06cc \u06af\u0631\u0648\u067e (\u0627\u06cc \u0648\u06cc \u062c\u06cc)<\/strong>: \u0622\u0633\u0679\u0631\u06cc\u0627 \u06a9\u06cc \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc \u062c\u0648 MEMS \u0627\u0648\u0631 \u062c\u062f\u06cc\u062f \u067e\u06cc\u06a9\u06cc\u062c\u0646\u06af \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u0628\u0627\u0646\u0688\u0646\u06af \u0627\u0648\u0631 NIL \u0645\u06cc\u06ba \u0645\u06c1\u0627\u0631\u062a \u0631\u06a9\u06be\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0645\u0627\u0626\u06a9\u0631\u0648\u0646\u06a9<\/strong>: \u0633\u0648\u06cc\u0688\u0634 \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc \u062c\u0648 \u0641\u0648\u0679\u0648 \u0645\u0627\u0633\u06a9 \u06a9\u06cc \u062a\u06cc\u0627\u0631\u06cc \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0644\u06cc\u0632\u0631 \u067e\u06cc\u0679\u0631\u0646 \u062c\u0646\u0631\u06cc\u0679\u0631 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0646\u0648\u0641\u0644\u06cc\u0626\u0631 \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc<\/strong>: \u062c\u0627\u067e\u0627\u0646\u06cc \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc (\u062a\u0648\u0634\u06cc\u0628\u0627 \u06a9\u06cc \u0645\u0644\u06a9\u06cc\u062a) \u062c\u0648 \u062a\u0645\u0627\u0645 \u0628\u0691\u06d2 \u0645\u0627\u0633\u06a9 \u0627\u0633\u0679\u0648\u0631\u0632 \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06c1\u0648\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06cc \u0627\u0644\u06cc\u06a9\u0679\u0631\u0627\u0646 \u0628\u06cc\u0645 \u0645\u0627\u0633\u06a9 \u0627\u06cc\u06a9\u0633\u067e\u0648\u0698\u0631 \u0645\u0634\u06cc\u0646\u06cc\u06ba \u0628\u0646\u0627\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<h2 id=\"heading-the-geopolitics-of-lithography\">\u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06cc \u062c\u063a\u0631\u0627\u0641\u06cc\u0627\u0626\u06cc \u0633\u06cc\u0627\u0633\u062a<\/h2>\n<h3 id=\"heading-export-controls-and-the-asml-restriction\">\u0627\u06cc\u06a9\u0633\u067e\u0648\u0631\u0679 \u06a9\u0646\u0679\u0631\u0648\u0644\u0632 \u0627\u0648\u0631 ASML \u067e\u0627\u0628\u0646\u062f\u06cc\u0627\u06ba<\/h3>\n<p>\u0644\u06cc\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06cc \u06a9\u0648\u0626\u06cc \u0628\u06be\u06cc \u0628\u062d\u062b \u062c\u063a\u0631\u0627\u0641\u06cc\u0627\u0626\u06cc \u0633\u06cc\u0627\u0633\u06cc \u062c\u06c1\u062a \u06a9\u0648 \u062d\u0644 \u06a9\u06cc\u06d2 \u0628\u063a\u06cc\u0631 \u0645\u06a9\u0645\u0644 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06c1\u0648\u062a\u06cc\u06d4 2019 \u0645\u06cc\u06ba\u060c \u0688\u0686 \u062d\u06a9\u0648\u0645\u062a \u0646\u06d2\u060c \u0631\u06cc\u0627\u0633\u062a\u06c1\u0627\u0626\u06d2 \u0645\u062a\u062d\u062f\u06c1 \u06a9\u06d2 \u062f\u0628\u0627\u0624 \u0645\u06cc\u06ba\u060c \u0627\u067e\u0646\u06d2 EUV \u0633\u0633\u0679\u0645\u0632 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0686\u06cc\u0646 \u06a9\u0648 ASML \u06a9\u06d2 \u0628\u0631\u0622\u0645\u062f\u06cc \u0644\u0627\u0626\u0633\u0646\u0633 \u06a9\u06cc \u062a\u062c\u062f\u06cc\u062f \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u0633\u06d2 \u0627\u0646\u06a9\u0627\u0631 \u06a9\u0631 \u062f\u06cc\u0627\u06d4 \u0627\u0633 \u0641\u06cc\u0635\u0644\u06d2 \u0646\u06d2 \u0645\u0624\u062b\u0631 \u0637\u0631\u06cc\u0642\u06d2 \u0633\u06d2 \u0686\u06cc\u0646\u06cc \u0686\u067e \u0633\u0627\u0632\u0648\u06ba \u06a9\u0648 \u062a\u0642\u0631\u06cc\u0628\u0627\u064b 7nm \u0633\u06d2 \u0686\u06be\u0648\u0679\u06d2 \u0686\u067e\u0633 \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u062f\u0631\u06a9\u0627\u0631 \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc \u062a\u06a9 \u0631\u0633\u0627\u0626\u06cc \u0633\u06d2 \u0631\u0648\u06a9 \u062f\u06cc\u0627\u06d4<\/p>\n<p>2023 \u0645\u06cc\u06ba\u060c \u067e\u0627\u0628\u0646\u062f\u06cc\u0648\u06ba \u06a9\u0648 ASML \u06a9\u06d2 \u062c\u062f\u06cc\u062f \u062a\u0631\u06cc\u0646 DUV \u0648\u0633\u0631\u062c\u0646 \u0633\u0633\u0679\u0645\u0632 (NXT:2000i \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0633 \u0633\u06d2 \u0627\u0648\u067e\u0631) \u062a\u06a9 \u0628\u0691\u06be\u0627 \u062f\u06cc\u0627 \u06af\u06cc\u0627\u060c \u062c\u0633 \u0633\u06d2 \u063a\u06cc\u0631 \u0645\u0644\u06a9\u06cc \u0622\u0644\u0627\u062a \u06a9\u0627 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u0648\u0626\u06d2 \u0686\u06cc\u0646 \u06a9\u06cc 28nm \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0633 \u0633\u06d2 \u06a9\u0645 \u06a9\u06cc \u062a\u06cc\u0627\u0631\u06cc \u06a9\u06cc \u0635\u0644\u0627\u062d\u06cc\u062a \u06a9\u0648 \u0645\u0632\u06cc\u062f \u0645\u062d\u062f\u0648\u062f \u06a9\u0631 \u062f\u06cc\u0627 \u06af\u06cc\u0627\u06d4 \u0646\u06cc\u062f\u0631\u0644\u06cc\u0646\u0688\u0632\u060c \u062c\u0627\u067e\u0627\u0646 \u0627\u0648\u0631 \u0631\u06cc\u0627\u0633\u062a\u06c1\u0627\u0626\u06d2 \u0645\u062a\u062d\u062f\u06c1 \u0646\u06d2 \u0627\u06cc\u06a9 \u0633\u06c1 \u0641\u0631\u06cc\u0642\u06cc \u0645\u0639\u0627\u06c1\u062f\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0630\u0631\u06cc\u0639\u06d2 \u0627\u0646 \u06a9\u0646\u0679\u0631\u0648\u0644\u0632 \u06a9\u0648 \u0645\u0631\u0628\u0648\u0637 \u06a9\u06cc\u0627 \u062c\u0633 \u0646\u06d2 Nikon \u0627\u0648\u0631 Tokyo Electron \u0633\u06d2 \u0628\u0631\u0622\u0645\u062f\u0627\u062a \u06a9\u0648 \u0628\u06be\u06cc \u0645\u062d\u062f\u0648\u062f \u06a9\u0631 \u062f\u06cc\u0627\u06d4<\/p>\n<p>\u0627\u0633\u0679\u0631\u06cc\u0679\u062c\u06a9 \u0645\u0646\u0637\u0642 \u0633\u0627\u062f\u06c1 \u06c1\u06d2\u06d4 \u0627\u06cc\u0688\u0648\u0627\u0646\u0633\u0688 \u0686\u067e\u0633 AI\u060c \u0645\u0644\u0679\u0631\u06cc \u0633\u0633\u0679\u0645\u0632 \u0627\u0648\u0631 \u06a9\u0645\u06cc\u0648\u0646\u06cc\u06a9\u06cc\u0634\u0646 \u0627\u0646\u0641\u0631\u0627\u0633\u0679\u0631\u06a9\u0686\u0631 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0636\u0631\u0648\u0631\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u062c\u062f\u06cc\u062f \u062a\u0631\u06cc\u0646 \u0686\u067e\u0633 \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06cc \u0645\u0634\u06cc\u0646\u0648\u06ba \u062a\u06a9 \u0631\u0633\u0627\u0626\u06cc \u06a9\u0648 \u0645\u062d\u062f\u0648\u062f \u06a9\u0631\u0646\u0627 \u062c\u063a\u0631\u0627\u0641\u06cc\u0627\u0626\u06cc \u0633\u06cc\u0627\u0633\u06cc \u062d\u0631\u06cc\u0641\u0648\u06ba \u06a9\u06cc \u062a\u06a9\u0646\u06cc\u06a9\u06cc \u0635\u0644\u0627\u062d\u06cc\u062a\u0648\u06ba \u06a9\u0648 \u0634\u0627\u0679\u0633 \u06a9\u0648 \u0628\u0644\u0627\u06d2 \u0628\u063a\u06cc\u0631 \u0645\u062d\u062f\u0648\u062f \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u0627 \u0627\u06cc\u06a9 \u0637\u0631\u06cc\u0642\u06c1 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0646\u062a\u0627\u0626\u062c \u062a\u0645\u0627\u0645 \u062c\u0645\u0627\u0639\u062a\u0648\u06ba \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0627\u06c1\u0645 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p><strong>ASML \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2<\/strong>: \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc \u06a9\u0627 \u062a\u062e\u0645\u06cc\u0646\u06c1 \u06c1\u06d2 \u06a9\u06c1 \u0627\u0633 \u0646\u06d2 \u0627\u067e\u0646\u06cc \u0633\u0628 \u0633\u06d2 \u0628\u0691\u06cc \u0648\u0627\u062d\u062f \u0645\u0627\u0631\u06a9\u06cc\u0679 \u0686\u06cc\u0646 \u0645\u06cc\u06ba \u0645\u0645\u06a9\u0646\u06c1 \u0622\u0645\u062f\u0646\u06cc \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u0631\u0628\u0648\u06ba \u06cc\u0648\u0631\u0648 \u06a9\u0627 \u0646\u0642\u0635\u0627\u0646 \u06a9\u06cc\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 ASML \u0646\u06d2 \u06a9\u06c1\u0627 \u06a9\u06c1 \u067e\u0627\u0628\u0646\u062f\u06cc\u0627\u06ba \u0627\u0633 \u06a9\u06cc \u0637\u0648\u06cc\u0644 \u0645\u062f\u062a\u06cc \u0622\u0645\u062f\u0646\u06cc \u06a9\u06cc \u0635\u0644\u0627\u062d\u06cc\u062a \u06a9\u0648 \u062a\u0642\u0631\u06cc\u0628\u0627\u064b 2.5 \u0628\u0644\u06cc\u0646 \u06cc\u0648\u0631\u0648 \u0633\u0627\u0644\u0627\u0646\u06c1 \u06a9\u0645 \u06a9\u0631 \u062f\u06d2 \u06af\u06cc\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0686\u06cc\u0646\u06cc \u0686\u067e \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u0648\u06ba \u06a9\u0648<\/strong>: SMIC\u060c Hua Hong \u0627\u0648\u0631 \u062f\u06cc\u06af\u0631 \u0686\u06cc\u0646\u06cc \u0641\u06cc\u0628\u0633 28nm \u0633\u06d2 \u0627\u0648\u067e\u0631 \u06a9\u06cc \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u062a\u06a9 \u0645\u062d\u062f\u0648\u062f \u06c1\u06cc\u06ba \u062c\u0648 \u0627\u0646 \u06a9\u06d2 \u067e\u0627\u0633 \u067e\u06c1\u0644\u06d2 \u0633\u06d2 \u0645\u0648\u062c\u0648\u062f \u06c1\u06cc\u06ba \u06cc\u0627 \u062f\u0631\u0622\u0645\u062f \u06a9\u0631 \u0633\u06a9\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u06cc\u06c1 \u0627\u0646 \u06a9\u06cc \u062c\u062f\u06cc\u062f \u0645\u0646\u0637\u0642 \u0627\u0648\u0631 \u0645\u06cc\u0645\u0648\u0631\u06cc \u06a9\u06cc \u062c\u06af\u06c1 \u0645\u06cc\u06ba \u0645\u0642\u0627\u0628\u0644\u06c1 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06cc \u0635\u0644\u0627\u062d\u06cc\u062a \u06a9\u0648 \u0645\u062d\u062f\u0648\u062f \u06a9\u0631 \u062f\u06cc\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0639\u0627\u0644\u0645\u06cc \u0633\u067e\u0644\u0627\u0626\u06cc \u0686\u06cc\u0646 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2<\/strong>: \u0627\u0646 \u0636\u0648\u0627\u0628\u0637 \u0646\u06d2 \u06af\u06be\u0631\u06cc\u0644\u0648 \u0633\u06cc\u0645\u06a9 \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0622\u0644\u0627\u062a \u0645\u06cc\u06ba \u0686\u06cc\u0646\u06cc \u0633\u0631\u0645\u0627\u06cc\u06c1 \u06a9\u0627\u0631\u06cc \u06a9\u0648 \u062a\u06cc\u0632 \u06a9\u06cc\u0627 \u06c1\u06d2\u060c \u062c\u0633 \u0633\u06d2 \u0627\u06cc\u06a9 \u062f\u0648 \u0645\u0646\u0642\u0633\u0645 \u0639\u0627\u0644\u0645\u06cc \u0633\u067e\u0644\u0627\u0626\u06cc \u0686\u06cc\u0646 \u062a\u0634\u06a9\u06cc\u0644 \u062f\u06cc\u0627 \u06af\u06cc\u0627 \u06c1\u06d2 \u062c\u0633 \u06a9\u06d2 \u0635\u0646\u0639\u062a \u067e\u0631 \u0637\u0648\u06cc\u0644 \u0645\u062f\u062a\u06cc \u0627\u062b\u0631\u0627\u062a \u0645\u0631\u062a\u0628 \u06c1\u0648\u06ba \u06af\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<h3 id=\"heading-the-chips-act-and-western-industrial-policy\">\u0686\u067e\u0633 \u0627\u06cc\u06a9\u0679 \u0627\u0648\u0631 \u0645\u063a\u0631\u0628\u06cc \u0635\u0646\u0639\u062a\u06cc \u067e\u0627\u0644\u06cc\u0633\u06cc<\/h3>\n<p>CHIPS \u0627\u0648\u0631 \u0633\u0627\u0626\u0646\u0633 \u0627\u06cc\u06a9\u0679\u060c \u062c\u0633 \u067e\u0631 \u0627\u06af\u0633\u062a 2022 \u0645\u06cc\u06ba \u062f\u0633\u062a\u062e\u0637 \u06c1\u0648\u0626\u06d2\u060c \u0646\u06d2 \u0631\u06cc\u0627\u0633\u062a\u06c1\u0627\u0626\u06d2 \u0645\u062a\u062d\u062f\u06c1 \u0645\u06cc\u06ba \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u06a9\u06cc \u062a\u06cc\u0627\u0631\u06cc \u0627\u0648\u0631 \u062a\u062d\u0642\u06cc\u0642 \u0645\u06cc\u06ba $52.7 \u0628\u0644\u06cc\u0646 \u06a9\u06cc \u0633\u0631\u0645\u0627\u06cc\u06c1 \u06a9\u0627\u0631\u06cc \u06a9\u06cc\u06d4 \u0627\u0633\u06cc \u0637\u0631\u062d \u06a9\u06cc \u0642\u0627\u0646\u0648\u0646 \u0633\u0627\u0632\u06cc \u06cc\u0648\u0631\u067e \u0645\u06cc\u06ba (\u06cc\u0648\u0631\u067e\u06cc \u0686\u067e \u0642\u0627\u0646\u0648\u0646 \u062c\u0633 \u06a9\u0627 \u06c1\u062f\u0641 \u20ac43 \u0628\u0644\u06cc\u0646 \u06a9\u06cc \u0633\u0631\u0645\u0627\u06cc\u06c1 \u06a9\u0627\u0631\u06cc \u06c1\u06d2) \u0627\u0648\u0631 \u062c\u0627\u067e\u0627\u0646 (TSMC \u06a9\u06d2 Kumamoto fab \u0627\u0648\u0631 \u06af\u06be\u0631\u06cc\u0644\u0648 \u0686\u067e \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u0648\u06ba \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0633\u0628\u0633\u0688\u06cc\u0632) \u0645\u06cc\u06ba \u0639\u0645\u0644 \u0645\u06cc\u06ba \u0622\u06cc\u0627\u06d4<\/p>\n<p>\u0635\u0646\u0639\u062a\u06cc \u067e\u0627\u0644\u06cc\u0633\u06cc \u06a9\u06cc \u06cc\u06c1 \u0644\u06c1\u0631 \u0627\u0633 \u067e\u06c1\u0686\u0627\u0646 \u06a9\u06cc \u0639\u06a9\u0627\u0633\u06cc \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u06c1\u06d2 \u06a9\u06c1 \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0645\u06cc\u0646\u0648\u0641\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0646\u06af \u0627\u0648\u0631 \u0633\u0627\u0632\u0648\u0633\u0627\u0645\u0627\u0646 \u062c\u0648 \u0627\u0633\u06d2 \u0645\u0645\u06a9\u0646 \u0628\u0646\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2 \u062d\u06a9\u0645\u062a \u0639\u0645\u0644\u06cc \u06a9\u06d2 \u0644\u062d\u0627\u0638 \u0633\u06d2 \u0628\u06c1\u062a \u0627\u06c1\u0645 \u06c1\u06d2 \u06a9\u06c1 \u0645\u06a9\u0645\u0644 \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u0645\u0627\u0631\u06a9\u06cc\u0679 \u067e\u0631 \u0686\u06be\u0648\u0691 \u062f\u06cc\u0627 \u062c\u0627\u0626\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0627\u0633 \u0633\u06d2 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u0632\u0648\u0633\u0627\u0645\u0627\u0646 \u06a9\u06cc \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0648\u06ba \u0627\u0648\u0631 \u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e\u0633 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0627\u06c1\u0645 \u0645\u0648\u0627\u0642\u0639 \u067e\u06cc\u062f\u0627 \u06c1\u0648\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u0628\u0634\u0645\u0648\u0644 R&#038;D \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u062d\u06a9\u0648\u0645\u062a\u06cc \u0641\u0646\u0688\u0646\u06af\u060c \u0633\u0627\u0632\u0648\u0633\u0627\u0645\u0627\u0646 \u06a9\u06cc \u0637\u0644\u0628 \u06a9\u0648 \u0628\u0691\u06be\u0627\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0633\u0628\u0633\u0688\u06cc \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u0641\u06cc\u0628 \u06a9\u06cc \u062a\u0639\u0645\u06cc\u0631\u060c \u0627\u0648\u0631 \u06af\u06be\u0631\u06cc\u0644\u0648 \u0633\u067e\u0644\u0627\u0626\u06cc \u0686\u06cc\u0646\u0632 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0633\u0627\u0632\u06af\u0627\u0631 \u0633\u06cc\u0627\u0633\u06cc \u0645\u0627\u062d\u0648\u0644\u06d4<\/p>\n<h2 id=\"heading-the-startup-landscape-in-semiconductor-equipment\">\u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u06a9\u0627 \u0633\u0627\u0645\u0627\u0646 \u0634\u0631\u0648\u0639 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u0627 \u0645\u0627\u062d\u0648\u0644<\/h2>\n<h3 id=\"heading-why-startups-matter-in-this-industry\">\u0627\u0633 \u0635\u0646\u0639\u062a \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e \u06a9\u06cc\u0648\u06ba \u0627\u06c1\u0645 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/h3>\n<p>\u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u06a9\u0627 \u0633\u0627\u0645\u0627\u0646 \u062a\u0627\u0631\u06cc\u062e\u06cc \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u0628\u0691\u06cc \u06a9\u0627\u0631\u067e\u0648\u0631\u06cc\u0634\u0646\u0648\u06ba \u06a9\u0627 \u063a\u0644\u0628\u06c1 \u0631\u06c1\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 \u0633\u0631\u0645\u0627\u0626\u06d2 \u06a9\u06cc \u0636\u0631\u0648\u0631\u06cc\u0627\u062a \u0628\u06c1\u062a \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u0633\u06cc\u0644\u0632 \u0633\u0627\u0626\u06cc\u06a9\u0644 \u0637\u0648\u06cc\u0644 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u0627\u0648\u0631 \u06a9\u0633\u0679\u0645\u0631 \u06a9\u06cc \u0627\u06c1\u0644\u06cc\u062a \u06a9\u06d2 \u0639\u0645\u0644 \u0645\u06cc\u06ba \u0633\u0627\u0644 \u0644\u06af \u0633\u06a9\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p>\u06cc\u06c1 \u0639\u0648\u0627\u0645\u0644 \u062f\u0627\u062e\u0644\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u06c1\u0645 \u0631\u06a9\u0627\u0648\u0679\u06cc\u06ba \u067e\u06cc\u062f\u0627 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba \u062c\u0646\u06c1\u0648\u06ba \u0646\u06d2 \u06a9\u0626\u06cc \u062f\u06c1\u0627\u0626\u06cc\u0648\u06ba \u0633\u06d2 ASML\u060c \u0627\u067e\u0644\u0627\u0626\u06cc\u0688 \u0645\u06cc\u0679\u0631\u06cc\u0644\u0632\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0644\u0627\u0645 \u0631\u06cc\u0633\u0631\u0686 \u062c\u06cc\u0633\u06d2 \u0630\u0645\u06c1 \u062f\u0627\u0631\u0648\u06ba \u06a9\u0648 \u0645\u062d\u0641\u0648\u0638 \u0631\u06a9\u06be\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u062a\u0627\u06c1\u0645\u060c \u06a9\u0626\u06cc \u0648\u062c\u0648\u06c1\u0627\u062a \u06a9\u06cc \u0628\u0646\u0627 \u067e\u0631 \u0627\u0633 \u0635\u0646\u0639\u062a \u0645\u06cc\u06ba \u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e \u062a\u06cc\u0632\u06cc \u0633\u06d2 \u0627\u06c1\u0645 \u06c1\u0648\u062a\u06d2 \u062c\u0627 \u0631\u06c1\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba:<\/p>\n<h4 id=\"heading-1-the-technology-frontier-is-moving-faster-than-incumbents-can-track\">1. \u062a\u06a9\u0646\u06cc\u06a9\u06cc \u0645\u062d\u0627\u0630 \u0627\u0633 \u0633\u06d2 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u062a\u06cc\u0632\u06cc \u0633\u06d2 \u0622\u06af\u06d2 \u0628\u0691\u06be \u0631\u06c1\u0627 \u06c1\u06d2 \u062c\u062a\u0646\u0627 \u06a9\u06c1 \u0622\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u0679\u0631\u06cc\u06a9 \u06a9\u0631 \u0633\u06a9\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/h4>\n<p>\u062c\u06cc\u0633\u06d2 \u062c\u06cc\u0633\u06d2 \u0686\u067e\u0633 \u0627\u067e\u0646\u06cc \u062c\u0633\u0645\u0627\u0646\u06cc \u062d\u062f\u0648\u06ba \u06a9\u06d2 \u0642\u0631\u06cc\u0628 \u067e\u06c1\u0646\u0686 \u0631\u06c1\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u067e\u06cc\u0679\u0631\u0646\u0646\u06af \u06a9\u06d2 \u0646\u0626\u06d2 \u0637\u0631\u06cc\u0642\u06d2 \u0627\u0628\u06be\u0631 \u0631\u06c1\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u062c\u0646 \u0645\u06cc\u06ba \u0688\u0627\u0626\u0631\u06cc\u06a9\u0679\u0688 \u0633\u06cc\u0644\u0641 \u0627\u0633\u0645\u0628\u0644\u06cc\u060c \u0627\u06cc\u0679\u0645 \u0644\u06cc\u0626\u0631 \u067e\u0631\u0648\u0633\u06cc\u0633\u0646\u06af\u060c \u06a9\u0645\u067e\u06cc\u0648\u0679\u06cc\u0634\u0646\u0644 \u0644\u06cc\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0688\u0627\u0626\u0631\u06cc\u06a9\u0679 \u0627\u0644\u06cc\u06a9\u0679\u0631\u0627\u0646 \u0628\u06cc\u0645 \u0631\u0627\u0626\u0679\u0646\u06af \u0634\u0627\u0645\u0644 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u0644\u06cc\u06a9\u0646 \u0627\u0646 \u06a9\u0648 \u06a9\u0645\u0631\u0634\u0644\u0627\u0626\u0632 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0630\u0645\u06c1 \u062f\u0627\u0631 \u0627\u0686\u06be\u06cc \u067e\u0648\u0632\u06cc\u0634\u0646 \u0645\u06cc\u06ba \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<h4 id=\"heading-2-advanced-packaging-is-creating-new-markets\">2. \u0627\u0639\u0644\u06cc \u062f\u0631\u062c\u06d2 \u06a9\u06cc \u067e\u06cc\u06a9\u06cc\u062c\u0646\u06af \u0646\u0626\u06cc \u0645\u0646\u0688\u06cc\u0627\u06ba \u0628\u0646\u0627 \u0631\u06c1\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/h4>\n<p>2D \u0633\u06d2 3D \u0686\u067e \u0622\u0631\u06a9\u06cc\u0679\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0632 (\u0686\u067e\u0644\u06cc\u0679\u0633\u060c \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u0622\u0646 \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u0628\u0627\u0646\u0688\u0646\u06af\u060c \u0633\u0644\u06a9\u0627\u0646 \u0648\u06cc\u0627\u0633 \u06a9\u06d2 \u0630\u0631\u06cc\u0639\u06d2) \u06a9\u06cc \u0645\u0646\u062a\u0642\u0644\u06cc \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0622\u0644\u0627\u062a \u06a9\u06cc \u0646\u0626\u06cc \u06a9\u06cc\u0679\u06cc\u06af\u0631\u06cc\u0632 \u06a9\u06cc \u0636\u0631\u0648\u0631\u062a \u06c1\u0648\u062a\u06cc \u06c1\u06d2 \u062c\u06c1\u0627\u06ba \u0639\u06c1\u062f\u06c1 \u062f\u0627\u0631\u0648\u06ba \u06a9\u0648 \u06a9\u0645 \u0641\u0627\u0626\u062f\u06c1 \u06c1\u0648\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<h4 id=\"heading-3-geopolitical-fragmentation-is-creating-demand-for-alternative-supply-chains\">3. \u062c\u063a\u0631\u0627\u0641\u06cc\u0627\u0626\u06cc \u0633\u06cc\u0627\u0633\u06cc \u062a\u0642\u0633\u06cc\u0645 \u0645\u062a\u0628\u0627\u062f\u0644 \u0633\u067e\u0644\u0627\u0626\u06cc \u0686\u06cc\u0646 \u06a9\u06cc \u0645\u0627\u0646\u06af \u067e\u06cc\u062f\u0627 \u06a9\u0631 \u0631\u06c1\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/h4>\n<p>\u062d\u06a9\u0648\u0645\u062a\u06cc\u06ba \u0627\u0648\u0631 \u0686\u067e \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u0648\u0627\u062d\u062f \u0630\u0631\u06cc\u0639\u06c1 \u0641\u0631\u0627\u06c1\u0645 \u06a9\u0646\u0646\u062f\u06af\u0627\u0646 \u067e\u0631 \u0627\u0646\u062d\u0635\u0627\u0631 \u06a9\u0645 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u0627\u0648\u0631 \u0646\u0626\u06d2 \u062f\u0627\u062e\u0644 \u06c1\u0648\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u0648\u06ba \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0645\u0648\u0627\u0642\u0639 \u067e\u06cc\u062f\u0627 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0633\u0631\u06af\u0631\u0645 \u0639\u0645\u0644 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<h4 id=\"heading-4-ai-is-transforming-chip-design-and-manufacturing\">4. AI \u0686\u067e \u0688\u06cc\u0632\u0627\u0626\u0646 \u0627\u0648\u0631 \u0645\u06cc\u0646\u0648\u0641\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0646\u06af \u06a9\u0648 \u062a\u0628\u062f\u06cc\u0644 \u06a9\u0631 \u0631\u06c1\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/h4>\n<p>\u06a9\u0645\u067e\u06cc\u0648\u0679\u06cc\u0634\u0646\u0644 \u0644\u06cc\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc\u060c \u067e\u0631\u0648\u0633\u06cc\u0633 \u06a9\u0646\u0679\u0631\u0648\u0644\u060c \u062e\u0631\u0627\u0628\u06cc \u06a9\u0627 \u0645\u0639\u0627\u0626\u0646\u06c1\u060c \u0627\u0648\u0631 \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u06a9\u06cc \u0627\u0635\u0644\u0627\u062d \u0633\u0628 \u06a9\u0648 \u0645\u0634\u06cc\u0646 \u0644\u0631\u0646\u0646\u06af \u06a9\u06d2 \u0630\u0631\u06cc\u0639\u06d2 \u062a\u0628\u062f\u06cc\u0644 \u06a9\u06cc\u0627 \u062c\u0627 \u0631\u06c1\u0627 \u06c1\u06d2\u060c \u062c\u0633 \u0633\u06d2 \u0633\u0627\u0641\u0679 \u0648\u06cc\u0626\u0631 \u06a9\u06d2 \u067e\u06c1\u0644\u06d2 \u0622\u063a\u0627\u0632 \u06a9\u06d2 \u0645\u0648\u0627\u0642\u0639 \u067e\u06cc\u062f\u0627 \u06c1\u0648 \u0631\u06c1\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba \u062c\u0648 \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0622\u0644\u0627\u062a \u06a9\u06d2 \u0645\u0627\u062d\u0648\u0644\u06cc\u0627\u062a\u06cc \u0646\u0638\u0627\u0645 \u0645\u06cc\u06ba \u0641\u0631\u0648\u062e\u062a \u06a9\u0631 \u0633\u06a9\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<h3 id=\"heading-key-startup-categories\">\u0627\u06c1\u0645 \u0627\u0628\u062a\u062f\u0627\u0626\u06cc \u0632\u0645\u0631\u06d2<\/h3>\n<h4 id=\"heading-computational-lithography-and-eda\">\u06a9\u0645\u067e\u06cc\u0648\u0679\u06cc\u0634\u0646\u0644 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0627\u0648\u0631 \u0627\u06cc \u0688\u06cc \u0627\u06d2<\/h4>\n<p>\u06a9\u0645\u067e\u06cc\u0648\u0679\u06cc\u0634\u0646\u0644 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc\u060c \u062c\u0648 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06d2 \u0639\u0645\u0644 \u06a9\u0648 \u0645\u0627\u0688\u0644 \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u0627\u0648\u0631 \u0628\u06c1\u062a\u0631 \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0633\u0627\u0641\u0679 \u0648\u06cc\u0626\u0631 \u06a9\u0627 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u060c \u0627\u062a\u0646\u0627 \u06c1\u06cc \u0627\u06c1\u0645 \u06c1\u0648 \u06af\u06cc\u0627 \u06c1\u06d2 \u062c\u062a\u0646\u0627 \u06a9\u06c1 \u062e\u0648\u062f \u06c1\u0627\u0631\u0688 \u0648\u06cc\u0626\u0631\u06d4 \u0686\u0648\u0646\u06a9\u06c1 \u062e\u0635\u0648\u0635\u06cc\u0627\u062a \u0631\u0648\u0634\u0646\u06cc \u06a9\u06cc \u0637\u0648\u0644 \u0645\u0648\u062c \u0633\u06d2 \u0646\u06cc\u0686\u06d2 \u0631\u06c1 \u062c\u0627\u062a\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u0627\u0633 \u0644\u06cc\u06d2 \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u067e\u0631 \u0686\u06be\u067e\u06cc \u06c1\u0648\u0626\u06cc \u067e\u06cc\u0679\u0631\u0646 \u0631\u06cc\u0679\u06cc\u06a9\u0644 \u0633\u06d2 \u0646\u0645\u0627\u06cc\u0627\u06ba \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u0645\u062e\u062a\u0644\u0641 \u06c1\u0648\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0622\u067e\u0679\u06cc\u06a9\u0644 \u067e\u0631\u0648\u06a9\u0633\u06cc\u0645\u0679\u06cc \u06a9\u0645\u067e\u0646\u0633\u06cc\u0634\u0646 (OPC)\u060c \u0633\u0648\u0631\u0633 \u0645\u0627\u0633\u06a9 \u0622\u067e\u0679\u06cc\u0645\u0627\u0626\u0632\u06cc\u0634\u0646 (SMO)\u060c \u0627\u0648\u0631 Inverse Lithography Technology (ILT) \u0633\u0627\u0641\u0679 \u0648\u06cc\u0626\u0631 \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc\u0632 \u06c1\u06cc\u06ba \u062c\u0648 \u0631\u06cc\u0679\u06cc\u06a9\u0644 \u067e\u06cc\u0679\u0631\u0646 \u06a9\u0648 \u067e\u06c1\u0644\u06d2 \u0633\u06d2 \u0645\u0633\u062e \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06c1\u0648\u062a\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba \u062a\u0627\u06a9\u06c1 \u067e\u0631\u0646\u0679 \u0634\u062f\u06c1 \u0646\u062a\u06cc\u062c\u06c1 \u0688\u06cc\u0632\u0627\u0626\u0646 \u06a9\u06d2 \u0627\u0631\u0627\u062f\u06d2 \u0633\u06d2 \u0645\u06cc\u0644 \u06a9\u06be\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u06cc\u06c1 \u062d\u0633\u0627\u0628\u0627\u062a \u0646\u0627\u0642\u0627\u0628\u0644 \u06cc\u0642\u06cc\u0646 \u062d\u062f \u062a\u06a9 \u0645\u0634\u06a9\u0644 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u0633\u0646\u06af\u0644 \u0627\u06cc\u0688\u0648\u0627\u0646\u0633 \u0686\u067e \u0631\u06cc\u0679\u06cc\u06a9\u0644 \u06a9\u0648 \u0628\u06c1\u062a\u0631 \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u067e\u06cc\u0679\u0627 \u0628\u0627\u0626\u0679\u0633 \u06a9\u0645\u067e\u06cc\u0648\u0679\u0646\u06af \u06a9\u06cc \u0636\u0631\u0648\u0631\u062a \u067e\u0691 \u0633\u06a9\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4 \u0631\u0648\u0627\u06cc\u062a\u06cc \u0627\u0644\u06cc\u06a9\u0679\u0631\u0627\u0646\u06a9 \u0688\u06cc\u0632\u0627\u0626\u0646 \u0622\u0679\u0648\u0645\u06cc\u0634\u0646 (EDA) \u0648\u06cc\u0646\u0688\u0631\u0632 Synopsys\u060c Cadence\u060c \u0627\u0648\u0631 Mentor (\u0627\u0628 Siemens EDA) \u0627\u0633 \u0645\u0627\u0631\u06a9\u06cc\u0679 \u067e\u0631 \u062d\u0627\u0648\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u0644\u06cc\u06a9\u0646 \u0627\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e \u0641\u0631\u0646\u0679\u06cc\u0626\u0631 \u067e\u0631 \u0645\u0648\u0627\u0642\u0639 \u062a\u0644\u0627\u0634 \u06a9\u0631 \u0631\u06c1\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p><strong>\u0648\u0627\u062d\u062f \u062c\u06cc\u0646\u0648\u0645\u06a9\u0633 \/ \u0645\u0644\u0679\u06cc \u0628\u06cc\u0645 \u06a9\u0627\u0631\u067e\u0648\u0631\u06cc\u0634\u0646<\/strong>: \u06c1\u0645 \u0627\u06cc\u06a9 \u0645\u0644\u0679\u06cc \u0628\u06cc\u0645 \u0627\u0644\u06cc\u06a9\u0679\u0631\u0627\u0646 \u0628\u06cc\u0645 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0633\u0633\u0679\u0645 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631 \u0631\u06c1\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba \u062c\u0648 \u0628\u06cc\u0645 \u06a9\u06cc \u062c\u06af\u06c1 \u0627\u0648\u0631 \u0646\u0645\u0627\u0626\u0634 \u06a9\u0648 \u0628\u06c1\u062a\u0631 \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 AI \u06a9\u0627 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>D2S (\u0633\u0644\u06cc\u06a9\u0648\u0646 \u0688\u06cc\u0632\u0627\u0626\u0646)<\/strong>: \u0627\u06cc\u06a9 GPU- \u0627\u06cc\u06a9\u0633\u0644\u0631\u06cc\u0679\u0688 \u06a9\u0645\u067e\u06cc\u0648\u0679\u06cc\u0634\u0646\u0644 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0679\u0648\u0644 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631\u0646\u0627 \u062c\u0648 \u0645\u0627\u0633\u06a9 \u0688\u06cc\u0679\u0627 \u06a9\u06cc \u062a\u06cc\u0627\u0631\u06cc \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u062f\u0631\u06a9\u0627\u0631 \u0648\u0642\u062a \u06a9\u0648 \u0688\u0631\u0627\u0645\u0627\u0626\u06cc \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u06a9\u0645 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0679\u0648\u0679\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u0627<\/strong>: EUV \u06a9\u06cc \u0646\u0645\u0627\u0626\u0634 \u0645\u06cc\u06ba \u0628\u06d2 \u062a\u0631\u062a\u06cc\u0628 \u062a\u063a\u06cc\u0631\u0627\u062a \u06a9\u0648 \u0633\u0645\u062c\u06be\u0646\u06d2 \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0646 \u06a9\u0648 \u06a9\u0645 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0627\u0633\u0679\u0627\u06a9\u0633\u0679\u06a9 \u062a\u063a\u06cc\u0631\u0627\u062a \u06a9\u06d2 \u062a\u062c\u0632\u06cc\u06d2 \u067e\u0631 \u062a\u0648\u062c\u06c1 \u0645\u0631\u06a9\u0648\u0632 \u06a9\u0631\u06cc\u06ba\u060c \u062c\u0648 \u06a9\u06c1 \u0686\u06be\u0648\u0679\u06d2 \u0641\u06cc\u0686\u0631 \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u0626\u0632 \u067e\u0631 \u0627\u06c1\u0645 \u06c1\u0648 \u062c\u0627\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<h4 id=\"heading-e-beam-direct-write\">\u0627\u0644\u06cc\u06a9\u0679\u0631\u0627\u0646 \u0628\u06cc\u0645 \u06a9\u06cc \u0628\u0631\u0627\u06c1 \u0631\u0627\u0633\u062a \u062a\u062d\u0631\u06cc\u0631<\/h4>\n<p>\u0627\u0644\u06cc\u06a9\u0679\u0631\u0627\u0646 \u0628\u06cc\u0645 (\u0627\u06cc-\u0628\u06cc\u0645) \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0645\u0632\u0627\u062d\u0645\u062a \u06a9\u0648 \u0628\u06d2 \u0646\u0642\u0627\u0628 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0631\u0648\u0634\u0646\u06cc \u06a9\u06cc \u0628\u062c\u0627\u0626\u06d2 \u0627\u0644\u06cc\u06a9\u0679\u0631\u0627\u0646 \u06a9\u06cc \u0627\u06cc\u06a9 \u0645\u0631\u06a9\u0648\u0632 \u0628\u06cc\u0645 \u06a9\u0627 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4 \u0686\u0648\u0646\u06a9\u06c1 \u0627\u0644\u06cc\u06a9\u0679\u0631\u0627\u0646 \u06a9\u06cc \u0637\u0648\u0644 \u0645\u0648\u062c EUV \u0631\u0648\u0634\u0646\u06cc \u0633\u06d2 \u0628\u06c1\u062a \u06a9\u0645 \u06c1\u0648\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u060c \u0627\u0633 \u0644\u06cc\u06d2 \u0627\u06cc \u0628\u06cc\u0645 \u0633\u0633\u0679\u0645 \u0627\u0635\u0648\u0644\u06cc \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u0628\u06c1\u062a \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u0631\u06cc\u0632\u0648\u0644\u0648\u0634\u0646 \u062d\u0627\u0635\u0644 \u06a9\u0631 \u0633\u06a9\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p>\u0627\u06cc \u0628\u06cc\u0645 \u06a9\u06cc \u0628\u0646\u06cc\u0627\u062f\u06cc \u062d\u062f \u06c1\u0645\u06cc\u0634\u06c1 \u062a\u06be\u0631\u0648 \u067e\u0679 \u0631\u06c1\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4 \u0627\u06cc\u06a9 \u0648\u0627\u062d\u062f \u0628\u06cc\u0645 \u062c\u0648 \u0627\u06cc\u06a9 \u0648\u0642\u062a \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u06cc\u06a9 \u067e\u06a9\u0633\u0644 \u06a9\u06d2 \u067e\u06cc\u0686\u06cc\u062f\u06c1 \u0686\u067e \u067e\u06cc\u0679\u0631\u0646 \u0628\u0646\u0627\u062a\u06cc \u06c1\u06d2 \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631\u06cc \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0628\u06c1\u062a \u0633\u0633\u062a \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u06a9\u0626\u06cc \u0627\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e\u0633 \u0645\u0644\u0679\u06cc \u0628\u06cc\u0645 \u0627\u067e\u0631\u0648\u0686\u0632 \u06a9\u0627 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u0648\u0626\u06d2 \u0627\u0633 \u062a\u06be\u0631\u0648 \u067e\u0679 \u0645\u0633\u0626\u0644\u06c1 \u06a9\u0648 \u062d\u0644 \u06a9\u0631\u0631\u06c1\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p><strong>\u0622\u0626\u06cc \u0627\u06cc\u0645 \u0627\u06cc\u0633 \u0646\u06cc\u0646\u0648 \u0645\u06cc\u0646\u0648\u0641\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0646\u06af<\/strong> (2015 \u0645\u06cc\u06ba Intel \u06a9\u06d2 \u0630\u0631\u06cc\u0639\u06d2 \u062d\u0627\u0635\u0644 \u06a9\u06cc\u0627 \u06af\u06cc\u0627\u060c 2021 \u0645\u06cc\u06ba TSMC \u06a9\u06d2 \u0630\u0631\u06cc\u0639\u06d2 \u062d\u0627\u0635\u0644 \u06a9\u06cc\u0627 \u06af\u06cc\u0627): \u0627\u06cc\u06a9 \u0628\u0691\u06d2 \u067e\u06cc\u0645\u0627\u0646\u06d2 \u067e\u0631 \u0645\u062a\u0648\u0627\u0632\u06cc \u0645\u0644\u0679\u06cc \u0628\u06cc\u0645 \u0645\u0627\u0633\u06a9 \u0631\u0627\u0626\u0679\u0631 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u06cc\u0627 \u062c\u0648 \u0628\u06cc\u06a9 \u0648\u0642\u062a \u06c1\u0632\u0627\u0631\u0648\u06ba \u0627\u0644\u06cc\u06a9\u0679\u0631\u0627\u0646 \u0628\u06cc\u0645 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 \u0627\u0628 \u06cc\u06c1 EUV \u0645\u0627\u0633\u06a9 \u0644\u06a9\u06be\u0646\u06d2 \u06a9\u06cc \u062a\u06cc\u0627\u0631\u06cc \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06c1\u0648\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0645\u0644\u0679\u06cc \u0628\u06cc\u0645 \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc \u0644\u0645\u06cc\u0679\u0688<\/strong>: \u062c\u062f\u06cc\u062f \u062a\u0631\u06cc\u0646 \u0645\u0646\u0637\u0642 \u0633\u06d2 \u06a9\u0645 \u062a\u06be\u0631\u0648 \u067e\u0679 \u0636\u0631\u0648\u0631\u06cc\u0627\u062a \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be \u0627\u0639\u0644\u06cc \u062f\u0631\u062c\u06d2 \u06a9\u06cc \u067e\u06cc\u06a9\u06cc\u062c\u0646\u06af \u0627\u0648\u0631 \u062e\u0635\u0648\u0635\u06cc \u0686\u067e \u0627\u06cc\u067e\u0644\u06cc \u06a9\u06cc\u0634\u0646\u0632 \u06a9\u0648 \u0646\u0634\u0627\u0646\u06c1 \u0628\u0646\u0627\u062a\u06d2 \u06c1\u0648\u0626\u06d2 \u0645\u0644\u0679\u06cc \u0628\u06cc\u0645 \u0688\u0627\u0626\u0631\u06cc\u06a9\u0679 \u0631\u0627\u0626\u0679 \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0633\u0633\u0679\u0645 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631\u0646\u0627\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0645\u06cc\u067e\u0631 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc<\/strong>: \u0688\u0686 \u0627\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e \u062c\u0633 \u0646\u06d2 \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0628\u0691\u06d2 \u067e\u06cc\u0645\u0627\u0646\u06d2 \u067e\u0631 \u0645\u062a\u0648\u0627\u0632\u06cc \u0627\u0644\u06cc\u06a9\u0679\u0631\u0627\u0646 \u0628\u06cc\u0645 \u0633\u0633\u0679\u0645 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 $100 \u0645\u0644\u06cc\u0646 \u0633\u06d2 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u0627\u06a9\u0679\u06be\u0627 \u06a9\u06cc\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc \u0628\u0627\u0644\u0622\u062e\u0631 \u06a9\u0627\u0641\u06cc \u062a\u06be\u0631\u0648 \u067e\u0679 \u062d\u0627\u0635\u0644 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba \u0646\u0627\u06a9\u0627\u0645 \u0631\u06c1\u06cc \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0633\u06d2 2018 \u0645\u06cc\u06ba ASML \u0646\u06d2 \u062d\u0627\u0635\u0644 \u06a9\u0631 \u0644\u06cc\u0627\u06d4 \u062a\u0627\u06c1\u0645\u060c \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc \u06a9\u06cc \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc \u0646\u06d2 ASML \u06a9\u0648 \u0627\u0644\u06cc\u06a9\u0679\u0631\u0627\u0646 \u0628\u06cc\u0645 \u06a9\u06d2 \u0646\u0642\u0637\u06c1 \u0646\u0638\u0631 \u06a9\u0648 \u0633\u0645\u062c\u06be\u0646\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u06c1\u0645 \u06a9\u0631\u062f\u0627\u0631 \u0627\u062f\u0627 \u06a9\u06cc\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<h4 id=\"heading-directed-self-assembly-dsa\">\u0688\u0627\u0626\u0631\u06cc\u06a9\u0679\u0688 \u0633\u06cc\u0644\u0641 \u0627\u0633\u0645\u0628\u0644\u06cc (DSA)<\/h4>\n<p>\u0688\u0627\u0626\u0631\u06cc\u06a9\u0679\u0688 \u0633\u06cc\u0644\u0641 \u0627\u0633\u0645\u0628\u0644\u06cc \u0628\u0639\u0636 \u067e\u0648\u0644\u06cc\u0645\u0631\u06a9 \u0645\u0648\u0627\u062f (\u0628\u0644\u0627\u06a9 \u06a9\u0648\u067e\u0648\u0644\u06cc\u0645\u0631) \u06a9\u06d2 \u0642\u062f\u0631\u062a\u06cc \u0631\u062c\u062d\u0627\u0646 \u06a9\u0627 \u0641\u0627\u0626\u062f\u06c1 \u0627\u0679\u06be\u0627\u062a\u06cc \u06c1\u06d2 \u062a\u0627\u06a9\u06c1 \u0628\u0627\u0642\u0627\u0639\u062f\u06c1 \u0646\u0627\u0646\u0648\u0633\u06a9\u0644 \u067e\u06cc\u0679\u0631\u0646 \u0645\u06cc\u06ba \u062e\u0648\u062f \u0628\u062e\u0648\u062f \u0645\u0646\u0638\u0645 \u06c1\u0648\u062c\u0627\u0626\u06d2\u06d4 \u0627\u0633 \u0633\u06cc\u0644\u0641 \u0627\u0633\u0645\u0628\u0644\u06cc \u06a9\u06cc \u0631\u06c1\u0646\u0645\u0627\u0626\u06cc \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u067e\u06c1\u0644\u06d2 \u0633\u06d2 \u067e\u06cc\u0679\u0631\u0646 \u0634\u062f\u06c1 \u0679\u06cc\u0645\u067e\u0644\u06cc\u0679\u0633 \u06a9\u0627 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u0635\u0631\u0641 \u0679\u06cc\u0645\u067e\u0644\u06cc\u0679\u0633 \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be \u062d\u0627\u0635\u0644 \u06a9\u06cc\u06d2 \u062c\u0627\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u062c\u06cc\u0648\u0645\u06cc\u0679\u0631\u06cc\u0648\u06ba \u06a9\u06d2 \u0645\u0642\u0627\u0628\u0644\u06d2 \u0686\u06be\u0648\u0679\u06d2 \u062c\u06cc\u0648\u0645\u06cc\u0679\u0631\u06cc\u0627\u06ba \u067e\u06cc\u062f\u0627 \u06a9\u0631 \u0633\u06a9\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 \u0627\u0633 \u06a9\u0627 \u0645\u0637\u0644\u0628 \u06c1\u06d2 \u06a9\u06c1 \u0622\u067e\u0679\u06cc\u06a9\u0644 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06cc \u0631\u06cc\u0632\u0648\u0644\u0648\u0634\u0646 \u06a9\u0648 \u0628\u0691\u06be\u0627\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u06a9\u06cc\u0645\u0633\u0679\u0631\u06cc \u06a9\u0648 \u0645\u0624\u062b\u0631 \u0637\u0631\u06cc\u0642\u06d2 \u0633\u06d2 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u0631\u0646\u0627\u06d4<\/p>\n<p>DSA \u0627\u06cc\u06a9 \u062f\u06c1\u0627\u0626\u06cc \u0633\u06d2 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u0639\u0631\u0635\u06d2 \u0633\u06d2 \u062a\u0631\u0642\u06cc \u0645\u06cc\u06ba \u06c1\u06d2 \u0627\u0648\u0631 \u062a\u062d\u0642\u06cc\u0642\u06cc \u062a\u0631\u062a\u06cc\u0628\u0627\u062a \u0645\u06cc\u06ba \u062a\u06a9\u0646\u06cc\u06a9\u06cc \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u0642\u0627\u0628\u0644 \u0639\u0645\u0644 \u062b\u0627\u0628\u062a \u06c1\u0648\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 \u0688\u06cc\u0641\u06cc\u06a9\u0679 \u06a9\u0646\u0679\u0631\u0648\u0644 \u06a9\u06d2 \u0645\u0633\u0627\u0626\u0644 \u0627\u0648\u0631 \u0688\u06cc \u0627\u06cc\u0633 \u0627\u06d2 \u06a9\u0648 \u0645\u0648\u062c\u0648\u062f\u06c1 \u0645\u06cc\u0646\u0648\u0641\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0646\u06af \u06a9\u06d2 \u0639\u0645\u0644 \u0645\u06cc\u06ba \u0636\u0645 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba \u062f\u0634\u0648\u0627\u0631\u06cc\u0648\u06ba \u0646\u06d2 \u062a\u062c\u0627\u0631\u062a\u06cc \u0627\u067e\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u06a9\u0648 \u0633\u0633\u062a \u06a9\u0631 \u062f\u06cc\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 \u062a\u0627\u06c1\u0645\u060c \u06a9\u0626\u06cc \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0627\u06ba DSA \u0645\u0648\u0627\u062f \u0627\u0648\u0631 \u0639\u0645\u0644 \u06a9\u0648 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631\u0646\u0627 \u062c\u0627\u0631\u06cc \u0631\u06a9\u06be\u062a\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p><strong>EMD \u0641\u0646\u06a9\u0634\u0646\u0644 \u0645\u0648\u0627\u062f<\/strong> (\u0627\u06cc\u06a9 \u0645\u0631\u06a9 \u06a9\u06d2 \u062c\u06cc \u0627\u06d2 \u0627\u06d2 \u0630\u06cc\u0644\u06cc \u0627\u062f\u0627\u0631\u06c1): NAND \u0641\u0644\u06cc\u0634 \u0627\u0648\u0631 \u0645\u0646\u0637\u0642 \u0627\u06cc\u067e\u0644\u06cc \u06a9\u06cc\u0634\u0646\u0632 \u06a9\u0648 \u0646\u0634\u0627\u0646\u06c1 \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06cc \u0645\u0635\u0646\u0648\u0639\u0627\u062a \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be DSA \u0645\u0648\u0627\u062f \u06a9\u06d2 \u0633\u0631\u06a9\u0631\u062f\u06c1 \u0688\u0648\u06cc\u0644\u067e\u0631\u0632 \u0645\u06cc\u06ba \u0633\u06d2 \u0627\u06cc\u06a9\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0634\u0631\u0627\u0628 \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06cc \u0633\u0627\u0626\u0646\u0633<\/strong>: DSA \u0630\u06cc\u0644\u06cc \u0633\u0637\u062d \u06a9\u06d2 \u0645\u0648\u0627\u062f \u0627\u0648\u0631 \u0639\u0645\u0644 \u06a9\u06cc \u062a\u0631\u0642\u06cc\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<h4 id=\"heading-advanced-packaging-equipment\">\u0627\u0639\u0644\u06cc \u062f\u0631\u062c\u06d2 \u06a9\u06cc \u067e\u06cc\u06a9\u06cc\u062c\u0646\u06af \u06a9\u0627 \u0633\u0627\u0645\u0627\u0646<\/h4>\n<p>\u0686\u067e\u0644\u06cc\u0679 \u067e\u0631 \u0645\u0628\u0646\u06cc \u0622\u0631\u06a9\u06cc\u0679\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0632 \u0645\u06cc\u06ba \u062a\u0628\u062f\u06cc\u0644\u06cc\u060c \u062c\u06c1\u0627\u06ba \u0645\u062a\u0639\u062f\u062f \u0686\u067e\u0633 \u06a9\u0648 \u0633\u0646\u06af\u0644 \u0688\u0627\u0626\u06cc \u06a9\u06d2 \u0628\u062c\u0627\u0626\u06d2 \u0627\u06cc\u06a9 \u067e\u06cc\u06a9\u062c \u0645\u06cc\u06ba \u0636\u0645 \u06a9\u06cc\u0627 \u062c\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u060c \u0646\u0626\u06d2 \u0622\u0644\u0627\u062a \u06a9\u06cc \u06a9\u06cc\u0679\u06cc\u06af\u0631\u06cc\u0632 \u06a9\u06cc \u0627\u06c1\u0645 \u0645\u0627\u0646\u06af \u067e\u06cc\u062f\u0627 \u06a9\u0631 \u0631\u06c1\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0627\u0639\u0644\u06cc \u062f\u0631\u062c\u06d2 \u06a9\u06cc \u067e\u06cc\u06a9\u06cc\u062c\u0646\u06af \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc\u060c \u0628\u0627\u0646\u0688\u0646\u06af\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0645\u0639\u0627\u0626\u0646\u06c1 \u06a9\u06d2 \u0622\u0644\u0627\u062a \u06a9\u06cc \u0636\u0631\u0648\u0631\u062a \u06c1\u0648\u062a\u06cc \u06c1\u06d2 \u062c\u0648 \u06a9\u06c1 \u0641\u0631\u0646\u0679 \u0627\u06cc\u0646\u0688 \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u067e\u0631\u0648\u0633\u06cc\u0633\u0646\u06af \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06c1\u0648\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u0622\u0644\u0627\u062a \u0633\u06d2 \u0645\u062e\u062a\u0644\u0641 \u06c1\u0648\u062a\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p>\u0627\u0639\u0644\u06cc \u062f\u0631\u062c\u06d2 \u06a9\u06cc \u067e\u06cc\u06a9\u06cc\u062c\u0646\u06af \u0645\u06cc\u06ba \u0622\u063a\u0627\u0632 \u06a9\u06d2 \u0627\u06c1\u0645 \u0645\u0648\u0627\u0642\u0639 \u0645\u06cc\u06ba \u0634\u0627\u0645\u0644 \u06c1\u06cc\u06ba:<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p><strong>\u06c1\u0627\u0626\u0628\u0631\u0688 \u0628\u0627\u0646\u0688\u0646\u06af \u06a9\u0627 \u0633\u0627\u0645\u0627\u0646<\/strong>: \u062a\u0627\u0646\u0628\u06d2 \u0633\u06d2 \u062a\u0627\u0646\u0628\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0628\u0627\u0646\u0688\u0646\u06af \u06a9\u0648 \u0688\u0627\u0626\u06cc \u0644\u06cc\u0648\u0644 \u067e\u0631 \u0686\u067e\u0633 \u06a9\u0648 \u062c\u0648\u0691\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0633\u0637\u062d \u06a9\u06cc \u0627\u0646\u062a\u06c1\u0627\u0626\u06cc \u06c1\u0645\u0648\u0627\u0631\u06cc \u0627\u0648\u0631 \u0635\u0641\u0627\u0626\u06cc \u06a9\u06cc \u0636\u0631\u0648\u0631\u062a \u06c1\u0648\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4 \u0627\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e \u062c\u06cc\u0633\u06d2 <strong>\u0627\u06cc\u0688\u06cc\u0627<\/strong> (\u0633\u0627\u0628\u0642\u06c1 \u200b\u200bXferry) \u0628\u0627\u0646\u0688\u0646\u06af \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631 \u0631\u06c1\u06cc \u06c1\u06d2 \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0633\u06d2 \u0622\u0644\u0627\u062a \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u0648\u06ba \u06a9\u0648 \u0644\u0627\u0626\u0633\u0646\u0633 \u062f\u06d2 \u0631\u06c1\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0641\u06cc\u0646 \u0622\u0624\u0679 \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u0644\u06cc\u0648\u0644 \u067e\u06cc\u06a9\u06cc\u062c\u0646\u06af (FOWLP) \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc\u06d4<\/strong>: \u0631\u06cc \u06a9\u0646\u0641\u06cc\u06af\u0631\u0688 \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u0641\u0627\u0631\u0645\u06cc\u0679 \u0645\u06cc\u06ba \u0686\u067e\u0633 \u06a9\u06cc \u067e\u06cc\u06a9\u06cc\u062c\u0646\u06af \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0628\u0691\u06d2 \u0641\u06cc\u0644\u0688 \u0633\u0627\u0626\u0632 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0645\u0648\u0632\u0648\u06ba \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0633\u0633\u0679\u0645\u0632 \u0627\u0648\u0631 \u067e\u06cc\u06a9\u06cc\u062c\u0646\u06af \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06c1\u0648\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u0633\u0628\u0633\u0679\u0631\u06cc\u0679 \u0645\u0648\u0627\u062f \u06a9\u06cc \u0645\u062e\u062a\u0644\u0641 \u0642\u0633\u0645 \u06a9\u06cc \u0636\u0631\u0648\u0631\u062a \u06c1\u0648\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>3D \u0645\u0639\u0627\u0626\u0646\u06c1 \u0627\u0648\u0631 \u0645\u06cc\u0679\u0631\u0648\u0644\u0648\u062c\u06cc<\/strong>: 3D \u0627\u0633\u0679\u06cc\u06a9 \u0634\u062f\u06c1 \u0686\u067e\u0633 \u06a9\u06cc \u0635\u0641 \u0628\u0646\u062f\u06cc \u0627\u0648\u0631 \u0645\u0639\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u06cc \u062a\u0635\u062f\u06cc\u0642 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0646\u0626\u06d2 \u0645\u0639\u0627\u0626\u0646\u06c1 \u06a9\u06d2 \u0637\u0631\u06cc\u0642\u0648\u06ba \u06a9\u06cc \u0636\u0631\u0648\u0631\u062a \u06c1\u06d2\u06d4 \u0627\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e \u062c\u06cc\u0633\u06d2 <strong>\u0628\u062f\u0639\u062a \u06a9\u06d2 \u0644\u0626\u06d2<\/strong> \u0627\u0648\u0631 <strong>\u0627\u06cc\u0679\u0645<\/strong> \u06c1\u0645 \u0627\u06cc\u06a9 \u062d\u0644 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631 \u0631\u06c1\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<h4 id=\"heading-process-control-and-ai-driven-yield-optimization\">\u067e\u0631\u0648\u0633\u06cc\u0633 \u06a9\u0646\u0679\u0631\u0648\u0644 \u0627\u0648\u0631 AI \u067e\u0631 \u0645\u0628\u0646\u06cc \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u06a9\u06cc \u0627\u0635\u0644\u0627\u062d<\/h4>\n<p>\u0644\u06cc\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u0627 \u06c1\u0631 \u0645\u0631\u062d\u0644\u06c1 \u0627\u06c1\u0645 \u0637\u0648\u0644 \u0648 \u0639\u0631\u0636\u060c \u0627\u0648\u0648\u0631\u0644\u06d2\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0627\u06cc\u062c \u067e\u0644\u06cc\u0633\u0645\u0646\u0679 \u06a9\u06cc \u063a\u0644\u0637\u06cc\u0648\u06ba \u0645\u06cc\u06ba \u062a\u0628\u062f\u06cc\u0644\u06cc\u0627\u06ba \u0645\u062a\u0639\u0627\u0631\u0641 \u06a9\u0631\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 \u0627\u0646 \u062a\u0628\u062f\u06cc\u0644\u06cc\u0648\u06ba \u06a9\u0627 \u0627\u0646\u062a\u0638\u0627\u0645 \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0627\u06c1\u0645 \u06c1\u06d2\u060c \u062c\u0648 \u0686\u067e \u0645\u06cc\u0646\u0648\u0641\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0646\u06af \u0627\u06a9\u0646\u0627\u0645\u06a9\u0633 \u06a9\u0627 \u06a9\u0644\u06cc\u062f\u06cc \u0688\u0631\u0627\u0626\u06cc\u0648\u0631 \u06c1\u06d2\u06d4 \u062c\u062f\u06cc\u062f \u062a\u0631\u06cc\u0646 \u0641\u06cc\u0628 \u0645\u06cc\u06ba \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u0645\u06cc\u06ba 1% \u06a9\u06cc \u0628\u06c1\u062a\u0631\u06cc \u06c1\u0631 \u0633\u0627\u0644 \u0644\u0627\u06a9\u06be\u0648\u06ba \u0688\u0627\u0644\u0631 \u06a9\u06cc \u06c1\u0648 \u0633\u06a9\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>AI \u0627\u0648\u0631 \u0645\u0634\u06cc\u0646 \u0644\u0631\u0646\u0646\u06af \u0639\u0645\u0644 \u06a9\u06d2 \u06a9\u0646\u0679\u0631\u0648\u0644 \u06a9\u0648 \u062a\u0628\u062f\u06cc\u0644 \u06a9\u0631 \u0631\u06c1\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p><strong>\u0628\u06cc\u0691\u0627<\/strong>: \u06c1\u0645 AI \u067e\u0631 \u0645\u0628\u0646\u06cc \u067e\u0631\u0648\u0633\u06cc\u0633 \u06a9\u0646\u0679\u0631\u0648\u0644 \u0633\u0627\u0641\u0679 \u0648\u06cc\u0626\u0631 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba \u062c\u0648 \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u06a9\u06d2 \u0627\u0646\u062d\u0631\u0627\u0641 \u06a9\u06cc \u067e\u06cc\u0634 \u06af\u0648\u0626\u06cc \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u0627\u0648\u0631 \u0631\u0648\u06a9\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0641\u06cc\u0628 \u0622\u0644\u0627\u062a \u0633\u06d2 \u0688\u06cc\u0679\u0627 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0622\u0644\u06c1 \u06a9\u0627\u0631<\/strong>: \u06c1\u0645 \u06a9\u0645\u067e\u06cc\u0648\u0679\u0631 \u0648\u06cc\u0698\u0646 \u0627\u0648\u0631 \u0645\u0634\u06cc\u0646 \u0644\u0631\u0646\u0646\u06af \u06a9\u0648 \u062e\u0648\u062f\u06a9\u0627\u0631 \u062e\u0631\u0627\u0628\u06cc \u06a9\u0627 \u067e\u062a\u06c1 \u0644\u06af\u0627\u0646\u06d2 \u0627\u0648\u0631 \u0628\u0646\u06cc\u0627\u062f\u06cc \u0648\u062c\u06c1 \u06a9\u06d2 \u062a\u062c\u0632\u06cc\u06c1 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u067e\u06cc \u0688\u06cc \u0627\u06cc\u0641 \u062d\u0644<\/strong>: \u0627\u06cc\u06a9 \u0639\u0648\u0627\u0645\u06cc \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u062a\u062c\u0627\u0631\u062a \u06a9\u06cc \u062c\u0627\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06cc \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc (PDFS) \u062c\u0648 \u0686\u067e \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u0648\u06ba \u0627\u0648\u0631 \u0622\u0644\u0627\u062a \u06a9\u06cc \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0648\u06ba \u06a9\u0648 AI \u067e\u0631 \u0645\u0628\u0646\u06cc \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u06a9\u06d2 \u0627\u0646\u062a\u0638\u0627\u0645 \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u0641\u0679 \u0648\u06cc\u0626\u0631 \u0627\u0648\u0631 \u062e\u062f\u0645\u0627\u062a \u0641\u0631\u0627\u06c1\u0645 \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0628\u062f\u0639\u062a \u06a9\u06d2 \u0644\u0626\u06d2<\/strong>: \u067e\u0631\u0648\u0633\u06cc\u0633 \u06a9\u0646\u0679\u0631\u0648\u0644 \u0645\u06cc\u0679\u0631\u0648\u0644\u0648\u062c\u06cc \u0627\u0648\u0631 \u0645\u0639\u0627\u0626\u0646\u06c1 \u06a9\u06d2 \u0646\u0638\u0627\u0645 \u0641\u0631\u0627\u06c1\u0645 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2 \u062c\u0648 \u0639\u06cc\u0628 \u06a9\u06cc \u062f\u0631\u062c\u06c1 \u0628\u0646\u062f\u06cc \u0627\u0648\u0631 \u0628\u0646\u06cc\u0627\u062f\u06cc \u0648\u062c\u06c1 \u06a9\u06d2 \u062a\u062c\u0632\u06cc\u06c1 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u062a\u06cc\u0632\u06cc \u0633\u06d2 AI \u06a9\u0648 \u0645\u0631\u0628\u0648\u0637 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<h4 id=\"heading-photoresist-and-materials-innovation\">Photoresist \u0627\u0648\u0631 \u0645\u0648\u0627\u062f \u06a9\u06cc \u062c\u062f\u062a<\/h4>\n<p>Photoresist\u060c \u0627\u06cc\u06a9 \u0641\u0648\u0679\u0648 \u062d\u0633\u0627\u0633 \u0645\u0648\u0627\u062f \u062c\u0648 \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u067e\u0631 \u0644\u06cc\u067e\u062a \u06c1\u0648\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u060c \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06cc \u06a9\u0627\u0631\u06a9\u0631\u062f\u06af\u06cc \u06a9\u0648 \u0628\u06c1\u062a\u0631 \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u06cc\u06a9 \u0627\u06c1\u0645 \u0639\u0646\u0635\u0631 \u06c1\u06d2\u06d4 EUV \u06a9\u0648 \u062e\u0627\u0635 \u0686\u06cc\u0644\u0646\u062c\u0648\u06ba \u06a9\u0627 \u0633\u0627\u0645\u0646\u0627 \u06a9\u0631\u0646\u0627 \u067e\u0691\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 EUV \u0641\u0648\u0679\u0648\u0646 \u06a9\u0627\u0641\u06cc \u062a\u0648\u0627\u0646\u0627\u0626\u06cc \u0628\u062e\u0634 \u06c1\u0648\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba \u062a\u0627\u06a9\u06c1 \u0646\u0645\u0627\u0626\u0634 \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u0633\u0679\u0627\u06a9\u0633\u0679\u06a9 (\u0628\u06d2 \u062a\u0631\u062a\u06cc\u0628) \u062a\u0628\u062f\u06cc\u0644\u06cc\u0627\u06ba \u0644\u0627\u0626\u06cc\u06ba\u060c \u062c\u0633 \u06a9\u06cc \u0648\u062c\u06c1 \u0633\u06d2 \u0644\u0627\u0626\u0646 \u0627\u06cc\u062c \u06a9\u06be\u0631\u062f\u0631\u06cc \u0627\u0648\u0631 \u067e\u06cc\u0679\u0631\u0646 \u06a9\u06d2 \u0646\u0645\u0648\u0646\u06d2 \u06c1\u0648\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba \u062c\u0648 \u06a9\u0645 \u0627\u0632 \u06a9\u0645 \u0642\u0627\u0628\u0644 \u062d\u0635\u0648\u0644 \u062e\u0635\u0648\u0635\u06cc\u062a \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u0626\u0632 \u06a9\u0648 \u0645\u062d\u062f\u0648\u062f \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p>\u06a9\u0626\u06cc \u0627\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e\u0633 \u0627\u0648\u0631 \u062e\u0635\u0648\u0635\u06cc \u06a9\u06cc\u0645\u06cc\u06a9\u0644 \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0627\u06ba \u0627\u06af\u0644\u06cc \u0646\u0633\u0644 \u06a9\u06d2 \u0645\u0632\u0627\u062d\u0645\u062a\u06cc \u0645\u0648\u0627\u062f \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631 \u0631\u06c1\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p><strong>\u0645\u062a\u0627\u062b\u0631<\/strong> (2021 \u0645\u06cc\u06ba JSR \u062d\u0627\u0635\u0644 \u06a9\u06cc\u0627 \u06af\u06cc\u0627): \u0627\u06cc\u06a9 \u062f\u06be\u0627\u062a\u06cc \u0622\u06a9\u0633\u0627\u0626\u06cc\u0688 EUV \u0631\u06cc\u0632\u0633\u0679 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u06cc\u0627 \u062c\u0648 \u0631\u0648\u0627\u06cc\u062a\u06cc \u067e\u0648\u0644\u06cc\u0645\u0631 \u0645\u0632\u0627\u062d\u0645\u062a \u06a9\u06d2 \u0645\u0642\u0627\u0628\u0644\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba \u0646\u0645\u0627\u06cc\u0627\u06ba \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u0628\u06c1\u062a\u0631 \u062d\u0633\u0627\u0633\u06cc\u062a \u0627\u0648\u0631 \u0631\u06cc\u0632\u0648\u0644\u0648\u0634\u0646 \u067e\u06cc\u0634 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 Inpria \u06a9\u06cc \u0645\u0632\u0627\u062d\u0645\u062a \u0627\u0628 \u0628\u0691\u06d2 \u0686\u067e \u0645\u06cc\u0646\u0648\u0641\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0631\u0632 \u06a9\u06cc \u0637\u0631\u0641 \u0633\u06d2 \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u06cc\u0627 \u062c\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2.<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0646\u0627\u0642\u0627\u0628\u0644 \u062a\u0644\u0627\u0641\u06cc \u0645\u0648\u0627\u062f<\/strong>: \u0628\u0631\u0637\u0627\u0646\u06cc\u06c1 \u0645\u06cc\u06ba \u0642\u0627\u0626\u0645 \u0627\u06cc\u06a9 \u0627\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e EUV \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0644\u06cc\u06a9\u0679\u0631\u0627\u0646 \u0628\u06cc\u0645 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0646\u0626\u06d2 \u0645\u0632\u0627\u062d\u0645\u062a\u06cc \u0645\u0648\u0627\u062f \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631 \u0631\u06c1\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0644\u0627\u0645 \u0631\u06cc\u0633\u0631\u0686 \/ \u0641\u0648\u0646<\/strong>: \u0627\u06af\u0631\u0686\u06c1 \u0627\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u062f\u0648\u0646\u0648\u06ba \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0627\u06ba \u0627\u0679\u0627\u0645\u06a9 \u0644\u06cc\u0626\u0631 \u0688\u06cc\u067e\u0648\u0632\u06cc\u0634\u0646 (ALD) \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0679\u0627\u0645\u06a9 \u0644\u06cc\u0626\u0631 \u0627\u06cc\u0686\u0646\u06af (ALE) \u067e\u0631\u0627\u0633\u06cc\u0633\u0632 \u0645\u06cc\u06ba \u0628\u06c1\u062a \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u0633\u0631\u0645\u0627\u06cc\u06c1 \u06a9\u0627\u0631\u06cc \u06a9\u0631 \u0631\u06c1\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba \u062c\u0648 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u062f\u0631\u0633\u062a \u0645\u0648\u0627\u062f \u06a9\u0648 \u06c1\u0679\u0627\u0646\u06d2 \u0627\u0648\u0631 \u062c\u0645\u0639 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0642\u0627\u0628\u0644 \u0628\u0646\u0627 \u06a9\u0631 \u0644\u06cc\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06cc \u062a\u06a9\u0645\u06cc\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<h2 id=\"heading-how-to-build-a-startup-in-the-lithography-ecosystem\">\u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0627\u06cc\u06a9\u0648 \u0633\u0633\u0679\u0645 \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e \u06a9\u06cc\u0633\u06d2 \u0628\u0646\u0627\u06cc\u0627 \u062c\u0627\u0626\u06d2\u06d4<\/h2>\n<h3 id=\"heading-choosing-your-entry-point\">\u0627\u0646\u0679\u0631\u06cc \u067e\u0648\u0627\u0626\u0646\u0679 \u06a9\u0627 \u0627\u0646\u062a\u062e\u0627\u0628 \u06a9\u0631\u06cc\u06ba\u06d4<\/h3>\n<p>\u0644\u06cc\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u0627 \u0645\u0627\u062d\u0648\u0644\u06cc\u0627\u062a\u06cc \u0646\u0638\u0627\u0645 \u06cc\u06a9 \u0633\u0646\u06af\u06cc \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06c1\u06d2\u06d4 \u0627\u0633 \u062c\u06af\u06c1 \u0645\u06cc\u06ba \u062f\u0627\u062e\u0644 \u06c1\u0648\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u0627\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e\u0633 \u06a9\u0648 \u0627\u067e\u0646\u06d2 \u062f\u0627\u062e\u0644\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0645\u0642\u0627\u0645 \u06a9\u0627 \u0627\u0646\u062a\u062e\u0627\u0628 \u0627\u062d\u062a\u06cc\u0627\u0637 \u0633\u06d2 \u06a9\u0631\u0646\u0627 \u0686\u0627\u06c1\u06cc\u06d2\u06d4 \u0627\u0633 \u06a9\u06cc \u0648\u062c\u06c1 \u06cc\u06c1 \u06c1\u06d2 \u06a9\u06c1 \u0633\u0631\u0645\u0627\u0626\u06d2 \u06a9\u06cc \u0636\u0631\u0648\u0631\u06cc\u0627\u062a\u060c \u0633\u06cc\u0644\u0632 \u0633\u0627\u0626\u06cc\u06a9\u0644\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0645\u0633\u0627\u0628\u0642\u062a\u06cc \u062d\u0631\u06a9\u06cc\u0627\u062a \u0645\u062e\u062a\u0644\u0641 \u0634\u0639\u0628\u0648\u06ba \u0645\u06cc\u06ba \u0628\u06c1\u062a \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u0645\u062e\u062a\u0644\u0641 \u06c1\u0648\u062a\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p>\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e\u0633 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0633\u0628 \u0633\u06d2 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u0642\u0627\u0628\u0644 \u0631\u0633\u0627\u0626\u06cc \u0627\u0646\u0679\u0631\u06cc \u067e\u0648\u0627\u0626\u0646\u0679\u0633 \u06c1\u06cc\u06ba:<\/p>\n<h4 id=\"heading-1-software-and-ai\">1. \u0633\u0627\u0641\u0679 \u0648\u06cc\u0626\u0631 \u0627\u0648\u0631 AI<\/h4>\n<p>\u06a9\u0645\u067e\u06cc\u0648\u0679\u06cc\u0634\u0646\u0644 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc\u060c \u067e\u0631\u0648\u0633\u06cc\u0633 \u06a9\u0646\u0679\u0631\u0648\u0644\u060c \u0627\u0648\u0631 \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u06a9\u06cc \u0627\u0635\u0644\u0627\u062d \u0633\u0627\u0641\u0679 \u0648\u06cc\u0626\u0631 \u06a9\u06d2 \u0645\u0633\u0627\u0626\u0644 \u06c1\u06cc\u06ba \u062c\u0648 \u0646\u0633\u0628\u062a\u0627\u064b \u0645\u0639\u0645\u0648\u0644\u06cc \u0633\u0631\u0645\u0627\u0626\u06d2 \u0633\u06d2 \u062d\u0644 \u06a9\u06cc\u06d2 \u062c\u0627 \u0633\u06a9\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u0633\u06cc\u0644\u0632 \u0633\u0627\u0626\u06cc\u06a9\u0644 \u06c1\u0627\u0631\u0688 \u0648\u06cc\u0626\u0631 \u0633\u06d2 \u06a9\u0645 \u06c1\u0648\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba \u0627\u0648\u0631 \u0642\u06cc\u0645\u062a \u06a9\u06cc \u062a\u062c\u0648\u06cc\u0632 \u06a9\u0648 \u062b\u0627\u0628\u062a \u06a9\u0631\u0646\u0627 \u0622\u0633\u0627\u0646 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u062e\u0637\u0631\u06c1 \u06cc\u06c1 \u06c1\u06d2 \u06a9\u06c1 \u0628\u0691\u06cc EDA \u0648\u06cc\u0646\u0688\u0631\u0632 \u0627\u0648\u0631 \u0622\u0644\u0627\u062a \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0648\u06ba \u06a9\u06cc \u0645\u0636\u0628\u0648\u0637 \u0645\u0648\u062c\u0648\u062f\u06af\u06cc \u06c1\u06d2 \u0627\u0648\u0631 \u0648\u06c1 \u06a9\u0627\u0645\u06cc\u0627\u0628 \u0633\u0627\u0641\u0679 \u0648\u06cc\u0626\u0631 \u067e\u0631\u0648\u0688\u06a9\u0679\u0633 \u06a9\u06cc \u0646\u0642\u0644 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631 \u0633\u06a9\u062a\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<h4 id=\"heading-2-materials-and-chemistry\">2. \u0645\u0648\u0627\u062f \u0627\u0648\u0631 \u06a9\u06cc\u0645\u0633\u0679\u0631\u06cc<\/h4>\n<p>Photoresist\u060c sublayers\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0635\u0641\u0627\u0626\u06cc \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u06a9\u06cc\u0645\u06cc\u06a9\u0644 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u06cc \u062c\u0627\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06cc \u0627\u0634\u06cc\u0627\u0621 \u06c1\u06cc\u06ba \u062c\u0648 \u0686\u067e \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u0628\u0627\u0631 \u0628\u0627\u0631 \u062e\u0631\u06cc\u062f\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u0648\u0627\u0642\u0639\u06cc \u0628\u06c1\u062a\u0631\u06cc\u0646 \u0645\u0648\u0627\u062f \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be \u0627\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e\u0633 \u067e\u0627\u0626\u06cc\u062f\u0627\u0631 \u0645\u0646\u0627\u0641\u0639 \u0628\u062e\u0634 \u06a9\u0627\u0631\u0648\u0628\u0627\u0631 \u0628\u0646\u0627 \u0633\u06a9\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p>\u0645\u0633\u0626\u0644\u06c1 \u062a\u0635\u062f\u06cc\u0642\u06cc \u0639\u0645\u0644 \u06a9\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 \u0627\u06cc\u06a9 \u0633\u0631\u06a9\u0631\u062f\u06c1 \u0686\u067e \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u0633\u06d2 \u062a\u0635\u062f\u06cc\u0642 \u0634\u062f\u06c1 \u0646\u0626\u06d2 \u0645\u0648\u0627\u062f \u06a9\u0648 \u062d\u0627\u0635\u0644 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba \u062a\u06cc\u0646 \u0633\u06d2 \u067e\u0627\u0646\u0686 \u0633\u0627\u0644 \u0644\u06af \u0633\u06a9\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0633 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0639\u0645\u0644 \u06a9\u06d2 \u0627\u0646\u0636\u0645\u0627\u0645 \u06a9\u06cc \u06af\u06c1\u0631\u06cc \u0645\u06c1\u0627\u0631\u062a \u062f\u0631\u06a9\u0627\u0631 \u06c1\u0648\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<h4 id=\"heading-3-advanced-packaging-equipment\">3. \u0627\u0639\u0644\u06cc \u062f\u0631\u062c\u06d2 \u06a9\u06cc \u067e\u06cc\u06a9\u06cc\u062c\u0646\u06af \u06a9\u0627 \u0633\u0627\u0645\u0627\u0646<\/h4>\n<p>\u0627\u0639\u0644\u06cc \u062f\u0631\u062c\u06d2 \u06a9\u06cc \u067e\u06cc\u06a9\u06cc\u062c\u0646\u06af \u0645\u0627\u0631\u06a9\u06cc\u0679 \u062a\u06cc\u0632\u06cc \u0633\u06d2 \u062a\u0631\u0642\u06cc \u06a9\u0631 \u0631\u06c1\u06cc \u06c1\u06d2 \u0627\u0648\u0631 \u0641\u0631\u0646\u0679 \u0627\u06cc\u0646\u0688 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06d2 \u0645\u0642\u0627\u0628\u0644\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u0633 \u0645\u06cc\u06ba \u062f\u0627\u062e\u0644 \u06c1\u0648\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u0630\u0645\u06c1 \u062f\u0627\u0631\u0648\u06ba \u06a9\u0627 \u06a9\u0645 \u063a\u0644\u0628\u06c1 \u06c1\u06d2\u06d4 \u067e\u06cc\u06a9\u06cc\u062c\u0646\u06af \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0646\u0626\u06d2 \u0686\u067e\u06a9\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2\u060c \u0645\u0639\u0627\u0626\u0646\u06c1 \u06cc\u0627 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06d2 \u0637\u0631\u06cc\u0642\u0648\u06ba \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be \u0627\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e \u06a9\u0648 \u0645\u0627\u0631\u06a9\u06cc\u0679 \u062a\u06a9 \u0622\u0633\u0627\u0646 \u0631\u0633\u0627\u0626\u06cc \u062d\u0627\u0635\u0644 \u06c1\u0648\u06af\u06cc\u06d4<\/p>\n<h4 id=\"heading-4-metrology-and-inspection\">4. \u067e\u06cc\u0645\u0627\u0626\u0634 \u0627\u0648\u0631 \u0645\u0639\u0627\u0626\u0646\u06c1<\/h4>\n<p>\u062c\u06cc\u0633\u06d2 \u062c\u06cc\u0633\u06d2 \u0627\u0641\u0639\u0627\u0644 \u0633\u06a9\u0691\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u0627\u0646 \u06a9\u06cc \u067e\u06cc\u0645\u0627\u0626\u0634 \u0627\u0648\u0631 \u0645\u0639\u0627\u0626\u0646\u06c1 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06cc \u0635\u0644\u0627\u062d\u06cc\u062a \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u0642\u06cc\u0645\u062a\u06cc \u06c1\u0648 \u062c\u0627\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4 \u0645\u06cc\u0679\u0631\u0648\u0644\u0648\u062c\u06cc \u0627\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e \u0627\u06a9\u062b\u0631 \u0686\u067e \u0645\u06cc\u0646\u0648\u0641\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0631\u0632 \u0627\u0648\u0631 \u0622\u0644\u0627\u062a \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0648\u06ba \u062f\u0648\u0646\u0648\u06ba \u06a9\u0648 \u0641\u0631\u0648\u062e\u062a \u06a9\u0631\u06a9\u06d2 \u0627\u067e\u0646\u06cc \u0679\u0627\u0631\u06af\u0679 \u0645\u0627\u0631\u06a9\u06cc\u0679 \u06a9\u0648 \u0628\u0691\u06be\u0627 \u0633\u06a9\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<h3 id=\"heading-the-customer-qualification-challenge\">\u06a9\u0633\u0679\u0645\u0631 \u06a9\u06cc \u0627\u06c1\u0644\u06cc\u062a \u06a9\u0627 \u0686\u06cc\u0644\u0646\u062c<\/h3>\n<p>\u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0622\u0644\u0627\u062a \u06a9\u06d2 \u0622\u063a\u0627\u0632 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0633\u0628 \u0633\u06d2 \u0628\u0691\u0627 \u0686\u06cc\u0644\u0646\u062c \u06a9\u0633\u0679\u0645\u0631 \u06a9\u06cc \u062a\u0635\u062f\u06cc\u0642 \u06c1\u06d2\u06d4 \u0627\u0633 \u0633\u06d2 \u067e\u06c1\u0644\u06d2 \u06a9\u06c1 \u0686\u067e \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u0646\u0626\u06d2 \u0622\u0644\u0627\u062a \u06cc\u0627 \u0645\u0648\u0627\u062f \u06a9\u0648 \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u0631 \u0633\u06a9\u06cc\u06ba\u060c \u0627\u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u0633\u0631\u0679\u06cc\u0641\u06cc\u06a9\u06cc\u0634\u0646 \u06a9\u06d2 \u0645\u06a9\u0645\u0644 \u0639\u0645\u0644 \u0633\u06d2 \u06af\u0632\u0631\u0646\u0627 \u0686\u0627\u06c1\u06cc\u06d2 \u062c\u0633 \u0645\u06cc\u06ba \u0639\u0627\u0645 \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u0634\u0627\u0645\u0644 \u06c1\u06cc\u06ba:<\/p>\n<ol>\n<li>\n<p><strong>\u0641\u0632\u06cc\u0628\u0644\u0679\u06cc \u06a9\u06cc \u062a\u0634\u062e\u06cc\u0635<\/strong>: \u06cc\u06c1 \u0638\u0627\u06c1\u0631 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2 \u06a9\u06c1 \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc \u0644\u06cc\u0628\u0627\u0631\u0679\u0631\u06cc \u06a9\u06d2 \u0645\u0627\u062d\u0648\u0644 \u0645\u06cc\u06ba \u06a9\u0627\u0631\u06a9\u0631\u062f\u06af\u06cc \u06a9\u06cc \u0628\u0646\u06cc\u0627\u062f\u06cc \u0636\u0631\u0648\u0631\u06cc\u0627\u062a \u06a9\u0648 \u067e\u0648\u0631\u0627 \u06a9\u0631 \u0633\u06a9\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0639\u0645\u0644 \u0627\u0646\u0636\u0645\u0627\u0645<\/strong>: \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc \u06a9\u0648 \u0686\u067e \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0645\u0648\u062c\u0648\u062f\u06c1 \u0639\u0645\u0644 \u06a9\u06d2 \u0628\u06c1\u0627\u0624 \u0645\u06cc\u06ba \u0636\u0645 \u06a9\u0631\u06cc\u06ba \u0627\u0648\u0631 \u0645\u0637\u0627\u0628\u0642\u062a \u06a9\u0627 \u0645\u0638\u0627\u06c1\u0631\u06c1 \u06a9\u0631\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0648\u0634\u0648\u0633\u0646\u06cc\u06cc\u062a\u0627 \u0679\u06cc\u0633\u0679<\/strong>: \u06c1\u0645 \u0627\u0639\u062a\u0628\u0627\u0631 \u0627\u0648\u0631 \u0645\u0633\u062a\u0642\u0644 \u0645\u0632\u0627\u062c\u06cc \u06a9\u0648 \u0638\u0627\u06c1\u0631 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0627\u067e\u0646\u06cc \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc \u06a9\u0648 \u06c1\u0632\u0627\u0631\u0648\u06ba \u06af\u06be\u0646\u0679\u06d2 \u0686\u0644\u0627\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u06a9\u06d2 \u0627\u062b\u0631\u0627\u062a \u06a9\u06cc \u062a\u0634\u062e\u06cc\u0635<\/strong>: \u06cc\u06c1 \u062b\u0627\u0628\u062a \u06a9\u0631\u0646\u0627 \u06a9\u06c1 \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc \u0686\u067e \u06a9\u06cc \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u067e\u0631 \u0645\u0646\u0641\u06cc \u0627\u062b\u0631 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u0688\u0627\u0644\u062a\u06cc<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u06a9\u06cc \u0627\u06c1\u0644\u06cc\u062a<\/strong>: \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc \u06a9\u0648 \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631\u06cc \u0645\u0627\u062d\u0648\u0644 \u0645\u06cc\u06ba \u0686\u0644\u0627\u0626\u06cc\u06ba \u0627\u0648\u0631 \u06cc\u06c1 \u0638\u0627\u06c1\u0631 \u06a9\u0631\u06cc\u06ba \u06a9\u06c1 \u06cc\u06c1 \u062a\u0645\u0627\u0645 \u0648\u0636\u0627\u062d\u062a\u06cc\u06ba \u067e\u0648\u0631\u06cc \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<\/ol>\n<p>\u0627\u0633 \u0639\u0645\u0644 \u0645\u06cc\u06ba \u0639\u0627\u0645 \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u062f\u0648 \u0633\u06d2 \u067e\u0627\u0646\u0686 \u0633\u0627\u0644 \u0644\u06af\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0633 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e \u06a9\u06d2 \u067e\u0627\u0633 \u0639\u0645\u0644 \u06a9\u06d2 \u0627\u0646\u0636\u0645\u0627\u0645 \u06a9\u06cc \u06af\u06c1\u0631\u06cc \u0645\u06c1\u0627\u0631\u062a \u0627\u0648\u0631 \u0627\u06c1\u0644\u06cc\u062a \u06a9\u06d2 \u0639\u0645\u0644 \u06a9\u06d2 \u0630\u0631\u06cc\u0639\u06d2 \u0635\u0627\u0631\u0641\u06cc\u0646 \u06a9\u06cc \u0645\u062f\u062f \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06cc \u0627\u06c1\u0644\u06cc\u062a \u06a9\u06cc \u0636\u0631\u0648\u0631\u062a \u06c1\u0648\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0645\u0632\u06cc\u062f \u0628\u0631\u0622\u06ba\u060c \u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e\u0633 \u06a9\u06d2 \u067e\u0627\u0633 \u06a9\u0627\u0641\u06cc \u0633\u0631\u0645\u0627\u06cc\u06c1 \u06c1\u0648\u0646\u0627 \u0636\u0631\u0648\u0631\u06cc \u06c1\u06d2 \u062a\u0627\u06a9\u06c1 \u0648\u06c1 \u0635\u0627\u0631\u0641\u06cc\u0646 \u0633\u06d2 \u0622\u0645\u062f\u0646\u06cc \u06a9\u06d2 \u0628\u063a\u06cc\u0631 \u0637\u0648\u06cc\u0644 \u0645\u062f\u062a \u062a\u06a9 \u06a9\u0627\u0645 \u062c\u0627\u0631\u06cc \u0631\u06a9\u06be\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0622\u063a\u0627\u0632 \u06a9\u06cc \u062d\u06a9\u0645\u062a \u0639\u0645\u0644\u06cc \u06a9\u06d2 \u0645\u0636\u0645\u0631\u0627\u062a \u0648\u0627\u0636\u062d \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e \u06a9\u0648 \u062c\u062f\u06cc\u062f \u0645\u0646\u0637\u0642\u06cc \u0641\u06cc\u0628\u0633 \u06a9\u06d2 \u0630\u0631\u06cc\u0639\u06d2 \u0627\u06c1\u0644 \u06c1\u0648\u0646\u06d2 \u0633\u06d2 \u067e\u06c1\u0644\u06d2 \u0645\u062e\u062a\u0635\u0631 \u06a9\u0648\u0627\u0644\u06cc\u0641\u06a9\u06cc\u0634\u0646 \u0633\u0627\u0626\u06cc\u06a9\u0644 (\u0627\u0639\u0644\u06cc \u062f\u0631\u062c\u06d2 \u06a9\u06cc \u067e\u06cc\u06a9\u06cc\u062c\u0646\u06af \u067e\u0644\u0627\u0646\u0679\u0633\u060c \u062e\u0635\u0648\u0635\u06cc \u0686\u067e\u0633 \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2\u060c \u062a\u062d\u0642\u06cc\u0642\u06cc \u0627\u062f\u0627\u0631\u06d2) \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u0635\u0627\u0631\u0641\u06cc\u0646 \u06a9\u0648 \u06c1\u062f\u0641 \u0628\u0646\u0627\u0646\u0627 \u0686\u0627\u06c1\u06cc\u06d2\u06d4<\/p>\n<h3 id=\"heading-funding-strategy\">\u0641\u0646\u0688\u0646\u06af \u200b\u200b\u06a9\u06cc \u062d\u06a9\u0645\u062a \u0639\u0645\u0644\u06cc<\/h3>\n<p>\u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0622\u0644\u0627\u062a \u06a9\u06d2 \u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e \u06a9\u0648 \u0627\u06cc\u06a9 \u0639\u0627\u0645 \u0633\u0648\u0641\u0679 \u0648\u06cc\u0626\u0631 \u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e \u0633\u06d2 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u0633\u0631\u0645\u0627\u06cc\u06c1 \u062f\u0631\u06a9\u0627\u0631 \u06c1\u0648\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u060c \u0644\u06cc\u06a9\u0646 \u0628\u06c1\u062a \u0633\u06cc \u06c1\u0627\u0631\u0688 \u0648\u06cc\u0626\u0631 \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0648\u06ba \u0633\u06d2 \u06a9\u0645\u06d4 \u0627\u06cc\u06a9 \u06a9\u06be\u0631\u062f\u0631\u0627 \u0641\u0631\u06cc\u0645 \u0648\u0631\u06a9:<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p><strong>\u0628\u06cc\u062c ($1-5 \u0645\u0644\u06cc\u0646)<\/strong>: \u062a\u0635\u0648\u0631 \u06a9\u0627 \u062b\u0628\u0648\u062a\u060c \u0627\u0628\u062a\u062f\u0627\u0626\u06cc \u0679\u06cc\u0645\u060c \u0622\u0626\u06cc \u067e\u06cc \u06a9\u06cc \u062a\u0631\u0642\u06cc<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0633\u06cc\u0631\u06cc\u0632 A ($10-30 \u0645\u0644\u06cc\u0646)<\/strong>: \u067e\u06c1\u0644\u0627 \u067e\u0631\u0648\u0679\u0648 \u0679\u0627\u0626\u067e \u0633\u0633\u0679\u0645\u060c \u06a9\u0633\u0679\u0645\u0631 \u06a9\u06cc \u0627\u0628\u062a\u062f\u0627\u0626\u06cc \u0645\u0635\u0631\u0648\u0641\u06cc\u062a\u060c \u0639\u0645\u0644 \u0627\u0646\u0636\u0645\u0627\u0645 \u06a9\u0627 \u06a9\u0627\u0645<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0633\u06cc\u0631\u06cc\u0632 B (USD 30-100 \u0645\u0644\u06cc\u0646)<\/strong>: \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u06a9\u06cc \u062a\u06cc\u0627\u0631\u06cc \u06a9\u0627 \u0646\u0638\u0627\u0645\u060c \u06a9\u0633\u0679\u0645\u0631 \u06a9\u06cc \u0627\u06c1\u0644\u06cc\u062a\u060c \u0627\u0628\u062a\u062f\u0627\u0626\u06cc \u0622\u0645\u062f\u0646\u06cc<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0633\u06cc\u0631\u06cc\u0632 C+ ($100M+)<\/strong>: \u0645\u06cc\u0646\u0648\u0641\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0646\u06af \u067e\u06cc\u0645\u0627\u0646\u06d2 \u06a9\u06cc \u062a\u0648\u0633\u06cc\u0639\u060c \u06a9\u0633\u0679\u0645\u0631 \u0628\u06cc\u0633 \u06a9\u06cc \u062a\u0648\u0633\u06cc\u0639\u060c \u0628\u06cc\u0631\u0648\u0646 \u0645\u0644\u06a9 \u062a\u0648\u0633\u06cc\u0639<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0622\u0644\u0627\u062a \u06a9\u06d2 \u0622\u063a\u0627\u0632 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0633\u0631\u0645\u0627\u06cc\u06c1 \u06a9\u0627\u0631 \u06a9\u0627 \u0645\u0627\u062d\u0648\u0644 \u062e\u0635\u0648\u0635\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4 \u0639\u0627\u0645 \u0645\u0642\u0635\u062f \u06a9\u06d2 VCs \u06a9\u06d2 \u067e\u0627\u0633 \u0627\u06a9\u062b\u0631 \u0627\u0646 \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0648\u06ba \u06a9\u0627 \u062c\u0627\u0626\u0632\u06c1 \u0644\u06cc\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0688\u0648\u0645\u06cc\u0646 \u06a9\u06cc \u0645\u06c1\u0627\u0631\u062a \u06a9\u06cc \u06a9\u0645\u06cc \u06c1\u0648\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4 \u0633\u0628 \u0633\u06d2 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u0645\u062a\u0639\u0644\u0642\u06c1 \u0633\u0631\u0645\u0627\u06cc\u06c1 \u06a9\u0627\u0631 \u06c1\u06cc\u06ba:<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p><strong>\u0627\u0646\u0679\u06cc\u0644 \u06a9\u06cc\u067e\u0679\u0644<\/strong>: \u06c1\u0645\u0627\u0631\u06d2 \u067e\u0627\u0633 \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0622\u0644\u0627\u062a \u0627\u0648\u0631 \u0645\u0648\u0627\u062f \u06a9\u06cc \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0648\u06ba \u0645\u06cc\u06ba \u0633\u0631\u0645\u0627\u06cc\u06c1 \u06a9\u0627\u0631\u06cc \u06a9\u06cc \u0627\u06cc\u06a9 \u0637\u0648\u06cc\u0644 \u062a\u0627\u0631\u06cc\u062e \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>Samsung Ventures\/TSMC Ventures<\/strong>: \u0645\u06cc\u062f\u0627\u0646 \u0645\u06cc\u06ba \u06af\u06c1\u0631\u06cc \u0645\u06c1\u0627\u0631\u062a \u0627\u0648\u0631 \u0645\u0645\u06a9\u0646\u06c1 \u06a9\u0644\u0627\u0626\u0646\u0679 \u062a\u0639\u0644\u0642\u0627\u062a \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be \u0627\u0633\u0679\u0631\u06cc\u0679\u062c\u06a9 \u0633\u0631\u0645\u0627\u06cc\u06c1 \u06a9\u0627\u0631<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0627\u067e\u0644\u0627\u0626\u06cc\u0688 \u0648\u06cc\u0646\u0686\u0631\u0632<\/strong>: \u0627\u067e\u0644\u0627\u0626\u06cc\u0688 \u0645\u06cc\u0679\u0631\u06cc\u0644\u0632 \u0648\u06cc\u0646\u0686\u0631 \u06af\u0631\u0648\u067e\u060c \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0622\u0644\u0627\u062a \u0627\u0648\u0631 \u0645\u0648\u0627\u062f \u067e\u0631 \u062a\u0648\u062c\u06c1 \u0645\u0631\u06a9\u0648\u0632 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0644\u0627\u0645 \u0631\u06cc\u0633\u0631\u0686 \u06a9\u06cc\u067e\u0679\u0644<\/strong>: \u0627\u067e\u0644\u0627\u0626\u06cc\u0688 \u0648\u06cc\u0646\u0686\u0631\u0632 \u06a9\u06cc \u0637\u0631\u062d\u060c \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0622\u0644\u0627\u062a \u0645\u0627\u062d\u0648\u0644\u06cc\u0627\u062a\u06cc \u0646\u0638\u0627\u0645 \u067e\u0631 \u062a\u0648\u062c\u06c1 \u0645\u0631\u06a9\u0648\u0632 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0648\u0627\u0644\u0688\u0646 \u0627\u0646\u0679\u0631\u0646\u06cc\u0634\u0646\u0644<\/strong>: \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631\u0632 \u0645\u06cc\u06ba \u06af\u06c1\u0631\u06cc \u0645\u06c1\u0627\u0631\u062a \u0627\u0648\u0631 \u0637\u0648\u06cc\u0644 \u062a\u062c\u0631\u0628\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be VC \u0641\u0631\u0645<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u067e\u0644\u06d2 \u06af\u0631\u0627\u0624\u0646\u0688 \u06af\u0644\u0648\u0628\u0644<\/strong>: \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u06a9\u06cc \u0645\u06c1\u0627\u0631\u062a \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be \u06c1\u0627\u0631\u0688 \u0648\u06cc\u0626\u0631 \u067e\u0631 \u0645\u0631\u06a9\u0648\u0632 VC<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u062d\u06a9\u0648\u0645\u062a\u06cc \u0645\u0627\u0644\u06cc\u0627\u062a \u062a\u06cc\u0632\u06cc \u0633\u06d2 \u0627\u06c1\u0645 \u06c1\u0648\u062a\u06d2 \u062c\u0627 \u0631\u06c1\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u06cc\u0648 \u0627\u06cc\u0633 \u0686\u0650\u067e\u0633 \u0627\u06cc\u06a9\u0679 \u0645\u06cc\u06ba \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 R&#038;D \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 $11 \u0628\u0644\u06cc\u0646 \u0634\u0627\u0645\u0644 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u062c\u0646 \u0645\u06cc\u06ba \u0633\u06d2 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u062a\u0631 \u0646\u06cc\u0634\u0646\u0644 \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc \u0633\u06cc\u0646\u0679\u0631 (NSTC) \u0627\u0648\u0631 NIST \u0633\u06d2 \u06af\u0632\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 EU \u0686\u067e\u0633 \u0627\u06cc\u06a9\u0679 \u0627\u0648\u0631 \u062c\u0627\u067e\u0627\u0646\u060c \u06a9\u0648\u0631\u06cc\u0627 \u0627\u0648\u0631 \u062a\u0627\u0626\u06cc\u0648\u0627\u0646 \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u0633\u06cc \u0637\u0631\u062d \u06a9\u06d2 \u067e\u0631\u0648\u06af\u0631\u0627\u0645 \u0627\u0636\u0627\u0641\u06cc \u0641\u0646\u0688\u0646\u06af \u200b\u200b\u06a9\u06d2 \u0645\u0648\u0627\u0642\u0639 \u0641\u0631\u0627\u06c1\u0645 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<h3 id=\"heading-building-the-team\">\u0679\u06cc\u0645 \u06a9\u06cc \u062a\u0639\u0645\u06cc\u0631<\/h3>\n<p>\u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0622\u0644\u0627\u062a \u06a9\u06d2 \u0622\u063a\u0627\u0632 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0633\u0628 \u0633\u06d2 \u0627\u06c1\u0645 \u0645\u0644\u0627\u0632\u0645\u062a\u06cc\u06ba \u062f\u0631\u062c \u0630\u06cc\u0644 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p><strong>\u0686\u06cc\u0641 \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc \u0622\u0641\u06cc\u0633\u0631<\/strong>: \u0628\u0646\u06cc\u0627\u062f\u06cc \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc\u0632 (\u0622\u067e\u0679\u06a9\u0633\u060c \u067e\u0644\u0627\u0632\u0645\u0627 \u0641\u0632\u06a9\u0633\u060c \u0645\u06cc\u0679\u0631\u06cc\u0644 \u0633\u0627\u0626\u0646\u0633 \u0648\u063a\u06cc\u0631\u06c1) \u0645\u06cc\u06ba \u06af\u06c1\u0631\u06cc \u0645\u06c1\u0627\u0631\u062a \u06a9\u0627 \u062d\u0627\u0645\u0644 \u06c1\u0648\u0646\u0627 \u0686\u0627\u06c1\u06cc\u06d2 \u0627\u0648\u0631 \u0627\u06cc\u06a9 \u0642\u0627\u0626\u0645 \u06a9\u0631\u062f\u06c1 \u0633\u0627\u0632\u0648\u0633\u0627\u0645\u0627\u0646 \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc \u0645\u06cc\u06ba \u0645\u062b\u0627\u0644\u06cc \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u062a\u062c\u0631\u0628\u06c1 \u06c1\u0648\u0646\u0627 \u0686\u0627\u06c1\u06cc\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u067e\u0631\u0648\u0633\u06cc\u0633 \u0627\u0646\u0679\u06cc\u06af\u0631\u06cc\u0634\u0646 \u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631<\/strong>: \u06a9\u0648\u0626\u06cc \u0627\u06cc\u0633\u0627 \u0634\u062e\u0635 \u062c\u0633 \u0646\u06d2 \u0686\u067e \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0627\u0646\u062f\u0631 \u06a9\u0627\u0645 \u06a9\u06cc\u0627 \u06c1\u0648 \u0627\u0648\u0631 \u06cc\u06c1 \u0633\u0645\u062c\u06be\u062a\u0627 \u06c1\u0648 \u06a9\u06c1 \u0622\u0644\u0627\u062a \u06a9\u06cc \u062a\u0648\u062b\u06cc\u0642 \u0627\u0648\u0631 \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u0646\u0636\u0645\u0627\u0645 \u06a9\u06cc\u0633\u06d2 \u06a9\u06cc\u0627 \u062c\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0627\u06cc\u067e\u0644\u06cc \u06a9\u06cc\u0634\u0646 \u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631<\/strong>: \u0648\u06c1 \u0634\u062e\u0635 \u062c\u0648 \u0645\u0633\u0627\u0626\u0644 \u06a9\u0648 \u062d\u0644 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u0627\u0648\u0631 \u0642\u062f\u0631 \u062b\u0627\u0628\u062a \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u062a\u0635\u062f\u06cc\u0642\u06cc \u0639\u0645\u0644 \u06a9\u06d2 \u062f\u0648\u0631\u0627\u0646 \u0635\u0627\u0631\u0641\u06cc\u0646 \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be \u0628\u0631\u0627\u06c1 \u0631\u0627\u0633\u062a \u06a9\u0627\u0645 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u06a9\u0627\u0631\u0648\u0628\u0627\u0631 \u06a9\u06cc \u062a\u0631\u0642\u06cc<\/strong>: \u0648\u06c1 \u0644\u0648\u06af \u062c\u0646 \u06a9\u0627 \u0679\u0627\u0631\u06af\u0679 \u0686\u067e \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be \u0645\u0648\u062c\u0648\u062f\u06c1 \u062a\u0639\u0644\u0642 \u06c1\u06d2 &#8211; \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0622\u0644\u0627\u062a \u0645\u06cc\u06ba\u060c \u062a\u0639\u0644\u0642\u0627\u062a \u06c1\u06cc \u0633\u0628 \u06a9\u0686\u06be \u06c1\u0648\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u0627\u0646 \u06a9\u0631\u062f\u0627\u0631\u0648\u06ba \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0679\u06cc\u0644\u0646\u0679 \u067e\u0648\u0644 \u0686\u0646\u062f \u062c\u063a\u0631\u0627\u0641\u06cc\u0627\u0626\u06cc \u062c\u06be\u0631\u0645\u0679\u0648\u06ba \u0645\u06cc\u06ba \u0645\u0631\u062a\u06a9\u0632 \u06c1\u06d2: \u0633\u06cc\u0644\u06cc\u06a9\u0648\u0646 \u0648\u06cc\u0644\u06cc\u060c \u067e\u0648\u0631\u0679 \u0644\u06cc\u0646\u0688\/\u06c1\u0644\u0632\u0628\u0648\u0631\u0648 \u0627\u06cc\u0631\u06cc\u0627 (\u0627\u0646\u0679\u06cc\u0644)\u060c \u0627\u0644\u0628\u0627\u0646\u06cc NY (SUNY \u067e\u0648\u0644\u06cc)\u060c \u0622\u0633\u0679\u0646 TX\u060c \u0622\u0626\u0646\u062f\u06be\u0648\u0648\u0646 (ASML \u0627\u06cc\u06a9\u0648 \u0633\u0633\u0679\u0645)\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0679\u0648\u06a9\u06cc\u0648\/\u06cc\u0648\u06a9\u0648\u06c1\u0627\u0645\u0627 (\u062c\u0627\u067e\u0627\u0646\u06cc \u0622\u0644\u0627\u062a \u06a9\u06cc \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0627\u06ba)\u06d4 \u0627\u0646 \u06a9\u0644\u0633\u0679\u0631\u0632 \u0633\u06d2 \u0628\u0627\u06c1\u0631 \u0627\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e\u0633 \u06a9\u0648 \u0628\u06be\u0631\u062a\u06cc \u06a9\u06d2 \u0633\u0646\u06af\u06cc\u0646 \u0686\u06cc\u0644\u0646\u062c\u0648\u06ba \u06a9\u0627 \u0633\u0627\u0645\u0646\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<h2 id=\"heading-investment-trends-and-funding-landscape\">\u0633\u0631\u0645\u0627\u06cc\u06c1 \u06a9\u0627\u0631\u06cc \u06a9\u06d2 \u0631\u062c\u062d\u0627\u0646\u0627\u062a \u0627\u0648\u0631 \u0641\u0646\u0688\u0646\u06af \u200b\u200b\u06a9\u0627 \u0645\u0627\u062d\u0648\u0644<\/h2>\n<h3 id=\"heading-the-semiconductor-equipment-investment-boom\">\u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0622\u0644\u0627\u062a \u06a9\u06cc \u0633\u0631\u0645\u0627\u06cc\u06c1 \u06a9\u0627\u0631\u06cc \u0645\u06cc\u06ba \u062a\u06cc\u0632\u06cc<\/h3>\n<p>CHIPS \u0627\u06cc\u06a9\u0679 \u06a9\u06d2 \u0627\u0645\u062a\u0632\u0627\u062c\u060c \u062c\u063a\u0631\u0627\u0641\u06cc\u0627\u0626\u06cc \u0633\u06cc\u0627\u0633\u06cc \u062a\u0642\u0633\u06cc\u0645\u060c \u0627\u0648\u0631 AI \u06a9\u06cc \u0648\u062c\u06c1 \u0633\u06d2 \u0686\u067e \u06a9\u06cc \u0645\u0627\u0646\u06af \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u0636\u0627\u0641\u06d2 \u0646\u06d2 \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0622\u0644\u0627\u062a \u06a9\u06cc \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0648\u06ba \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0633\u0631\u0645\u0627\u06cc\u06c1 \u06a9\u0627\u0631\u06cc \u06a9\u0627 \u0627\u06cc\u06a9 \u0628\u06d2 \u0645\u062b\u0627\u0644 \u0645\u0627\u062d\u0648\u0644 \u067e\u06cc\u062f\u0627 \u06a9\u06cc\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u06a9\u0626\u06cc \u0631\u062c\u062d\u0627\u0646\u0627\u062a \u0642\u0627\u0628\u0644 \u062a\u0648\u062c\u06c1 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p><strong>\u0627\u0633\u0679\u0631\u06cc\u0679\u062c\u06a9 \u0633\u0631\u0645\u0627\u06cc\u06c1 \u06a9\u0627\u0631\u06cc \u0628\u0691\u06be \u0631\u06c1\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/strong>: \u0686\u067e \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u06a9\u0644\u06cc\u062f\u06cc \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc\u0632 \u062a\u06a9 \u0631\u0633\u0627\u0626\u06cc \u062d\u0627\u0635\u0644 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u0627\u0648\u0631 \u0633\u067e\u0644\u0627\u0626\u06cc \u0686\u06cc\u0646 \u06a9\u06d2 \u062e\u0637\u0631\u0627\u062a \u06a9\u0648 \u06a9\u0645 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0622\u0644\u0627\u062a \u0627\u0648\u0631 \u0645\u0648\u0627\u062f \u06a9\u06d2 \u0622\u063a\u0627\u0632 \u0645\u06cc\u06ba \u0628\u0631\u0627\u06c1 \u0631\u0627\u0633\u062a \u0633\u0631\u0645\u0627\u06cc\u06c1 \u06a9\u0627\u0631\u06cc \u06a9\u0631 \u0631\u06c1\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p>TSMC\u060c Samsung\u060c Intel\u060c \u0627\u0648\u0631 SK Hynix \u0633\u0628\u06be\u06cc \u06a9\u06d2 \u067e\u0627\u0633 \u0622\u0644\u0627\u062a \u06a9\u06d2 \u0645\u0627\u062d\u0648\u0644\u06cc\u0627\u062a\u06cc \u0646\u0638\u0627\u0645 \u067e\u0631 \u062a\u0648\u062c\u06c1 \u0645\u0631\u06a9\u0648\u0632 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u0641\u0639\u0627\u0644 \u0648\u06cc\u0646\u0686\u0631 \u067e\u0631\u0648\u06af\u0631\u0627\u0645 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p><strong>\u062d\u06a9\u0648\u0645\u062a\u06cc \u0641\u0646\u0688\u0646\u06af \u200b\u200b\u062a\u0627\u0631\u06cc\u062e\u06cc \u0633\u0637\u062d \u067e\u0631 \u06c1\u06d2\u06d4<\/strong>: \u0627\u0645\u0631\u06cc\u06a9\u06c1\u060c \u06cc\u0648\u0631\u067e\u06cc \u06cc\u0648\u0646\u06cc\u0646\u060c \u062c\u0627\u067e\u0627\u0646\u060c \u06a9\u0648\u0631\u06cc\u0627\u060c \u0627\u0648\u0631 \u062a\u0627\u0626\u06cc\u0648\u0627\u0646 \u0633\u0628\u06be\u06cc \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0645\u06cc\u0646\u0648\u0641\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0646\u06af \u0627\u0648\u0631 R&#038;D \u06a9\u0648 \u0627\u06c1\u0645 \u0633\u0628\u0633\u0688\u06cc \u0641\u0631\u0627\u06c1\u0645 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u06cc\u06c1 \u0631\u0642\u0645 \u0646\u06c1 \u0635\u0631\u0641 \u0686\u067e \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u0648\u06ba \u06a9\u0648 \u0628\u06c1\u06c1 \u0631\u06c1\u06cc \u06c1\u06d2 \u0628\u0644\u06a9\u06c1 \u0633\u067e\u0644\u0627\u0626\u06cc \u0686\u06cc\u0646 \u0645\u06cc\u06ba \u0622\u0644\u0627\u062a \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06cc \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0648\u06ba \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e\u0633 \u06a9\u0648 \u0628\u06be\u06cc\u06d4<\/p>\n<p><strong>\u062f\u0641\u0627\u0639\u06cc \u0627\u0648\u0631 \u0642\u0648\u0645\u06cc \u0633\u0644\u0627\u0645\u062a\u06cc \u06a9\u06cc \u0641\u0646\u0688\u0646\u06af<\/strong>: DARPA\u060c \u0627\u0645\u0631\u06cc\u06a9\u06cc \u0645\u062d\u06a9\u0645\u06c1 \u062f\u0641\u0627\u0639\u060c \u0627\u0648\u0631 \u062f\u06cc\u06af\u0631 \u0645\u0645\u0627\u0644\u06a9 \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u0646 \u06a9\u06d2 \u06c1\u0645 \u0645\u0646\u0635\u0628 \u0642\u0648\u0645\u06cc \u0633\u0644\u0627\u0645\u062a\u06cc \u06a9\u06cc \u0627\u06cc\u067e\u0644\u06cc \u06a9\u06cc\u0634\u0646\u0632 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0622\u0644\u0627\u062a \u067e\u0631 \u062a\u062d\u0642\u06cc\u0642 \u06a9\u0648 \u0641\u0646\u0688 \u0641\u0631\u0627\u06c1\u0645 \u06a9\u0631 \u0631\u06c1\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p>DARPA \u06a9\u06d2 JUMP 2.0 \u0627\u0648\u0631 DoD \u06a9\u06d2 Microelectronics Commons \u062c\u06cc\u0633\u06d2 \u067e\u0631\u0648\u06af\u0631\u0627\u0645 \u062c\u062f\u06cc\u062f \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 R&#038;D \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u06a9\u0631\u0648\u0691\u0648\u06ba \u0688\u0627\u0644\u0631 \u0641\u0631\u0627\u06c1\u0645 \u06a9\u0631 \u0631\u06c1\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p><strong>M&#038;A \u0633\u0631\u06af\u0631\u0645\u06cc \u0641\u0639\u0627\u0644 \u06c1\u06d2\u06d4<\/strong>: \u0633\u0627\u0632\u0648\u0633\u0627\u0645\u0627\u0646 \u06a9\u06cc \u0628\u0691\u06cc \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0627\u06ba \u0646\u0626\u06cc \u200b\u200b\u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc\u0632 \u0627\u0648\u0631 \u0679\u06cc\u0644\u0646\u0679 \u06a9\u0648 \u0645\u062d\u0641\u0648\u0638 \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0627\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e\u0633 \u062d\u0627\u0635\u0644 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06cc \u06a9\u0648\u0634\u0634 \u06a9\u0631 \u0631\u06c1\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u062d\u0627\u0644\u06cc\u06c1 \u0642\u0627\u0628\u0644 \u0630\u06a9\u0631 \u062d\u0635\u0648\u0644\u0648\u06ba \u0645\u06cc\u06ba ASML \u06a9\u0627 Mapper Lithography (e-beam) \u06a9\u0627 \u062d\u0635\u0648\u0644\u060c JSR \u06a9\u0627 Inpria (EUV resist) \u06a9\u0627 \u062d\u0635\u0648\u0644\u060c \u0627\u0648\u0631 TSMC \u06a9\u0627 IMS Nanofabrication (\u0645\u0644\u0679\u06cc \u0628\u06cc\u0645 \u0645\u0627\u0633\u06a9 \u0631\u0627\u0626\u0679\u0646\u06af) \u06a9\u0627 \u062d\u0635\u0648\u0644 \u0634\u0627\u0645\u0644 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<h3 id=\"heading-valuation-dynamics\">\u0648\u06cc\u0644\u06cc\u0648\u06cc\u0634\u0646 \u0688\u0627\u0626\u0646\u0627\u0645\u06a9\u0633<\/h3>\n<p>\u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0633\u0627\u0632\u0648\u0633\u0627\u0645\u0627\u0646 \u06a9\u06cc \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0627\u06ba \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u062a\u0631 \u0635\u0646\u0639\u062a\u06cc \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0648\u06ba \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be \u0627\u06cc\u06a9 \u067e\u0631\u06cc\u0645\u06cc\u0645 \u067e\u0631 \u062a\u062c\u0627\u0631\u062a \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u062c\u0648 \u0627\u0646 \u06a9\u06d2 \u0627\u0639\u0644\u06cc \u0645\u0627\u0631\u062c\u0646\u060c \u0627\u0646 \u06a9\u06cc \u0646\u0635\u0628 \u0634\u062f\u06c1 \u0628\u0646\u06cc\u0627\u062f \u06a9\u06d2 \u0627\u0646\u062a\u0638\u0627\u0645 \u0633\u06d2 \u0628\u0627\u0631 \u0628\u0627\u0631 \u06c1\u0648\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06cc \u0622\u0645\u062f\u0646\u06cc\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0646 \u06a9\u06cc \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc\u0632 \u06a9\u06cc \u0627\u0633\u0679\u0631\u06cc\u0679\u062c\u06a9 \u0627\u06c1\u0645\u06cc\u062a \u06a9\u0648 \u0638\u0627\u06c1\u0631 \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4 \u0645\u062b\u0627\u0644 \u06a9\u06d2 \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631\u060c ASML \u0646\u06d2 \u062d\u0627\u0644\u06cc\u06c1 \u0628\u0631\u0633\u0648\u06ba \u0645\u06cc\u06ba 30 \u0633\u06d2 \u200b\u200b50 \u06af\u0646\u0627 \u06a9\u0645\u0627\u0626\u06cc \u067e\u0631 \u062a\u062c\u0627\u0631\u062a \u06a9\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u067e\u0631\u0627\u0626\u06cc\u0648\u06cc\u0679 \u0627\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e\u0633 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2\u060c \u0642\u062f\u0631 \u06a9\u0627 \u0627\u0646\u062d\u0635\u0627\u0631 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u062a\u0631 \u0627\u0633 \u067e\u0631 \u06c1\u0648\u062a\u0627 \u06c1\u06d2:<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p><strong>\u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc \u06a9\u06cc \u062a\u0641\u0631\u06cc\u0642<\/strong>: \u06a9\u06cc\u0627 \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc \u0648\u0627\u0642\u0639\u06cc \u0646\u0626\u06cc \u06c1\u06d2\u060c \u06cc\u0627 \u0645\u0648\u062c\u0648\u062f\u06c1 \u0646\u0642\u0637\u06c1 \u0646\u0638\u0631 \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u06cc\u06a9 \u0627\u0636\u0627\u0641\u06cc \u0628\u06c1\u062a\u0631\u06cc \u06c1\u06d2\u061f<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u06a9\u0633\u0679\u0645\u0631 \u06a9\u0631\u0634\u0646<\/strong>: \u06a9\u06cc\u0627 \u0627\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e \u0646\u06d2 \u06af\u0627\u06c1\u06a9 \u06a9\u06cc \u0627\u06c1\u0644\u06cc\u062a \u06cc\u0627 \u0627\u0631\u0627\u062f\u06d2 \u06a9\u06d2 \u062e\u0637\u0648\u0637 \u062d\u0627\u0635\u0644 \u06a9\u06cc\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u061f<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0679\u06cc\u0645 \u0646\u0633\u0628<\/strong>: \u06a9\u06cc\u0627 \u0628\u0627\u0646\u06cc\u0648\u06ba \u06a9\u06d2 \u067e\u0627\u0633 \u0641\u06cc\u0644\u0688 \u0645\u06cc\u06ba \u06af\u06c1\u0631\u06cc \u0645\u06c1\u0627\u0631\u062a \u0627\u0648\u0631 \u0645\u062a\u0639\u0644\u0642\u06c1 \u0635\u0646\u0639\u062a \u06a9\u0627 \u062a\u062c\u0631\u0628\u06c1 \u06c1\u06d2\u061f<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0645\u0627\u0631\u06a9\u06cc\u0679 \u0679\u0627\u0626\u0645\u0646\u06af<\/strong>: \u06a9\u06cc\u0627 \u06cc\u06c1 \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc \u0627\u0633 \u0645\u0633\u0626\u0644\u06d2 \u06a9\u0648 \u062d\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u06c1\u06d2 \u062c\u0633\u06d2 \u0686\u067e \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u0641\u06cc \u0627\u0644\u062d\u0627\u0644 \u0641\u0639\u0627\u0644 \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u062d\u0644 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06cc \u06a9\u0648\u0634\u0634 \u06a9\u0631 \u0631\u06c1\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u061f<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u06a9\u06d2 \u0622\u0644\u0627\u062a \u06a9\u06cc \u062c\u06af\u06c1 \u0645\u06cc\u06ba\u060c \u0645\u0636\u0628\u0648\u0637 \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc \u06a9\u06cc \u062a\u0641\u0631\u06cc\u0642 \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0628\u062a\u062f\u0627\u0626\u06cc \u06a9\u0633\u0679\u0645\u0631 \u0679\u0631\u06cc\u06a9\u0634\u0646 \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be \u0627\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e\u0633 \u0646\u06d2 \u0633\u06cc\u0631\u06cc\u0632 A\/B \u0645\u06cc\u06ba $50-$500 \u0645\u0644\u06cc\u0646 \u06a9\u06cc \u0642\u06cc\u0645\u062a\u06cc\u06ba \u062d\u0627\u0635\u0644 \u06a9\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u062c\u0648 \u06a9\u06c1 \u0628\u0691\u06cc \u0645\u0645\u06a9\u0646\u06c1 \u0645\u0627\u0631\u06a9\u06cc\u0679\u0648\u06ba \u0627\u0648\u0631 \u062f\u0627\u062e\u0644\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba \u0628\u0691\u06cc \u0631\u06a9\u0627\u0648\u0679\u0648\u06ba \u06a9\u06cc \u0639\u06a9\u0627\u0633\u06cc \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<h2 id=\"heading-the-future-of-lithography\">\u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u0627 \u0645\u0633\u062a\u0642\u0628\u0644<\/h2>\n<h3 id=\"heading-beyond-euv-what-comes-next\">EUV \u0633\u06d2 \u0622\u06af\u06d2: \u0622\u06af\u06d2 \u06a9\u06cc\u0627 \u06c1\u06d2\u061f<\/h3>\n<p>\u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0627\u0646\u0688\u0633\u0679\u0631\u06cc \u0646\u06d2 \u0637\u0648\u06cc\u0644 \u0639\u0631\u0635\u06d2 \u0633\u06d2 \u0645\u0648\u0631 \u06a9\u06d2 \u0642\u0627\u0646\u0648\u0646 \u06a9\u06d2 \u062e\u0627\u062a\u0645\u06d2 \u06a9\u0627 \u0627\u0639\u0644\u0627\u0646 \u06a9\u06cc\u0627 \u06c1\u06d2\u060c \u0644\u06cc\u06a9\u0646 \u0627\u0633 \u0645\u06cc\u06ba \u062a\u0648\u0633\u06cc\u0639 \u06a9\u06d2 \u0646\u0626\u06d2 \u0637\u0631\u06cc\u0642\u06d2 \u062a\u0644\u0627\u0634 \u06a9\u0631 \u0631\u06c1\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p>\u0645\u0648\u062c\u0648\u062f\u06c1 \u0627\u062a\u0641\u0627\u0642 \u0631\u0627\u0626\u06d2 \u06cc\u06c1 \u06c1\u06d2 \u06a9\u06c1 EUV \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06c1\u0627\u0626\u06cc-NA EUV \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be \u0645\u0644 \u06a9\u0631 \u062a\u0642\u0631\u06cc\u0628\u0627\u064b 1nm \u0646\u0648\u0688 \u062a\u06a9 \u0686\u067e \u0633\u06a9\u06cc\u0644\u0646\u06af \u06a9\u0648 \u0633\u067e\u0648\u0631\u0679 \u06a9\u0631 \u0633\u06a9\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u060c \u0627\u06cc\u06a9 \u0679\u0627\u0626\u0645 \u0641\u0631\u06cc\u0645 \u062a\u0642\u0631\u06cc\u0628\u0627\u064b 2028-2032\u06d4 \u0627\u0633 \u0633\u06d2 \u0622\u06af\u06d2 \u0631\u0627\u0633\u062a\u06c1 \u06a9\u0645 \u0635\u0627\u0641 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0627\u0645\u06cc\u062f\u0648\u0627\u0631\u0648\u06ba \u06a9\u06cc \u06a9\u0626\u06cc \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc\u0632 \u06a9\u0648 \u062a\u0644\u0627\u0634 \u06a9\u06cc\u0627 \u062c\u0627 \u0631\u06c1\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p><strong>\u06c1\u0627\u0626\u067e\u0631-NA EUV<\/strong>: \u0639\u062f\u062f\u06cc \u06cc\u067e\u0631\u0686\u0631 \u06a9\u0648 0.55 NA \u0633\u06d2 \u0622\u06af\u06d2 \u0628\u0691\u06be\u0627\u0646\u0627 \u0686\u06be\u0648\u0679\u06cc \u062e\u0635\u0648\u0635\u06cc\u0627\u062a \u06a9\u0648 \u0642\u0627\u0628\u0644 \u0628\u0646\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u060c \u0644\u06cc\u06a9\u0646 \u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631\u0646\u06af \u06a9\u06d2 \u0686\u06cc\u0644\u0646\u062c\u0632 \u0628\u06c1\u062a \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u062a\u0648\u062c\u06c1 \u06a9\u06cc \u06af\u06c1\u0631\u0627\u0626\u06cc \u0627\u0646\u062a\u06c1\u0627\u0626\u06cc \u06a9\u0645 \u06c1\u0648 \u062c\u0627\u062a\u06cc \u06c1\u06d2 \u0627\u0648\u0631 \u0622\u067e\u0679\u06a9\u0633 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u067e\u06cc\u0686\u06cc\u062f\u06c1 \u0627\u0648\u0631 \u0645\u06c1\u0646\u06af\u06cc \u06c1\u0648 \u062c\u0627\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p><strong>Anamorphic \u06c1\u0627\u0626\u06cc NA<\/strong>: \u0628\u0691\u06d2 \u0641\u06cc\u0644\u0688 \u0633\u0627\u0626\u0632 \u06a9\u0648 \u0628\u0631\u0642\u0631\u0627\u0631 \u0631\u06a9\u06be\u062a\u06d2 \u06c1\u0648\u0626\u06d2 \u0627\u06cc\u06a9 \u0633\u0645\u062a \u0645\u06cc\u06ba \u06c1\u0627\u0626\u06cc \u0631\u06cc\u0632\u0648\u0644\u0648\u0634\u0646 \u062d\u0627\u0635\u0644 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 x\u060c y \u0633\u0645\u062a\u0648\u06ba \u0645\u06cc\u06ba \u0645\u062e\u062a\u0644\u0641 \u0645\u06cc\u06af\u0646\u06cc\u0641\u06cc\u06a9\u06cc\u0634\u0646\u0632 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u0631\u06cc\u06ba\u06d4 \u0627\u0633 \u0646\u0642\u0637\u06c1 \u0646\u0638\u0631 \u06a9\u0627 \u0645\u0637\u0627\u0644\u0639\u06c1 ASML \u0627\u0648\u0631 \u062a\u0639\u0644\u06cc\u0645\u06cc \u0645\u062d\u0642\u0642\u06cc\u0646 \u06a9\u0631 \u0631\u06c1\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p><strong>\u0627\u06cc\u06a9\u0633 \u0631\u06d2 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc\u06d4<\/strong>: \u0627\u06cc\u06a9\u0633 \u0631\u06d2 (\u0637\u0648\u0644 \u0645\u0648\u062c 0.1 \u0633\u06d2 10 nm) \u06a9\u0648 \u0646\u0645\u0627\u0626\u0634 \u06a9\u06d2 \u0630\u0631\u06cc\u0639\u06c1 \u06a9\u06d2 \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u0631\u0646\u0627 EUV \u0633\u06d2 \u0628\u06c1\u062a \u0686\u06be\u0648\u0679\u06cc \u062e\u0635\u0648\u0635\u06cc\u0627\u062a \u06a9\u06cc \u0627\u062c\u0627\u0632\u062a \u062f\u06cc\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 \u0627\u06cc\u06a9\u0633 \u0631\u06d2 \u0644\u06cc\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u0627 \u0645\u0637\u0627\u0644\u0639\u06c1 1970 \u06a9\u06cc \u062f\u06c1\u0627\u0626\u06cc \u0633\u06d2 \u06a9\u06cc\u0627 \u062c\u0627 \u0631\u06c1\u0627 \u06c1\u06d2\u060c \u0644\u06cc\u06a9\u0646 \u06a9\u0627\u0641\u06cc \u0627\u06cc\u06a9\u0633 \u0631\u06d2 \u067e\u0627\u0648\u0631 \u067e\u06cc\u062f\u0627 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba \u0645\u0634\u06a9\u0644\u0627\u062a \u0627\u0648\u0631 \u0645\u0646\u0627\u0633\u0628 \u0622\u067e\u0679\u06a9\u0633 \u06a9\u06cc \u06a9\u0645\u06cc \u06a9\u06cc \u0648\u062c\u06c1 \u0633\u06d2 \u0627\u0633 \u0646\u06d2 \u06a9\u0628\u06be\u06cc \u062a\u062c\u0627\u0631\u062a\u06cc \u0642\u0627\u0628\u0644 \u0639\u0645\u0644\u06cc\u062a \u062d\u0627\u0635\u0644 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06a9\u06cc\u06d4<\/p>\n<p><strong>\u0628\u0691\u06d2 \u067e\u06cc\u0645\u0627\u0646\u06d2 \u067e\u0631 \u0627\u0644\u06cc\u06a9\u0679\u0631\u0627\u0646 \u0628\u06cc\u0645 \u06a9\u06cc \u0628\u0631\u0627\u06c1 \u0631\u0627\u0633\u062a \u062a\u062d\u0631\u06cc\u0631<\/strong>: \u0627\u06af\u0631 \u0627\u06cc-\u0628\u06cc\u0645 \u0644\u06cc\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06d2 \u062a\u06be\u0631\u0648 \u067e\u0679 \u0645\u0633\u0627\u0626\u0644 \u06a9\u0648 \u0628\u0691\u06d2 \u067e\u06cc\u0645\u0627\u0646\u06d2 \u067e\u0631 \u0645\u062a\u0648\u0627\u0632\u06cc \u067e\u0631\u0648\u0633\u06cc\u0633\u0646\u06af \u06a9\u06d2 \u0630\u0631\u06cc\u0639\u06d2 \u062d\u0644 \u06a9\u06cc\u0627 \u062c\u0627 \u0633\u06a9\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u060c \u062a\u0648 \u0627\u06cc-\u0628\u06cc\u0645 \u0628\u0627\u0644\u0622\u062e\u0631 \u06a9\u0686\u06be \u0627\u06cc\u067e\u0644\u06cc \u06a9\u06cc\u0634\u0646\u0632 \u0645\u06cc\u06ba \u0622\u067e\u0679\u06cc\u06a9\u0644 \u0644\u06cc\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06cc \u062c\u06af\u06c1 \u0644\u06d2 \u0633\u06a9\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 IMS Nanofabrication \u0627\u0648\u0631 Multibeam Corporation \u06a9\u06cc \u0637\u0631\u0641 \u0633\u06d2 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u06cc\u0627 \u062c\u0627 \u0631\u06c1\u0627 \u0645\u0644\u0679\u06cc \u0628\u06cc\u0645 \u0627\u067e\u0631\u0648\u0686 \u0627\u0633 \u0633\u0645\u062a \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u06cc\u06a9 \u0642\u062f\u0645 \u06a9\u06cc \u0646\u0645\u0627\u0626\u0646\u062f\u06af\u06cc \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p><strong>\u062c\u0648\u06c1\u0631\u06cc \u067e\u06cc\u0645\u0627\u0646\u06d2 \u067e\u0631 \u0645\u06cc\u0646\u0648\u0641\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0646\u06af<\/strong>: \u0637\u0648\u06cc\u0644 \u0645\u062f\u062a\u06cc \u0645\u06cc\u06ba\u060c \u0627\u0633\u06a9\u06cc\u0646\u0646\u06af \u0679\u0646\u0644\u0646\u06af \u0645\u0627\u0626\u06cc\u06a9\u0631\u0648\u0633\u06a9\u0648\u067e\u06cc (STM) \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0679\u0627\u0645\u06a9 \u0644\u06cc\u0626\u0631 \u067e\u0631\u0648\u0633\u06cc\u0633\u0646\u06af \u062c\u06cc\u0633\u06cc \u062a\u06a9\u0646\u06cc\u06a9 \u0627\u0646\u0641\u0631\u0627\u062f\u06cc \u0627\u06cc\u0679\u0645\u0648\u06ba \u06a9\u06cc \u062f\u0631\u0633\u062a \u062c\u06af\u06c1 \u06a9\u0627 \u062a\u0639\u06cc\u0646 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0642\u0627\u0628\u0644 \u0628\u0646\u0627\u0626\u06d2 \u06af\u06cc\u06d4 \u0627\u06af\u0631\u0686\u06c1 \u06cc\u06c1 \u0645\u06cc\u0646\u0648\u0641\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0646\u06af \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc \u06a9\u06d2 \u0628\u062c\u0627\u0626\u06d2 \u0627\u06cc\u06a9 \u062a\u062d\u0642\u06cc\u0642\u06cc \u062a\u062c\u0633\u0633 \u0628\u0646\u06cc \u06c1\u0648\u0626\u06cc \u06c1\u06d2\u060c \u0644\u06cc\u06a9\u0646 \u06cc\u06c1 \u0627\u06cc\u06a9 \u0627\u06cc\u0633\u06d2 \u0645\u0633\u062a\u0642\u0628\u0644 \u06a9\u06cc \u0637\u0631\u0641 \u0627\u0634\u0627\u0631\u06c1 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2 \u062c\u0633 \u0645\u06cc\u06ba &quot;\u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc&#8221; \u06a9\u0627 \u062a\u0635\u0648\u0631 \u062c\u06cc\u0633\u0627 \u06a9\u06c1 \u06c1\u0645 \u062c\u0627\u0646\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba \u06a9\u06c1 \u0627\u0633\u06d2 \u062a\u0628\u062f\u06cc\u0644 \u06a9\u06cc\u0627 \u062c\u0627 \u0633\u06a9\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<h3 id=\"heading-the-role-of-ai-in-future-lithography\">\u0645\u0633\u062a\u0642\u0628\u0644 \u06a9\u06cc \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0645\u06cc\u06ba AI \u06a9\u0627 \u06a9\u0631\u062f\u0627\u0631<\/h3>\n<p>\u0645\u0635\u0646\u0648\u0639\u06cc \u0630\u06c1\u0627\u0646\u062a \u067e\u06c1\u0644\u06d2 \u06c1\u06cc \u06a9\u0626\u06cc \u0637\u0631\u06cc\u0642\u0648\u06ba \u0633\u06d2 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u0648 \u062a\u0628\u062f\u06cc\u0644 \u06a9\u0631 \u0631\u06c1\u06cc \u06c1\u06d2\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0633 \u06a9\u0627 \u06a9\u0631\u062f\u0627\u0631 \u0635\u0631\u0641 \u0628\u0691\u06be\u06d2 \u06af\u0627\u06d4<\/p>\n<p><strong>\u06a9\u0645\u067e\u06cc\u0648\u0679\u06cc\u0634\u0646\u0644 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc\u06d4<\/strong>: AI \u0688\u0631\u0627\u0645\u0627\u0626\u06cc \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u0622\u067e\u0679\u06cc\u06a9\u0644 \u0642\u0631\u0628\u062a \u06a9\u06cc \u0627\u0635\u0644\u0627\u062d \u0627\u0648\u0631 \u0633\u0648\u0631\u0633 \u0645\u0627\u0633\u06a9 \u0622\u067e\u0679\u06cc\u0645\u0627\u0626\u0632\u06cc\u0634\u0646 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u062f\u0631\u06a9\u0627\u0631 \u062d\u0633\u0627\u0628\u0627\u062a \u06a9\u0648 \u062a\u06cc\u0632 \u06a9\u0631 \u0631\u06c1\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 2023 \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u0639\u0644\u0627\u0646 \u06a9\u06cc\u0627 \u06af\u06cc\u0627\u060c NVIDIA \u06a9\u0627 cuLitho \u067e\u0644\u06cc\u0679 \u0641\u0627\u0631\u0645 \u06a9\u0645\u067e\u06cc\u0648\u0679\u06cc\u0634\u0646\u0644 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06d2 \u0631\u0646 \u0679\u0627\u0626\u0645 \u06a9\u0648 \u06c1\u0641\u062a\u0648\u06ba \u0633\u06d2 \u06af\u06be\u0646\u0679\u0648\u06ba \u062a\u06a9 \u06a9\u0645 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 GPU \u0627\u06cc\u06a9\u0633\u0644\u0631\u06cc\u0634\u0646 \u0627\u0648\u0631 AI \u06a9\u0627 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p><strong>\u0639\u0645\u0644 \u06a9\u0646\u0679\u0631\u0648\u0644<\/strong>: \u0641\u06cc\u0628 \u0688\u06cc\u0679\u0627 \u067e\u0631 \u062a\u0631\u0628\u06cc\u062a \u06cc\u0627\u0641\u062a\u06c1 \u0645\u0634\u06cc\u0646 \u0644\u0631\u0646\u0646\u06af \u0645\u0627\u0688\u0644 \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u062a\u0627\u0631 \u0686\u0691\u06be\u0627\u0648 \u06a9\u06d2 \u06c1\u0648\u0646\u06d2 \u0633\u06d2 \u067e\u06c1\u0644\u06d2 \u067e\u06cc\u0634 \u06af\u0648\u0626\u06cc \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u06a9\u0648 \u0628\u06c1\u062a\u0631 \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u0627\u0648\u0631 \u0641\u0636\u0644\u06c1 \u06a9\u0648 \u06a9\u0645 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0641\u0639\u0627\u0644 \u0639\u0645\u0644 \u06a9\u06cc \u0627\u06cc\u0688\u062c\u0633\u0679\u0645\u0646\u0679 \u06a9\u0648 \u0641\u0639\u0627\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p><strong>\u062e\u0631\u0627\u0628\u06cc \u06a9\u0627 \u0645\u0639\u0627\u0626\u0646\u06c1<\/strong>: \u0688\u06cc\u067e \u0644\u0631\u0646\u0646\u06af \u0645\u0627\u0688\u0644\u0632 \u0627\u0628 \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u0627\u0645\u06cc\u062c\u0632 \u0645\u06cc\u06ba \u0646\u0642\u0627\u0626\u0635 \u06a9\u06cc \u062f\u0631\u062c\u06c1 \u0628\u0646\u062f\u06cc \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u0646\u0633\u0627\u0646\u06cc \u0627\u0646\u0633\u067e\u06a9\u0679\u0631\u0632 \u0633\u06d2 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u062f\u0631\u0633\u062a \u06c1\u06cc\u06ba \u0627\u0648\u0631 \u062a\u0635\u0627\u0648\u06cc\u0631 \u06a9\u0648 \u0628\u06c1\u062a \u062a\u06cc\u0632\u06cc \u0633\u06d2 \u067e\u0631\u0648\u0633\u06cc\u0633 \u06a9\u0631 \u0633\u06a9\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p><strong>\u0633\u0627\u0645\u0627\u0646 \u06a9\u06cc \u0635\u062d\u062a \u06a9\u06cc \u0646\u06af\u0631\u0627\u0646\u06cc<\/strong>: \u0633\u0627\u0632\u0648\u0633\u0627\u0645\u0627\u0646 \u06a9\u06d2 \u0633\u06cc\u0646\u0633\u0631 \u0688\u06cc\u0679\u0627 \u067e\u0631 \u062a\u0631\u0628\u06cc\u062a \u06cc\u0627\u0641\u062a\u06c1 AI \u0645\u0627\u0688\u0644 \u0627\u062c\u0632\u0627\u0621 \u06a9\u06cc \u0646\u0627\u06a9\u0627\u0645\u06cc \u06a9\u06d2 \u06c1\u0648\u0646\u06d2 \u0633\u06d2 \u067e\u06c1\u0644\u06d2 \u06c1\u06cc \u0627\u0646 \u06a9\u06cc \u067e\u06cc\u0634 \u06af\u0648\u0626\u06cc \u06a9\u0631 \u0633\u06a9\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u062c\u0633 \u0633\u06d2 \u063a\u06cc\u0631 \u0645\u0646\u0635\u0648\u0628\u06c1 \u0628\u0646\u062f \u0648\u0642\u062a \u06a9\u0648 \u06a9\u0645 \u06a9\u06cc\u0627 \u062c\u0627 \u0633\u06a9\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p><strong>\u0631\u06cc\u0648\u0631\u0633 \u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631\u0646\u06af<\/strong>: AI \u06a9\u0627 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u0646\u0626\u06d2 \u0641\u0648\u0679\u0648 \u0631\u06cc\u0632\u0633\u0679 \u0645\u0627\u0644\u06cc\u06a9\u06cc\u0648\u0644\u0632\u060c \u0622\u067e\u0679\u06cc\u06a9\u0644 \u06a9\u0648\u0679\u0646\u06af\u0632\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0645\u0627\u0633\u06a9 \u06a9\u06d2 \u0646\u0645\u0648\u0646\u0648\u06ba \u06a9\u0648 \u0688\u06cc\u0632\u0627\u0626\u0646 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u06a9\u06cc\u0627 \u062c\u0627 \u0631\u06c1\u0627 \u06c1\u06d2 \u062c\u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u0645\u0648\u062c\u0648\u062f\u06c1 \u0637\u0631\u06cc\u0642\u0648\u06ba \u0633\u06d2 \u062f\u0631\u06cc\u0627\u0641\u062a \u06a9\u0631\u0646\u0627 \u0645\u0634\u06a9\u0644 \u06cc\u0627 \u0646\u0627\u0645\u0645\u06a9\u0646 \u062a\u06be\u0627\u06d4<\/p>\n<h3 id=\"heading-the-geopolitical-trajectory\">\u062c\u063a\u0631\u0627\u0641\u06cc\u0627\u0626\u06cc \u0633\u06cc\u0627\u0633\u06cc \u0631\u0641\u062a\u0627\u0631<\/h3>\n<p>\u0639\u0627\u0644\u0645\u06cc \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0633\u067e\u0644\u0627\u0626\u06cc \u0686\u06cc\u0646 \u0645\u06cc\u06ba \u067e\u0648\u0644\u0631\u0627\u0626\u0632\u06cc\u0634\u0646 \u06a9\u0627 \u0631\u062c\u062d\u0627\u0646 \u062c\u0627\u0631\u06cc \u0631\u06c1\u0646\u06d2 \u0627\u0648\u0631 \u06af\u06c1\u0631\u0627 \u06c1\u0648\u0646\u06d2 \u06a9\u06cc \u062a\u0648\u0642\u0639 \u06c1\u06d2\u06d4 \u0627\u0645\u0631\u06cc\u06a9\u06c1\u060c \u06cc\u0648\u0631\u067e\u060c \u062c\u0627\u067e\u0627\u0646 \u0627\u0648\u0631 \u062c\u0646\u0648\u0628\u06cc \u06a9\u0648\u0631\u06cc\u0627 \u06af\u06be\u0631\u06cc\u0644\u0648 \u0645\u06cc\u0646\u0648\u0641\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0646\u06af \u06a9\u06cc \u0635\u0644\u0627\u062d\u06cc\u062a\u0648\u06ba \u06a9\u0648 \u0628\u0691\u06be\u0627\u0646\u06d2 \u0627\u0648\u0631 \u062a\u0627\u0626\u06cc\u0648\u0627\u0646 \u067e\u0631 \u0627\u0646\u062d\u0635\u0627\u0631 \u06a9\u0645 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0628\u06c1\u062a \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u0633\u0631\u0645\u0627\u06cc\u06c1 \u06a9\u0627\u0631\u06cc \u06a9\u0631 \u0631\u06c1\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u0686\u06cc\u0646 \u063a\u06cc\u0631 \u0645\u0644\u06a9\u06cc \u0622\u0644\u0627\u062a \u0627\u0648\u0631 \u0645\u0648\u0627\u062f \u06a9\u06d2 \u06af\u06be\u0631\u06cc\u0644\u0648 \u0645\u062a\u0628\u0627\u062f\u0644 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0627\u062a\u0646\u06cc \u06c1\u06cc \u0628\u0691\u06cc \u0633\u0631\u0645\u0627\u06cc\u06c1 \u06a9\u0627\u0631\u06cc \u06a9\u0631 \u0631\u06c1\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0637\u0648\u06cc\u0644 \u0645\u062f\u062a\u06cc \u0646\u062a\u06cc\u062c\u06c1 \u0627\u06cc\u06a9 \u0627\u06cc\u0633\u06cc \u062f\u0646\u06cc\u0627 \u06a9\u0627 \u0627\u0645\u06a9\u0627\u0646 \u06c1\u06d2 \u062c\u06c1\u0627\u06ba \u062f\u0648 \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0645\u0627\u062d\u0648\u0644\u06cc\u0627\u062a\u06cc \u0646\u0638\u0627\u0645 \u062c\u0632\u0648\u06cc \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u0627\u0648\u0648\u0631\u0644\u06cc\u067e \u06c1\u0648\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u0627\u06cc\u06a9 \u0645\u0631\u0627\u06a9\u0632 \u0627\u0646 \u0645\u0645\u0627\u0644\u06a9 \u06a9\u06d2 \u0627\u0631\u062f \u06af\u0631\u062f \u06c1\u06cc\u06ba \u062c\u0648 \u0627\u0645\u0631\u06cc\u06a9\u06c1 \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0646 \u06a9\u06cc \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc\u0632 \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be \u0645\u0646\u0633\u0644\u06a9 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u0627\u0648\u0631 \u062f\u0648\u0633\u0631\u06d2 \u0645\u0631\u0627\u06a9\u0632 \u0686\u06cc\u0646 \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0633 \u06a9\u06d2 \u06af\u06be\u0631\u06cc\u0644\u0648 \u0645\u062a\u0628\u0627\u062f\u0644\u0627\u062a \u06a9\u06d2 \u0627\u0631\u062f \u06af\u0631\u062f \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u06cc\u06c1 \u0633\u06c1 \u0645\u0627\u06c1\u06cc \u0622\u0644\u0627\u062a \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0648\u06ba \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e\u0633 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0686\u06cc\u0644\u0646\u062c\u0632 \u0627\u0648\u0631 \u0645\u0648\u0627\u0642\u0639 \u062f\u0648\u0646\u0648\u06ba \u067e\u06cc\u062f\u0627 \u06a9\u0631\u06d2 \u06af\u06cc\u06d4<\/p>\n<p>\u0627\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e\u0633 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2\u060c \u062c\u063a\u0631\u0627\u0641\u06cc\u0627\u0626\u06cc \u0633\u06cc\u0627\u0633\u06cc \u0645\u0627\u062d\u0648\u0644 \u062f\u0648\u0646\u0648\u06ba \u0645\u0627\u062d\u0648\u0644\u06cc\u0627\u062a\u06cc \u0646\u0638\u0627\u0645\u0648\u06ba \u0645\u06cc\u06ba \u0635\u0627\u0631\u0641\u06cc\u0646 \u06a9\u06cc \u062e\u062f\u0645\u062a \u06a9\u06d2 \u0645\u0648\u0627\u0642\u0639 \u0641\u0631\u0627\u06c1\u0645 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u060c \u0644\u06cc\u06a9\u0646 \u06cc\u06c1 \u062e\u0637\u0631\u0627\u062a \u0628\u06be\u06cc \u067e\u06cc\u062f\u0627 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2 \u06a9\u06cc\u0648\u0646\u06a9\u06c1 \u0628\u0631\u0622\u0645\u062f\u06cc \u06a9\u0646\u0679\u0631\u0648\u0644 \u0627\u0648\u0631 \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc \u06a9\u06cc \u067e\u0627\u0628\u0646\u062f\u06cc\u0627\u06ba \u062a\u06cc\u0632\u06cc \u0633\u06d2 \u0627\u0648\u0631 \u063a\u06cc\u0631 \u0645\u062a\u0648\u0642\u0639 \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u062a\u0628\u062f\u06cc\u0644 \u06c1\u0648 \u0633\u06a9\u062a\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<h2 id=\"heading-case-studies-startups-that-shaped-the-ecosystem\">\u06a9\u06cc\u0633 \u0627\u0633\u0679\u0688\u06cc: \u0627\u06cc\u06a9\u0648 \u0633\u0633\u0679\u0645 \u06a9\u06cc \u0634\u06a9\u0644 \u062f\u06cc\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u0627\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e<\/h2>\n<h3 id=\"heading-cymer-from-startup-to-asml-subsidiary\">\u0633\u0627\u0626\u0645\u0631: \u0622\u063a\u0627\u0632 \u0633\u06d2 \u0644\u06d2 \u06a9\u0631 ASML \u06a9\u06d2 \u0630\u06cc\u0644\u06cc \u0627\u062f\u0627\u0631\u06d2 \u062a\u06a9<\/h3>\n<p>\u0633\u0627\u0626\u0645\u0631 \u06a9\u06cc \u0628\u0646\u06cc\u0627\u062f \u0633\u0627\u0646 \u0688\u06cc\u0627\u06af\u0648 \u0645\u06cc\u06ba 1986 \u0645\u06cc\u06ba \u06cc\u0648\u0646\u06cc\u0648\u0631\u0633\u0679\u06cc \u0622\u0641 \u06a9\u06cc\u0644\u06cc\u0641\u0648\u0631\u0646\u06cc\u0627\u060c \u0633\u0627\u0646 \u0688\u06cc\u0627\u06af\u0648 \u06a9\u06d2 \u062f\u0648 \u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631\u0632 \u0631\u0627\u0628\u0631\u0679 \u0627\u06a9\u0646\u0632 \u0627\u0648\u0631 \u0631\u0686\u0631\u0688 \u0633\u06cc\u0646\u0688\u0633\u0679\u0631\u0648\u0645 \u0646\u06d2 \u0631\u06a9\u06be\u06cc \u062a\u06be\u06cc\u06d4<\/p>\n<p>\u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc \u06a9\u0627 \u0645\u0634\u0646 \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0644\u06cc\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0627\u06cc\u06a9\u0633\u0627\u0626\u0645\u0631 \u0644\u06cc\u0632\u0631 \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc \u06a9\u0648 \u062a\u062c\u0627\u0631\u062a\u06cc \u0628\u0646\u0627\u0646\u0627 \u062a\u06be\u0627\u06d4 \u0627\u0633 \u0648\u0642\u062a\u060c excimer lasers \u0627\u06cc\u06a9 \u062a\u062c\u0631\u0628\u06c1 \u06af\u0627\u06c1 \u06a9\u0627 \u062a\u062c\u0633\u0633 \u062a\u06be\u0627\u06d4 \u062a\u0627\u06c1\u0645\u060c \u0633\u0627\u0626\u0645\u0631 \u06a9\u06d2 \u0628\u0627\u0646\u06cc\u0648\u06ba \u06a9\u0627 \u062e\u06cc\u0627\u0644 \u062a\u06be\u0627 \u06a9\u06c1 \u0633\u0627\u0626\u0645\u0631 \u06a9\u0648 \u0627\u06cc\u06a9 \u0642\u0627\u0628\u0644 \u0627\u0639\u062a\u0645\u0627\u062f\u060c \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u0631\u0648\u0634\u0646\u06cc \u06a9\u0627 \u0630\u0631\u06cc\u0639\u06c1 \u0628\u0646\u0627\u06cc\u0627 \u062c\u0627 \u0633\u06a9\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0644\u06cc\u0628\u0627\u0631\u0679\u0631\u06cc \u0633\u06d2 \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u062a\u06a9 \u06a9\u0627 \u0631\u0627\u0633\u062a\u06c1 \u0637\u0648\u06cc\u0644 \u0627\u0648\u0631 \u0645\u0634\u06a9\u0644 \u062a\u06be\u0627\u06d4 Excimer \u0644\u06cc\u0632\u0631\u0632 \u0641\u0637\u0631\u06cc \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u067e\u06cc\u0686\u06cc\u062f\u06c1 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u0648\u06c1 \u06c1\u0627\u0626\u06cc \u067e\u0631\u06cc\u0634\u0631 \u067e\u0631 \u0632\u06c1\u0631\u06cc\u0644\u06cc \u06af\u06cc\u0633\u0648\u06ba (\u0641\u0644\u0648\u0631\u06cc\u0646\u060c \u06a9\u0631\u067e\u0679\u0646\u060c \u0622\u0631\u06af\u0646) \u06a9\u0627 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u06c1\u0632\u0627\u0631\u0648\u06ba \u062f\u0627\u0644\u06cc\u06ba \u0641\u06cc \u0633\u06cc\u06a9\u0646\u0688 \u06a9\u06cc \u0631\u0641\u062a\u0627\u0631 \u0633\u06d2 \u0641\u0627\u0626\u0631 \u06a9\u06cc \u062c\u0627\u062a\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u0628\u06c1\u062a \u0633\u062e\u062a \u0637\u0648\u0644 \u0645\u0648\u062c \u067e\u0631 \u0642\u0627\u0628\u0648 \u0631\u06a9\u06be\u0646\u0627 \u0686\u0627\u06c1\u06cc\u06d2 (ARF \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 0.1 \u0628\u062c\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0627\u0646\u062f\u0631)\u06d4<\/p>\n<p>\u0627\u0628\u062a\u062f\u0627\u0626\u06cc \u0646\u0638\u0627\u0645 \u0646\u0627\u0642\u0627\u0628\u0644 \u0627\u0639\u062a\u0645\u0627\u062f \u062a\u06be\u06d2 \u0627\u0648\u0631 \u0628\u0627\u0631 \u0628\u0627\u0631 \u062f\u06cc\u06a9\u06be \u0628\u06be\u0627\u0644 \u06a9\u06cc \u0636\u0631\u0648\u0631\u062a \u062a\u06be\u06cc\u06d4 \u0633\u0627\u0626\u0645\u0631 \u0646\u06d2 \u0688\u06cc\u0632\u0627\u0626\u0646\u0648\u06ba \u067e\u0631 \u0627\u0639\u0627\u062f\u06c1 \u06a9\u0631\u0646\u06d2\u060c \u0648\u0634\u0648\u0633\u0646\u06cc\u06cc\u062a\u0627 \u06a9\u0648 \u0628\u06c1\u062a\u0631 \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u0627\u0648\u0631 \u0645\u0644\u06a9\u06cc\u062a \u06a9\u06cc \u0644\u0627\u06af\u062a \u06a9\u0648 \u06a9\u0645 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba \u0628\u0631\u0633\u0648\u06ba \u06af\u0632\u0627\u0631\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p>1990 \u06a9\u06cc \u062f\u06c1\u0627\u0626\u06cc \u06a9\u06d2 \u0648\u0633\u0637 \u062a\u06a9\u060c \u0633\u0627\u0626\u0645\u0631 \u0646\u06d2 \u062e\u0648\u062f \u06a9\u0648 \u0644\u06cc\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 excimer \u0644\u06cc\u0632\u0631 \u0644\u0627\u0626\u0679 \u0630\u0631\u0627\u0626\u0639 \u06a9\u06d2 \u0627\u06cc\u06a9 \u063a\u0627\u0644\u0628 \u0633\u067e\u0644\u0627\u0626\u0631 \u06a9\u06d2 \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u0642\u0627\u0626\u0645 \u06a9\u0631 \u0644\u06cc\u0627 \u062a\u06be\u0627\u060c \u062c\u0633 \u0646\u06d2 \u06a9\u0626\u06cc \u062f\u06c1\u0627\u0626\u06cc\u0648\u06ba \u062a\u06a9 \u0642\u0631\u06cc\u0628 \u06a9\u06cc \u0627\u062c\u0627\u0631\u06c1 \u062f\u0627\u0631\u06cc \u06a9\u06cc \u067e\u0648\u0632\u06cc\u0634\u0646 \u06a9\u0648 \u0628\u0631\u0642\u0631\u0627\u0631 \u0631\u06a9\u06be\u0627 \u062a\u06be\u0627\u06d4 \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc 1996 \u0645\u06cc\u06ba \u0645\u0646\u0638\u0631 \u0639\u0627\u0645 \u067e\u0631 \u0622\u0626\u06cc \u0627\u0648\u0631 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06cc \u0645\u0627\u0631\u06a9\u06cc\u0679 \u06a9\u06d2 \u067e\u06be\u06cc\u0644\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be \u0633\u0627\u062a\u06be \u0627\u0633 \u0645\u06cc\u06ba \u0645\u0633\u0644\u0633\u0644 \u0627\u0636\u0627\u0641\u06c1 \u06c1\u0648\u0627\u06d4<\/p>\n<p>\u062c\u0628 ASML \u0646\u06d2 EUV \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u0648 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631\u0646\u0627 \u0634\u0631\u0648\u0639 \u06a9\u06cc\u0627 \u062a\u0648\u060c \u0627\u06cc\u06a9 \u0646\u0626\u06cc \u0642\u0633\u0645 \u06a9\u06d2 \u0631\u0648\u0634\u0646\u06cc \u06a9\u06d2 \u0645\u0646\u0628\u0639 \u06a9\u06cc \u0636\u0631\u0648\u0631\u062a \u062a\u06be\u06cc \u062c\u0648 EUV \u062a\u0627\u0628\u06a9\u0627\u0631\u06cc \u067e\u06cc\u062f\u0627 \u06a9\u0631 \u0633\u06a9\u06d2 \u062c\u0633 \u06a9\u06cc \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06c1\u0648\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u06a9\u0627\u0641\u06cc \u0637\u0627\u0642\u062a \u06c1\u0648\u06d4 \u06c1\u0627\u0626\u06cc \u067e\u0627\u0648\u0631 \u0644\u06cc\u0632\u0631 \u0633\u0633\u0679\u0645\u0632 \u0645\u06cc\u06ba \u0633\u0627\u0626\u0645\u0631 \u06a9\u06cc \u0645\u06c1\u0627\u0631\u062a \u0646\u06d2 \u0627\u0633\u06d2 \u0642\u062f\u0631\u062a\u06cc \u067e\u0627\u0631\u0679\u0646\u0631 \u0628\u0646\u0627 \u062f\u06cc\u0627\u06d4<\/p>\n<p>ASML \u0646\u06d2 \u0633\u0627\u0626\u0645\u0631 \u06a9\u0648 2013 \u0645\u06cc\u06ba \u062a\u0642\u0631\u06cc\u0628\u0627\u064b 2.5 \u0628\u0644\u06cc\u0646 \u0688\u0627\u0644\u0631 \u0645\u06cc\u06ba \u062d\u0627\u0635\u0644 \u06a9\u06cc\u0627 \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0633\u06d2 \u0627\u067e\u0646\u06d2 \u0644\u0627\u0626\u0679 \u0633\u0648\u0631\u0633 \u0688\u0648\u06cc\u0698\u0646 \u0645\u06cc\u06ba \u0636\u0645 \u06a9\u0631 \u062f\u06cc\u0627\u060c \u062c\u0648 CO2 \u0644\u06cc\u0632\u0631\u0632 \u0627\u0648\u0631 \u0679\u0646 \u0688\u0631\u0627\u067e\u0644\u06cc\u0679 \u0633\u0633\u0679\u0645\u0632 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0630\u0645\u06c1 \u062f\u0627\u0631 \u06c1\u06d2\u060c \u062c\u0648 \u062a\u0645\u0627\u0645 EUV \u0645\u0634\u06cc\u0646\u0648\u06ba \u06a9\u0627 \u0645\u0631\u06a9\u0632 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p>\u0633\u0627\u0626\u0645\u0631 \u06a9\u06cc \u06a9\u06c1\u0627\u0646\u06cc \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0622\u0644\u0627\u062a \u06a9\u06d2 \u0622\u063a\u0627\u0632 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u06a9\u0626\u06cc \u0627\u06c1\u0645 \u0627\u0633\u0628\u0627\u0642 \u06a9\u06cc \u0648\u0636\u0627\u062d\u062a \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p><strong>\u06af\u06c1\u0631\u06cc \u062a\u06a9\u0646\u06cc\u06a9\u06cc \u0645\u06c1\u0627\u0631\u062a \u0622\u067e \u06a9\u0648 \u062f\u06cc\u0631\u067e\u0627 \u0645\u0633\u0627\u0628\u0642\u062a\u06cc \u0641\u0627\u0626\u062f\u06c1 \u062f\u06cc\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/strong> \u0627\u06cc\u06a9\u0633\u0627\u0626\u0645\u0631 \u0644\u06cc\u0632\u0631 \u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631\u0646\u06af \u0645\u06cc\u06ba \u0633\u0627\u0626\u0645\u0631 \u06a9\u06cc \u0645\u06c1\u0627\u0631\u062a \u06a9\u0648 \u0622\u0633\u0627\u0646\u06cc \u0633\u06d2 \u0646\u0642\u0644 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06a9\u06cc\u0627 \u062c\u0627 \u0633\u06a9\u062a\u0627 \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0633\u06d2 \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba \u06a9\u0626\u06cc \u062f\u06c1\u0627\u0626\u06cc\u0627\u06ba \u0644\u06af\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0628\u0691\u06d2 \u0627\u06cc\u06af\u0632\u0679 \u06a9\u0627 \u0631\u0627\u0633\u062a\u06c1 \u0627\u06a9\u062b\u0631 \u0628\u0691\u06d2 \u06a9\u06be\u0644\u0627\u0691\u06cc\u0648\u06ba \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0646\u0627\u06af\u0632\u06cc\u0631 \u06c1\u0648\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/strong> ASML \u06a9\u0627 \u0633\u0627\u0626\u0645\u0631 \u06a9\u0627 \u062d\u0635\u0648\u0644 \u0646\u0627\u06a9\u0627\u0645 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u062a\u06be\u0627\u06d4 \u06cc\u06c1 \u0627\u0633 \u062d\u06a9\u0645\u062a \u0639\u0645\u0644\u06cc \u06a9\u06cc \u0645\u0646\u0637\u0642\u06cc \u0627\u0646\u062a\u06c1\u0627 \u062a\u06be\u06cc \u062c\u0633 \u0646\u06d2 \u0633\u0627\u0626\u0645\u0631 \u06a9\u0648 \u0635\u0646\u0639\u062a \u06a9\u06cc \u0627\u06c1\u0645 \u062a\u0631\u06cc\u0646 \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc\u0632 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0636\u0631\u0648\u0631\u06cc \u0628\u0646\u0627 \u062f\u06cc\u0627\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0635\u0628\u0631 \u06a9\u06cc \u0636\u0631\u0648\u0631\u062a \u06c1\u06d2\u06d4<\/strong> \u0633\u0627\u0626\u0645\u0631 \u06a9\u06cc \u0628\u0646\u06cc\u0627\u062f 1986 \u0645\u06cc\u06ba \u0631\u06a9\u06be\u06cc \u06af\u0626\u06cc \u062a\u06be\u06cc \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0633\u06d2 2013 \u0645\u06cc\u06ba \u062d\u0627\u0635\u0644 \u06a9\u06cc\u0627 \u06af\u06cc\u0627 \u062a\u06be\u0627\u06d4 \u06cc\u06c1 27 \u0633\u0627\u0644 \u06a9\u0627 \u0633\u0641\u0631 \u06c1\u06d2\u06d4 \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0622\u0644\u0627\u062a \u06a9\u06cc \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0627\u06ba \u062c\u0644\u062f\u06cc \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u0628\u0646\u062a\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<h3 id=\"heading-inpria-reinventing-the-photoresist\">Inpria: Photoresist \u06a9\u0648 \u062f\u0648\u0628\u0627\u0631\u06c1 \u0627\u06cc\u062c\u0627\u062f \u06a9\u0631\u0646\u0627<\/h3>\n<p>Inpria \u067e\u0631\u0648\u0641\u06cc\u0633\u0631 \u0688\u06af\u0644\u0633 \u06a9\u06cc\u0633\u0644\u0631 \u06a9\u06cc \u062f\u06be\u0627\u062a\u06cc \u0622\u06a9\u0633\u0627\u0626\u06cc\u0688 \u067e\u062a\u0644\u06cc \u0641\u0644\u0645 \u06a9\u06cc \u062a\u062d\u0642\u06cc\u0642 \u067e\u0631 \u0645\u0628\u0646\u06cc 2007 \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u0648\u0631\u06cc\u06af\u0648\u0646 \u0627\u0633\u0679\u06cc\u0679 \u06cc\u0648\u0646\u06cc\u0648\u0631\u0633\u0679\u06cc \u0633\u06d2 \u0627\u0633\u067e\u0646 \u0622\u0641 \u06a9\u06d2 \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u0642\u0627\u0626\u0645 \u06a9\u06cc \u06af\u0626\u06cc \u062a\u06be\u06cc\u06d4 \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc \u06a9\u06cc \u06a9\u0644\u06cc\u062f\u06cc \u0628\u0635\u06cc\u0631\u062a \u06cc\u06c1 \u06c1\u06d2 \u06a9\u06c1 \u0631\u0648\u0627\u06cc\u062a\u06cc \u067e\u0648\u0644\u06cc\u0645\u0631 \u067e\u0631 \u0645\u0628\u0646\u06cc \u0641\u0648\u0679\u0648 \u0631\u06cc\u0632\u0679\u0633\u060c \u062c\u0648 \u062f\u06c1\u0627\u0626\u06cc\u0648\u06ba \u0633\u06d2 \u0627\u0646\u0688\u0633\u0679\u0631\u06cc \u06a9\u0627 \u0645\u0639\u06cc\u0627\u0631 \u0631\u06c1\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u0628\u0646\u06cc\u0627\u062f\u06cc \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 EUV \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06cc \u0636\u0631\u0648\u0631\u06cc\u0627\u062a \u06a9\u0648 \u067e\u0648\u0631\u0627 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06cc \u0635\u0644\u0627\u062d\u06cc\u062a \u0645\u06cc\u06ba \u0645\u062d\u062f\u0648\u062f \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p>EUV \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u067e\u0648\u0644\u06cc\u0645\u0631 \u0631\u06cc\u0632\u0633\u0679\u0633 \u06a9\u0627 \u0645\u0633\u0626\u0644\u06c1 \u0627\u0633\u0679\u0627\u06a9\u0633\u0679\u06a9 \u062a\u063a\u06cc\u0631 \u06c1\u06d2\u06d4 EUV \u0641\u0648\u0679\u0648\u0646\u0632 \u0645\u06cc\u06ba \u0628\u06c1\u062a \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u062a\u0648\u0627\u0646\u0627\u0626\u06cc\u0627\u06ba \u06c1\u0648\u062a\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u0627\u0648\u0631 \u062f\u06cc\u06d2 \u06af\u0626\u06d2 \u0686\u06be\u0648\u0679\u06d2 \u0645\u0632\u0627\u062d\u0645\u062a\u06cc \u0639\u0644\u0627\u0642\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba \u062c\u0630\u0628 \u06c1\u0648\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u0641\u0648\u0679\u0648\u0646\u0632 \u06a9\u06cc \u062a\u0639\u062f\u0627\u062f \u062a\u0635\u0627\u062f\u0641\u06cc \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u0645\u062e\u062a\u0644\u0641 \u06c1\u0648\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4 \u06cc\u06c1 \u0628\u06d2 \u062a\u0631\u062a\u06cc\u0628\u06cc \u0644\u0627\u0626\u0646 \u06a9\u06d2 \u06a9\u0646\u0627\u0631\u06d2 \u06a9\u06cc \u06a9\u06be\u0631\u062f\u0631\u06cc \u06a9\u0627 \u0633\u0628\u0628 \u0628\u0646\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4 \u0627\u0633 \u06a9\u0627 \u0645\u0637\u0644\u0628 \u06c1\u06d2 \u06a9\u06c1 \u0637\u0628\u0627\u0639\u062a \u0634\u062f\u06c1 \u062e\u0635\u0648\u0635\u06cc\u0627\u062a \u06a9\u06d2 \u06a9\u0646\u0627\u0631\u06d2 \u0628\u0627\u0644\u06a9\u0644 \u0633\u06cc\u062f\u06be\u06d2 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06c1\u0648\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u0644\u06cc\u06a9\u0646 \u0627\u0646 \u06a9\u06cc \u067e\u0631\u0648\u0641\u0627\u0626\u0644 \u0628\u06d2 \u062a\u0631\u062a\u06cc\u0628 \u06c1\u0648\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4 \u062c\u06cc\u0633\u06d2 \u062c\u06cc\u0633\u06d2 \u0641\u06cc\u0686\u0631 \u0633\u06a9\u0691\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u060c \u06cc\u06c1 \u06a9\u06be\u0631\u062f\u0631\u0627 \u067e\u0646 \u0641\u06cc\u0686\u0631 \u06a9\u06cc \u0686\u0648\u0691\u0627\u0626\u06cc \u06a9\u0627 \u0627\u06cc\u06a9 \u0628\u0691\u0627 \u062d\u0635\u06c1 \u0628\u0646 \u062c\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u060c \u0628\u0627\u0644\u0622\u062e\u0631 \u06a9\u0645 \u0627\u0632 \u06a9\u0645 \u067e\u0631\u0646\u0679 \u0627\u06cc\u0628\u0644 \u0641\u06cc\u0686\u0631 \u0633\u0627\u0626\u0632 \u06a9\u0648 \u0645\u062d\u062f\u0648\u062f \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0627\u0646\u067e\u0631\u06cc\u0627 \u06a9\u0627 \u0645\u06cc\u0679\u0644 \u0622\u06a9\u0633\u0627\u0626\u06cc\u0688 \u06c1\u0627\u0641\u0646\u06cc\u0645 \u0622\u06a9\u0633\u0627\u0626\u06cc\u0688 \u067e\u0631 \u0645\u0628\u0646\u06cc \u0645\u0632\u0627\u062d\u0645\u062a \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2 \u0627\u0648\u0631 \u0632\u0631\u06a9\u0648\u0646\u06cc\u0645 \u0622\u06a9\u0633\u0627\u0626\u06cc\u0688 \u0646\u06cc\u0646\u0648 \u067e\u0627\u0631\u0679\u06cc\u06a9\u0644\u0632 \u067e\u0648\u0644\u06cc\u0645\u0631 \u0631\u06cc\u0632\u0633\u0679 \u06a9\u06d2 \u0645\u0642\u0627\u0628\u0644\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba EUV \u0641\u0648\u0679\u0627\u0646 \u06a9\u0648 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u0645\u0624\u062b\u0631 \u0637\u0631\u06cc\u0642\u06d2 \u0633\u06d2 \u062c\u0630\u0628 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u0627\u0633\u0679\u0627\u06a9\u0633\u0679\u06a9 \u062a\u0628\u062f\u06cc\u0644\u06cc\u0648\u06ba \u06a9\u0648 \u06a9\u0645 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba \u0627\u0648\u0631 \u0641\u06cc\u0686\u0631 \u06a9\u0646\u0627\u0631\u0648\u06ba \u06a9\u0648 \u062a\u06cc\u0632 \u062a\u0631 \u0628\u0646\u0627\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u0631\u06cc\u0632\u0633\u0679 \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u06cc\u0646\u0686 \u0645\u0632\u0627\u062d\u0645\u062a \u0628\u06be\u06cc \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u06c1\u0648\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u060c \u067e\u06cc\u0679\u0631\u0646 \u06a9\u06cc \u0645\u0646\u062a\u0642\u0644\u06cc \u06a9\u06d2 \u0639\u0645\u0644 \u06a9\u0648 \u0622\u0633\u0627\u0646 \u0628\u0646\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0644\u06cc\u0628\u0627\u0631\u0679\u0631\u06cc \u06a9\u06d2 \u0645\u0638\u0627\u06c1\u0631\u06d2 \u0633\u06d2 \u0644\u06d2 \u06a9\u0631 \u067e\u0631\u0648\u0688\u06a9\u0634\u0646 \u0633\u0631\u0679\u06cc\u0641\u06cc\u06a9\u06cc\u0634\u0646 \u062a\u06a9 10 \u0633\u0627\u0644 \u0633\u06d2 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u06a9\u0627 \u0639\u0631\u0635\u06c1 \u0644\u06af\u0627\u06d4 Inpria \u06a9\u0648 \u0646\u0626\u06d2 \u0645\u0648\u0627\u062f \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0645\u06cc\u0646\u0648\u0641\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0646\u06af \u06a9\u0627 \u0639\u0645\u0644 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631\u0646\u0627 \u062a\u06be\u0627\u060c \u0686\u067e \u0645\u06cc\u06a9\u0631 \u06a9\u06d2 \u0645\u0648\u062c\u0648\u062f\u06c1 \u0639\u0645\u0644 \u06a9\u06d2 \u0628\u06c1\u0627\u0624 \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be \u0645\u0637\u0627\u0628\u0642\u062a \u06a9\u0627 \u0645\u0638\u0627\u06c1\u0631\u06c1 \u06a9\u0631\u0646\u0627 \u062a\u06be\u0627\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0644\u0627\u06a9\u06be\u0648\u06ba \u0648\u06cc\u0641\u0631\u0632 \u06a9\u06cc \u0646\u0645\u0627\u0626\u0634 \u067e\u0631 \u0628\u06be\u0631\u0648\u0633\u06c1 \u0645\u0646\u062f\u06cc \u06a9\u0627 \u0645\u0638\u0627\u06c1\u0631\u06c1 \u06a9\u0631\u0646\u0627 \u062a\u06be\u0627\u06d4<\/p>\n<p>\u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc \u06a9\u0648 JSR \u06a9\u0627\u0631\u067e\u0648\u0631\u06cc\u0634\u0646 (\u0627\u06cc\u06a9 \u0628\u0691\u06cc \u062c\u0627\u067e\u0627\u0646\u06cc \u06a9\u06cc\u0645\u06cc\u06a9\u0644 \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc) \u0646\u06d2 2021 \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u0646\u0679\u06cc\u0644 \u06a9\u06cc\u067e\u0679\u0644 \u0627\u0648\u0631 \u0633\u0627\u0645 \u0633\u0646\u06af \u0648\u06cc\u0646\u0686\u0631\u0632 \u0633\u0645\u06cc\u062a \u0633\u0631\u0645\u0627\u06cc\u06c1 \u06a9\u0627\u0631\u0648\u06ba \u0633\u06d2 \u0648\u06cc\u0646\u0686\u0631 \u0641\u0646\u0688\u0632 \u0645\u06cc\u06ba $50 \u0645\u0644\u06cc\u0646 \u0633\u06d2 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u0627\u06a9\u0679\u06be\u0627 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0628\u0639\u062f \u062d\u0627\u0635\u0644 \u06a9\u06cc\u0627 \u062a\u06be\u0627\u060c \u0645\u0628\u06cc\u0646\u06c1 \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u0633\u06cc\u0646\u06a9\u0691\u0648\u06ba \u0645\u0644\u06cc\u0646 \u0688\u0627\u0644\u0631\u0632 \u0645\u06cc\u06ba \u0646\u0627\u0645\u0639\u0644\u0648\u0645 \u0631\u0642\u0645 \u06a9\u06d2 \u0639\u0648\u0636\u06d4<\/p>\n<p>Inpria \u06a9\u06cc \u0645\u0632\u0627\u062d\u0645\u062a\u06cc\u06ba \u0641\u06cc \u0627\u0644\u062d\u0627\u0644 TSMC\u060c Samsung\u060c \u0627\u0648\u0631 Intel \u06a9\u06d2 \u0630\u0631\u06cc\u0639\u06d2 \u062c\u062f\u06cc\u062f EUV \u0646\u0648\u0688\u0633 \u06a9\u06cc \u062a\u06cc\u0627\u0631\u06cc \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06c1\u0648\u062a\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc \u06a9\u06cc \u06a9\u0627\u0645\u06cc\u0627\u0628\u06cc \u06cc\u06c1 \u0638\u0627\u06c1\u0631 \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u06c1\u06d2 \u06a9\u06c1 \u0641\u0648\u0679\u0648 \u0631\u06cc\u0632\u0633\u0679 \u06a9\u06d2 \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u067e\u062e\u062a\u06c1 \u0641\u06cc\u0644\u0688 \u0645\u06cc\u06ba \u0628\u06be\u06cc\u060c \u0627\u06af\u0631 \u0645\u0648\u0627\u062f \u06a9\u06cc \u062c\u062f\u062a \u062d\u0642\u06cc\u0642\u06cc \u062a\u06a9\u0646\u06cc\u06a9\u06cc \u0631\u06a9\u0627\u0648\u0679\u0648\u06ba \u06a9\u0648 \u062d\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u06c1\u06d2 \u062a\u0648 \u0648\u06c1 \u0632\u0628\u0631\u062f\u0633\u062a \u0642\u062f\u0631 \u067e\u06cc\u062f\u0627 \u06a9\u0631 \u0633\u06a9\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<h3 id=\"heading-d2s-gpu-accelerated-mask-writing\">D2S: GPU- \u0627\u06cc\u06a9\u0633\u0644\u0631\u06cc\u0679\u0688 \u0645\u0627\u0633\u06a9 \u062a\u062d\u0631\u06cc\u0631<\/h3>\n<p>D2S (\u0688\u06cc\u0632\u0627\u0626\u0646 \u0679\u0648 \u0633\u0644\u06cc\u06a9\u0648\u0646) \u06a9\u06cc \u0628\u0646\u06cc\u0627\u062f 2007 \u0645\u06cc\u06ba EDA \u0627\u0646\u0688\u0633\u0679\u0631\u06cc \u06a9\u06d2 \u062a\u062c\u0631\u0628\u06c1 \u06a9\u0627\u0631 Aki Fujimura \u0646\u06d2 \u0631\u06a9\u06be\u06cc \u062a\u06be\u06cc\u06d4 \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc \u06a9\u06cc \u062a\u0648\u062c\u06c1 GPU \u06a9\u0645\u067e\u06cc\u0648\u0679\u0646\u06af \u06a9\u06d2 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u067e\u0631 \u0645\u0631\u06a9\u0648\u0632 \u06c1\u06d2 \u062a\u0627\u06a9\u06c1 \u062c\u062f\u06cc\u062f \u0645\u0627\u0633\u06a9 \u0631\u0627\u0626\u0679\u0646\u06af \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u062f\u0631\u06a9\u0627\u0631 \u06a9\u0645\u067e\u06cc\u0648\u0679\u06cc\u0634\u0646\u0644 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0648\u0631\u06a9 \u0641\u0644\u0648 \u06a9\u0648 \u062a\u06cc\u0632 \u06a9\u06cc\u0627 \u062c\u0627 \u0633\u06a9\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>D2S \u062c\u0648 \u0645\u0633\u0626\u0644\u06c1 \u062d\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2 \u0648\u06c1 \u06c1\u06d2 \u0645\u062a\u063a\u06cc\u0631 \u0628\u06cc\u0645 (VSB) \u0645\u0627\u0633\u06a9 \u0644\u06a9\u06be\u0646\u06d2 \u06a9\u06cc \u06a9\u0645\u067e\u06cc\u0648\u0679\u06cc\u0634\u0646\u0644 \u0644\u0627\u06af\u062a\u06d4 \u062c\u06cc\u0633\u06d2 \u062c\u06cc\u0633\u06d2 \u0686\u067e \u0688\u06cc\u0632\u0627\u0626\u0646 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u067e\u06cc\u0686\u06cc\u062f\u06c1 \u06c1\u0648\u062a\u06d2 \u062c\u0627\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba \u0627\u0648\u0631 \u0641\u06cc\u0686\u0631 \u0633\u0627\u0626\u0632 \u0633\u06a9\u0691\u062a\u06d2 \u062c\u0627\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u0645\u0627\u0633\u06a9 \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u062f\u0631\u06a9\u0627\u0631 \u0634\u0627\u0679\u0633 \u06a9\u06cc \u062a\u0639\u062f\u0627\u062f \u0688\u0631\u0627\u0645\u0627\u0626\u06cc \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u0628\u0691\u06be \u062c\u0627\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u060c \u062c\u062f\u06cc\u062f \u062a\u0631\u06cc\u0646 \u0688\u06cc\u0632\u0627\u0626\u0646 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0627\u0631\u0628\u0648\u06ba \u0633\u06d2 \u0679\u0631\u06cc\u0644\u06cc\u0646 \u0634\u0627\u0679\u0633 \u062a\u06a9\u06d4 \u0627\u0644\u06cc\u06a9\u0679\u0631\u0627\u0646 \u0628\u06cc\u0645 \u06a9\u06d2 \u0642\u0631\u0628\u062a \u06a9\u06d2 \u0627\u062b\u0631\u0627\u062a\u060c \u0645\u0632\u0627\u062d\u0645\u062a\u06cc \u06a9\u06cc\u0645\u0633\u0679\u0631\u06cc\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0645\u0637\u0644\u0648\u0628\u06c1 \u062d\u062a\u0645\u06cc \u067e\u06cc\u0679\u0631\u0646 \u06a9\u0648 \u0645\u062f\u0646\u0638\u0631 \u0631\u06a9\u06be\u062a\u06d2 \u06c1\u0648\u0626\u06d2 \u06c1\u0631 \u0634\u0627\u0679 \u06a9\u0627 \u062f\u0631\u0633\u062a \u062d\u0633\u0627\u0628 \u0644\u06af\u0627\u06cc\u0627 \u062c\u0627\u0646\u0627 \u0686\u0627\u06c1\u06cc\u06d2\u06d4 \u062d\u0633\u0627\u0628 \u06a9\u06cc \u0645\u0637\u0644\u0648\u0628\u06c1 \u0645\u0642\u062f\u0627\u0631 \u0628\u06c1\u062a \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>D2S \u0646\u06d2 GPU- \u0627\u06cc\u06a9\u0633\u0644\u0631\u06cc\u0679\u0688 \u0627\u0644\u06af\u0648\u0631\u062a\u06be\u0645 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u06cc\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba \u062c\u0648 CPU \u067e\u0631 \u0645\u0628\u0646\u06cc \u0637\u0631\u06cc\u0642\u0648\u06ba \u0633\u06d2 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u062a\u06cc\u0632\u06cc \u0633\u06d2 \u0627\u0646 \u062d\u0633\u0627\u0628\u0627\u062a \u06a9\u0648 \u0627\u0646\u062c\u0627\u0645 \u062f\u06d2 \u0633\u06a9\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc \u06a9\u06cc \u0679\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc \u0645\u0627\u0633\u06a9 \u0644\u06a9\u06be\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0648\u0642\u062a \u06a9\u0648 \u062f\u0646\u0648\u06ba \u0633\u06d2 \u06af\u06be\u0646\u0679\u0648\u06ba \u062a\u06a9 \u06a9\u0645 \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u060c \u0688\u06cc\u0632\u0627\u0626\u0646 \u06a9\u06cc \u062a\u06a9\u0631\u0627\u0631 \u06a9\u0648 \u062a\u06cc\u0632 \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u06c1\u06d2 \u0627\u0648\u0631 \u0645\u0627\u0633\u06a9 \u06a9\u06cc \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631\u06cc \u0644\u0627\u06af\u062a \u06a9\u0648 \u06a9\u0645 \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u062f\u0646\u06cc\u0627 \u0628\u06be\u0631 \u0645\u06cc\u06ba \u0645\u0627\u0633\u06a9 \u0627\u0633\u0679\u0648\u0631\u0632 \u0627\u0648\u0631 \u0686\u067e \u0645\u06cc\u0646\u0648\u0641\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0631\u0632 \u06a9\u0648 \u0633\u0627\u0641\u0679 \u0648\u06cc\u0626\u0631 \u0628\u06cc\u0686 \u06a9\u0631 D2S \u0645\u0633\u0644\u0633\u0644 \u062a\u0631\u0642\u06cc \u06a9\u0631 \u0631\u06c1\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc \u062e\u0648\u062f \u0645\u062e\u062a\u0627\u0631 \u0631\u06c1\u06cc\u060c \u0627\u0633 \u0646\u06d2 \u0627\u0628\u062a\u062f\u0627\u0626\u06cc \u062d\u0635\u0648\u0644 \u06a9\u0648 \u0622\u06af\u06d2 \u0628\u0691\u06be\u0627\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0628\u062c\u0627\u0626\u06d2 \u0627\u06cc\u06a9 \u067e\u0627\u0626\u06cc\u062f\u0627\u0631 \u0633\u0627\u0641\u0679 \u0648\u06cc\u0626\u0631 \u06a9\u0627\u0631\u0648\u0628\u0627\u0631 \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u06a9\u0627 \u0627\u0646\u062a\u062e\u0627\u0628 \u06a9\u06cc\u0627\u06d4<\/p>\n<p>\u06cc\u06c1 \u06a9\u0627\u0645\u06cc\u0627\u0628\u06cc \u0638\u0627\u06c1\u0631 \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u06c1\u06d2 \u06a9\u06c1 \u0633\u0627\u0641\u0679 \u0648\u06cc\u0626\u0631 \u067e\u0631 \u0645\u0631\u06a9\u0648\u0632 \u0627\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e\u0633 \u06c1\u0627\u0631\u0688 \u0648\u06cc\u0626\u0631 \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0648\u06ba \u06a9\u06cc \u0633\u0631\u0645\u0627\u0626\u06d2 \u06a9\u06cc \u0636\u0631\u0648\u0631\u06cc\u0627\u062a \u06a9\u06d2 \u0628\u063a\u06cc\u0631 \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0622\u0644\u0627\u062a \u06a9\u06d2 \u0645\u0627\u062d\u0648\u0644\u06cc\u0627\u062a\u06cc \u0646\u0638\u0627\u0645 \u0645\u06cc\u06ba \u067e\u0627\u0626\u06cc\u062f\u0627\u0631 \u06a9\u0627\u0631\u0648\u0628\u0627\u0631 \u0628\u0646\u0627 \u0633\u06a9\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<h2 id=\"heading-the-economics-of-lithography-understanding-the-numbers\">\u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06cc \u0627\u0642\u062a\u0635\u0627\u062f\u06cc\u0627\u062a: \u0646\u0645\u0628\u0631\u0648\u06ba \u06a9\u0648 \u0633\u0645\u062c\u06be\u0646\u0627<\/h2>\n<h3 id=\"heading-the-cost-of-a-leading-edge-fab\">\u0627\u06cc\u06a9 \u062c\u062f\u06cc\u062f \u062a\u0631\u06cc\u0646 \u0641\u06cc\u0628 \u06a9\u06cc \u0642\u06cc\u0645\u062a<\/h3>\n<p>\u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06d2 \u0622\u0644\u0627\u062a \u06a9\u06cc \u0645\u0639\u0627\u0634\u06cc\u0627\u062a \u06a9\u0648 \u0633\u0645\u062c\u06be\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2\u060c \u06cc\u06c1 \u062c\u062f\u06cc\u062f \u062a\u0631\u06cc\u0646 \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0645\u06cc\u0646\u0648\u0641\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0646\u06af \u067e\u0644\u0627\u0646\u0679 \u06a9\u06cc \u0645\u0639\u0627\u0634\u06cc\u0627\u062a \u06a9\u0648 \u0633\u0645\u062c\u06be\u0646\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba \u0645\u062f\u062f \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 \u062a\u0642\u0631\u06cc\u0628\u0627\u064b 20 \u0628\u0644\u06cc\u0646 \u0633\u06d2 25 \u0628\u0644\u06cc\u0646 \u0688\u0627\u0644\u0631 \u06a9\u06cc \u0644\u0627\u06af\u062a \u0622\u0626\u06d2 \u06af\u06cc \u0627\u06cc\u06a9 \u0646\u0626\u06d2 \u0641\u06cc\u0628 \u06a9\u0648 \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u0627\u0648\u0631 \u0644\u06cc\u0633 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u062c\u0648 3 nm \u0645\u06cc\u06ba \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0642\u0627\u0628\u0644 \u06c1\u06d2\u06d4 \u0627\u0633 \u0645\u06cc\u06ba \u0633\u06d2\u060c \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u0627 \u0633\u0627\u0645\u0627\u0646 \u062a\u0642\u0631\u06cc\u0628\u0627\u064b 25 \u0633\u06d2 30 \u0641\u06cc\u0635\u062f\u060c \u06cc\u0627 $5 \u0628\u0644\u06cc\u0646 \u0633\u06d2 $7.5 \u0628\u0644\u06cc\u0646 \u0641\u06cc \u0641\u06cc\u0628 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0627\u06cc\u06a9 \u0639\u0627\u0645 \u0633\u0679\u06cc\u0679 \u0622\u0641 \u062f\u06cc \u0622\u0631\u0679 \u0641\u06cc\u0628 \u0645\u06cc\u06ba \u0634\u0627\u0645\u0644 \u06c1\u0648 \u0633\u06a9\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba:<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p>10-15 EUV \u0633\u06a9\u06cc\u0646\u0631 (~\\(380 \u0645\u0644\u06cc\u0646 \u06c1\u0631 \u0627\u06cc\u06a9): \\)3.8-5.7 \u0628\u0644\u06cc\u0646<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>30~50 DUV \u0639\u0645\u06cc\u0642 \u0633\u06a9\u06cc\u0646\u0631\u0632 (~\\(60~80M \u06c1\u0631): \\)1.8~4 \u0628\u0644\u06cc\u0646<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>20~40 DUV \u0688\u0631\u0627\u0626\u06cc \u0633\u06a9\u06cc\u0646\u0631 (~\\(20~40M) \u06c1\u0631 \u0627\u06cc\u06a9: \\)400 \u0645\u0644\u06cc\u0646~1.6 \u0628\u0644\u06cc\u0646<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u06cc\u06c1 \u0627\u0639\u062f\u0627\u062f \u0648 \u0634\u0645\u0627\u0631 \u0628\u062a\u0627\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba \u06a9\u06c1 \u06a9\u06cc\u0648\u06ba ASML \u06a9\u0627 \u0622\u0631\u0688\u0631 \u0628\u06cc\u06a9 \u0644\u0627\u06af \u0628\u0627\u0642\u0627\u0639\u062f\u06af\u06cc \u0633\u06d2 \u20ac30 \u0628\u0644\u06cc\u0646 \u0633\u06d2 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u06c1\u06d2\u06d4 \u0627\u06cc\u06a9 \u0646\u06cc\u0627 \u0641\u06cc\u0628 \u0627\u0631\u0628\u0648\u06ba \u0688\u0627\u0644\u0631 \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u0632\u0648\u0633\u0627\u0645\u0627\u0646 \u06a9\u06d2 \u0622\u0631\u0688\u0631\u0632 \u06a9\u06cc \u0646\u0645\u0627\u0626\u0646\u062f\u06af\u06cc \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u060c \u0627\u0648\u0631 \u062f\u0646\u06cc\u0627 \u0628\u06be\u0631 \u0645\u06cc\u06ba \u0628\u06cc\u06a9 \u0648\u0642\u062a \u0645\u062a\u0639\u062f\u062f \u0641\u06cc\u0628 \u0632\u06cc\u0631 \u062a\u0639\u0645\u06cc\u0631 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<h3 id=\"heading-the-economics-of-euv-ownership\">EUV \u0645\u0644\u06a9\u06cc\u062a \u06a9\u06cc \u0645\u0639\u0627\u0634\u06cc\u0627\u062a<\/h3>\n<p>EUV \u0633\u06a9\u06cc\u0646\u0631 \u0646\u06c1 \u0635\u0631\u0641 \u062e\u0631\u06cc\u062f\u0646\u0627 \u0628\u0644\u06a9\u06c1 \u0686\u0644\u0627\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0628\u06be\u06cc \u0645\u06c1\u0646\u06af\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 \u06a9\u0644\u06cc\u062f\u06cc \u0644\u0627\u06af\u062a \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u0688\u0631\u0627\u0626\u06cc\u0648\u0631\u0648\u06ba \u0645\u06cc\u06ba \u0634\u0627\u0645\u0644 \u06c1\u06cc\u06ba:<\/p>\n<p><strong>\u062a\u0627\u062b\u06cc\u0631<\/strong>: EUV \u0627\u0633\u06a9\u06cc\u0646\u0631\u0632 \u062c\u0648 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u0686\u0644\u062a\u06d2 \u0648\u06c1 \u0622\u0645\u062f\u0646\u06cc \u067e\u06cc\u062f\u0627 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u0686\u067e \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 EUV \u0633\u0633\u0679\u0645\u0632 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 90% \u0633\u06d2 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u06a9\u06cc \u062f\u0633\u062a\u06cc\u0627\u0628\u06cc \u06a9\u06cc \u0634\u0631\u062d\u0648\u06ba \u06a9\u0648 \u06c1\u062f\u0641 \u0628\u0646\u0627 \u0631\u06c1\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u0627\u0633\u06d2 \u062d\u0627\u0635\u0644 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0646\u0641\u06cc\u0633 \u067e\u06cc\u0634\u0646 \u06af\u0648\u0626\u06cc \u06a9\u06cc \u062f\u06cc\u06a9\u06be \u0628\u06be\u0627\u0644\u060c \u062a\u06cc\u0632 \u0631\u0641\u062a\u0627\u0631 \u0627\u0633\u067e\u06cc\u0626\u0631 \u067e\u0627\u0631\u0679\u0633 \u06a9\u06cc \u062f\u0633\u062a\u06cc\u0627\u0628\u06cc\u060c \u0627\u0648\u0631 ASML \u06a9\u06d2 \u0633\u0631\u0648\u0633 \u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631\u0632 \u0627\u0648\u0631 chipmaker \u06a9\u06cc \u0622\u067e\u0631\u06cc\u0634\u0646\u0632 \u0679\u06cc\u0645 \u06a9\u06d2 \u062f\u0631\u0645\u06cc\u0627\u0646 \u0642\u0631\u06cc\u0628\u06cc \u062a\u0639\u0627\u0648\u0646 \u06a9\u06cc \u0636\u0631\u0648\u0631\u062a \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p><strong>\u0642\u0627\u0628\u0644 \u062e\u0631\u0686<\/strong>: EUV \u0633\u0633\u0679\u0645 \u06a9\u0627\u0641\u06cc \u0645\u0642\u062f\u0627\u0631 \u0645\u06cc\u06ba \u0679\u0646 (\u0631\u0648\u0634\u0646\u06cc \u06a9\u06d2 \u0630\u0631\u0627\u0626\u0639 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2)\u060c \u06af\u06cc\u0633 \u06a9\u06cc \u0635\u0641\u0627\u0626\u06cc \u0627\u0648\u0631 \u062f\u06cc\u06af\u0631 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u06cc \u0627\u0634\u06cc\u0627\u0621 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u0646\u0638\u0627\u0645 \u06a9\u06cc \u0632\u0646\u062f\u06af\u06cc \u06a9\u06d2 \u062f\u0648\u0631\u0627\u0646 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u06cc \u0627\u0634\u06cc\u0627\u0621 \u06a9\u06cc \u0642\u06cc\u0645\u062a \u062e\u0631\u06cc\u062f\u0627\u0631\u06cc \u06a9\u06cc \u0642\u06cc\u0645\u062a \u062a\u06a9 \u067e\u06c1\u0646\u0686 \u0633\u06a9\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p><strong>\u0631\u06cc\u0679\u06cc\u06a9\u0644 \u0644\u0627\u06af\u062a<\/strong>: EUV \u0631\u06cc\u0679\u06cc\u06a9\u0644\u0632 DUV \u0631\u06cc\u0679\u06cc\u06a9\u0644\u0632 \u06a9\u06d2 \u0645\u0642\u0627\u0628\u0644\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba \u0646\u0645\u0627\u06cc\u0627\u06ba \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u0645\u06c1\u0646\u06af\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba \u06a9\u06cc\u0648\u0646\u06a9\u06c1 \u0627\u0646 \u06a9\u06cc \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u0645\u0637\u0644\u0648\u0628\u06c1 \u0648\u0636\u0627\u062d\u062a\u06cc\u06ba \u0627\u0648\u0631 EUV \u0645\u062e\u0635\u0648\u0635 \u067e\u06cc\u0644\u06cc\u06a9\u0644\u0632 \u0627\u0648\u0631 \u067e\u0631\u0648\u0633\u06cc\u0633\u0646\u06af \u0622\u0644\u0627\u062a \u06a9\u06cc \u0636\u0631\u0648\u0631\u062a \u06c1\u06d2\u06d4 \u0627\u06cc\u06a9 \u067e\u06cc\u0686\u06cc\u062f\u06c1 \u0686\u067e \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0627\u06cc\u06a9 \u0648\u0627\u062d\u062f EUV \u0631\u06cc\u0679\u06cc\u06a9\u0644 \u0633\u06cc\u0679 \u06a9\u06cc \u0644\u0627\u06af\u062a $500,000 \u0627\u0648\u0631 $1 \u0645\u0644\u06cc\u0646 \u06a9\u06d2 \u062f\u0631\u0645\u06cc\u0627\u0646 \u06c1\u0648\u0633\u06a9\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p><strong>\u062a\u0648\u0627\u0646\u0627\u0626\u06cc<\/strong>: EUV \u0633\u0633\u0679\u0645\u0632 \u0628\u062c\u0644\u06cc \u06a9\u06cc \u0627\u06cc\u06a9 \u0628\u0691\u06cc \u0645\u0642\u062f\u0627\u0631 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u062a\u0642\u0631\u06cc\u0628\u0627\u064b 1MW \u0641\u06cc \u0633\u0633\u0679\u0645\u06d4 \u067e\u06cc\u0645\u0627\u0646\u06d2 \u067e\u0631 \u0645\u0646\u062d\u0635\u0631 \u06c1\u06d2\u060c \u062a\u0648\u0627\u0646\u0627\u0626\u06cc \u06a9\u06d2 \u0627\u062e\u0631\u0627\u062c\u0627\u062a \u0627\u06cc\u06a9 \u0627\u06c1\u0645 \u0622\u067e\u0631\u06cc\u0679\u0646\u06af \u0644\u0627\u06af\u062a \u06a9\u06cc \u0646\u0645\u0627\u0626\u0646\u062f\u06af\u06cc \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p>EUV \u0633\u0633\u0679\u0645 \u06a9\u06d2 \u0622\u067e\u0631\u06cc\u0634\u0646\u0644 \u0644\u0627\u0626\u0641 \u0679\u0627\u0626\u0645 \u06a9\u06d2 \u062f\u0648\u0631\u0627\u0646 \u0645\u0644\u06a9\u06cc\u062a \u06a9\u06cc \u06a9\u0644 \u0644\u0627\u06af\u062a (TCO) \u0639\u0627\u0645 \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u062e\u0631\u06cc\u062f\u0627\u0631\u06cc \u06a9\u06cc \u0642\u06cc\u0645\u062a \u0633\u06d2 \u062f\u0648 \u0633\u06d2 \u062a\u06cc\u0646 \u06af\u0646\u0627 \u06c1\u0648\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4 \u0627\u0633 \u06a9\u0627 \u0645\u0637\u0644\u0628 \u06c1\u06d2 \u06a9\u06c1 EUV \u0627\u0633\u06a9\u06cc\u0646\u0631 \u06a9\u06cc \u0627\u0635\u0644 \u0642\u06cc\u0645\u062a \u0627\u0633 \u06a9\u06cc \u0632\u0646\u062f\u06af\u06cc \u0628\u06be\u0631 \u0645\u06cc\u06ba $750 \u0645\u0644\u06cc\u0646 \u0633\u06d2 $1 \u0628\u0644\u06cc\u0646 \u062a\u06a9 \u06c1\u0648\u0633\u06a9\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4 TCO \u06a9\u0648 \u0633\u0645\u062c\u06be\u0646\u0627 \u0686\u067e \u0633\u0627\u0632\u0648\u06ba \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0633\u0631\u0645\u0627\u06cc\u06c1 \u0645\u062e\u062a\u0635 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0641\u06cc\u0635\u0644\u06d2 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0636\u0631\u0648\u0631\u06cc \u06c1\u06d2 \u0627\u0648\u0631 TCO \u0645\u0633\u0627\u0648\u0627\u062a \u06a9\u06d2 \u062a\u0645\u0627\u0645 \u0627\u062c\u0632\u0627\u0621 \u06a9\u0648 \u06a9\u0645 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0627\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e\u0633 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0645\u0648\u0627\u0642\u0639 \u067e\u06cc\u062f\u0627 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<h3 id=\"heading-the-yield-equation\">\u0648\u0627\u067e\u0633\u06cc \u06a9\u06cc \u0645\u0633\u0627\u0648\u0627\u062a \u06a9\u06cc \u0634\u0631\u062d<\/h3>\n<p>\u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631\u060c \u0648\u06cc\u0641\u0631\u0632 \u067e\u0631 \u0686\u067e\u0633 \u06a9\u0627 \u0641\u06cc\u0635\u062f \u062c\u0648 \u062a\u0635\u0631\u06cc\u062d\u0627\u062a \u067e\u0631 \u067e\u0648\u0631\u0627 \u0627\u062a\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u060c \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0645\u06cc\u0646\u0648\u0641\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0646\u06af \u0645\u06cc\u06ba \u0633\u0628 \u0633\u06d2 \u0627\u06c1\u0645 \u0627\u0642\u062a\u0635\u0627\u062f\u06cc \u062a\u063a\u06cc\u0631 \u06c1\u06d2\u06d4 \u0645\u06a9\u0645\u0644 \u0635\u0644\u0627\u062d\u06cc\u062a \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be \u06a9\u0627\u0645 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u062c\u062f\u06cc\u062f \u062a\u0631\u06cc\u0646 \u0641\u06cc\u0628 \u0645\u06cc\u06ba 1% \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u0645\u06cc\u06ba \u0628\u06c1\u062a\u0631\u06cc \u06a9\u06d2 \u0646\u062a\u06cc\u062c\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba $100 \u0645\u0644\u06cc\u0646 \u0633\u06d2 $500 \u0645\u0644\u06cc\u0646 \u0627\u0636\u0627\u0641\u06cc \u0622\u0645\u062f\u0646\u06cc \u0633\u0627\u0644\u0627\u0646\u06c1 \u06c1\u0648 \u0633\u06a9\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u0626\u06cc \u0637\u0631\u06cc\u0642\u0648\u06ba \u0633\u06d2 \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u0645\u06cc\u06ba \u062d\u0635\u06c1 \u0688\u0627\u0644\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p><strong>\u06a9\u0631\u06cc\u0679\u06cc\u06a9\u0644 \u0688\u0627\u0626\u0645\u06cc\u0646\u0634\u0646 (\u0633\u06cc \u0688\u06cc) \u06a9\u0646\u0679\u0631\u0648\u0644<\/strong>: \u0627\u06af\u0631 \u0637\u0628\u0627\u0639\u062a \u0634\u062f\u06c1 \u062c\u06cc\u0648\u0645\u06cc\u0679\u0631\u06cc \u0628\u06c1\u062a \u0686\u0648\u0691\u06cc \u06cc\u0627 \u0628\u06c1\u062a \u062a\u0646\u06af \u06c1\u06d2 \u062a\u0648\u060c \u0679\u0631\u0627\u0646\u0632\u0633\u0679\u0631 \u0679\u06be\u06cc\u06a9 \u0633\u06d2 \u06a9\u0627\u0645 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06a9\u0631 \u0633\u06a9\u062a\u0627\u06d4 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u067e\u0648\u0631\u06d2 \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u0627\u0648\u0631 \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u0633\u06d2 \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u062a\u06a9 \u0633\u062e\u062a \u0633\u06cc \u0688\u06cc \u06a9\u0646\u0679\u0631\u0648\u0644 \u0636\u0631\u0648\u0631\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p><strong>\u0686\u0627\u062f\u0631<\/strong>: \u0627\u06af\u0631 \u0644\u06af\u0627\u062a\u0627\u0631 \u062a\u06c1\u0648\u06ba \u06a9\u0648 \u063a\u0644\u0637 \u0637\u0631\u06cc\u0642\u06d2 \u0633\u06d2 \u062c\u0648\u0691 \u062f\u06cc\u0627 \u062c\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2 \u062a\u0648 \u062a\u06c1\u0648\u06ba \u06a9\u06d2 \u062f\u0631\u0645\u06cc\u0627\u0646 \u062a\u0639\u0644\u0642 \u0679\u0648\u0679 \u0633\u06a9\u062a\u0627 \u06c1\u06d2 \u06cc\u0627 \u0634\u0627\u0631\u0679 \u0633\u0631\u06a9\u06cc\u0679 \u06c1\u0648 \u0633\u06a9\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 \u0627\u0648\u0648\u0631\u0644\u06d2 \u06a9\u06cc \u063a\u0644\u0637\u06cc\u0627\u06ba \u0627\u06cc\u0688\u0648\u0627\u0646\u0633 \u0686\u067e\u0633 \u0645\u06cc\u06ba \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u06a9\u06d2 \u0646\u0642\u0635\u0627\u0646 \u06a9\u06cc \u0627\u06cc\u06a9 \u0628\u0691\u06cc \u0648\u062c\u06c1 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p><strong>\u0639\u06cc\u0628<\/strong>: \u0686\u067e \u06a9\u0648 \u0646\u0642\u0635\u0627\u0646 \u067e\u06c1\u0646\u0686\u0627\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u0646\u0642\u0627\u0626\u0635 \u0644\u06cc\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06d2 \u0639\u0645\u0644 \u06a9\u06d2 \u062f\u0648\u0631\u0627\u0646 \u067e\u06cc\u062f\u0627 \u06c1\u0648\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u0630\u0631\u0627\u062a\u060c \u062e\u0631\u0648\u06ba\u0686 \u0627\u0648\u0631 \u06a9\u06cc\u0645\u06cc\u0627\u0626\u06cc \u0622\u0644\u0648\u062f\u06af\u06cc \u06a9\u06cc \u0648\u062c\u06c1 \u0633\u06d2 \u06c1\u0648 \u0633\u06a9\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u0639\u06cc\u0628 \u06a9\u06cc \u06a9\u062b\u0627\u0641\u062a \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06d2 \u0639\u0645\u0644 \u06a9\u06d2 \u0645\u0639\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0627 \u0627\u06cc\u06a9 \u0627\u06c1\u0645 \u0627\u0634\u0627\u0631\u06c1 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p><strong>\u0644\u0627\u0626\u0646 \u0627\u06cc\u062c \u06a9\u06be\u0631\u062f\u0631\u06cc (LER)<\/strong>: \u06a9\u06be\u0631\u062f\u0631\u06d2 \u06c1\u0646\u062f\u0633\u06cc \u06a9\u0646\u0627\u0631\u06d2 \u0679\u0631\u0627\u0646\u062c\u0633\u0679\u0631 \u06a9\u06cc \u06a9\u0627\u0631\u06a9\u0631\u062f\u06af\u06cc \u0645\u06cc\u06ba \u062a\u063a\u06cc\u0631\u0627\u062a \u06a9\u0627 \u0628\u0627\u0639\u062b \u0628\u0646\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u0633\u0646\u06af\u06cc\u0646 \u0646\u0642\u0627\u0626\u0635 \u06a9\u06cc \u0639\u062f\u0645 \u0645\u0648\u062c\u0648\u062f\u06af\u06cc \u0645\u06cc\u06ba \u0628\u06be\u06cc \u067e\u06cc\u0631\u0627\u0645\u06cc\u0679\u0631 \u06a9\u06cc \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u0645\u06cc\u06ba \u06a9\u0645\u06cc \u06a9\u0627 \u0628\u0627\u0639\u062b \u0628\u0646\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p>\u0627\u0646 \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631\u06cc \u0688\u0631\u0627\u0626\u06cc\u0648\u0631\u0648\u06ba \u0645\u06cc\u06ba \u0633\u06d2 \u06c1\u0631 \u0627\u06cc\u06a9 \u0622\u0644\u0627\u062a \u0627\u0648\u0631 \u0633\u0627\u0641\u0679 \u0648\u06cc\u0626\u0631 \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0648\u06ba \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0645\u0648\u0627\u0642\u0639 \u067e\u06cc\u062f\u0627 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2 \u062c\u0648 \u0686\u067e \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u0648\u06ba \u06a9\u0648 \u0627\u067e\u0646\u06d2 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06d2 \u0639\u0645\u0644 \u06a9\u0648 \u0628\u06c1\u062a\u0631 \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba \u0645\u062f\u062f \u06a9\u0631 \u0633\u06a9\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u06a9\u0648 \u0628\u06c1\u062a\u0631 \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u06a9\u06cc \u0645\u0639\u0627\u0634\u06cc \u0642\u062f\u0631 \u0627\u062a\u0646\u06cc \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u06c1\u06d2 \u06a9\u06c1 \u0686\u067e \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u0627\u06cc\u0633\u06d2 \u0622\u0644\u0627\u062a \u0627\u0648\u0631 \u062e\u062f\u0645\u0627\u062a \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u067e\u0631\u06cc\u0645\u06cc\u0645 \u0642\u06cc\u0645\u062a\u06cc\u06ba \u0627\u062f\u0627 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u0648 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06c1\u06cc\u06ba \u062c\u0648 \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u06a9\u0648 \u0628\u06c1\u062a\u0631 \u0628\u0646\u0627\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<h2 id=\"heading-careers-in-the-lithography-ecosystem\">\u0644\u06cc\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0645\u0627\u062d\u0648\u0644\u06cc\u0627\u062a\u06cc \u0646\u0638\u0627\u0645 \u0627\u067e\u0646\u0627\u0646\u0627<\/h2>\n<h3 id=\"heading-engineering-roles\">\u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631\u0646\u06af \u06a9\u06d2 \u06a9\u0631\u062f\u0627\u0631<\/h3>\n<p>\u0644\u06cc\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0645\u0627\u062d\u0648\u0644\u06cc\u0627\u062a\u06cc \u0646\u0638\u0627\u0645 \u0645\u062e\u062a\u0644\u0641 \u0634\u0639\u0628\u0648\u06ba \u0633\u06d2 \u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631\u0632 \u06a9\u0648 \u0645\u0644\u0627\u0632\u0645\u062a \u062f\u06cc\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p><strong>\u0622\u067e\u0679\u06cc\u06a9\u0644 \u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631<\/strong> \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06a9 \u0627\u0633\u06a9\u06cc\u0646\u0631\u0632 \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06c1\u0648\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u0627\u0644\u06cc\u0648\u0645\u06cc\u0646\u06cc\u0634\u0646 \u0633\u0633\u0679\u0645\u0632\u060c \u067e\u0631\u0648\u062c\u06cc\u06a9\u0634\u0646 \u0622\u067e\u0679\u06a9\u0633\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0648\u06cc\u0648 \u0641\u0631\u0646\u0679 \u06a9\u0646\u0679\u0631\u0648\u0644 \u0633\u0633\u0679\u0645\u0632 \u06a9\u0648 \u0688\u06cc\u0632\u0627\u0626\u0646 \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0646 \u06a9\u06cc \u062e\u0635\u0648\u0635\u06cc\u0627\u062a \u0628\u0646\u0627\u0626\u06cc\u06ba\u06d4 \u0627\u0633 \u06a9\u0631\u062f\u0627\u0631 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0641\u0632\u06cc\u06a9\u0644 \u0622\u067e\u0679\u06a9\u0633\u060c \u0627\u0628\u0631\u06cc\u0634\u0646 \u062a\u06be\u06cc\u0648\u0631\u06cc\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0622\u067e\u0679\u06cc\u06a9\u0644 \u0645\u06cc\u0679\u0631\u0648\u0644\u0648\u062c\u06cc \u06a9\u06d2 \u06af\u06c1\u0631\u06d2 \u0639\u0644\u0645 \u06a9\u06cc \u0636\u0631\u0648\u0631\u062a \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p><strong>\u0645\u06a9\u06cc\u0646\u06cc\u06a9\u0644 \u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631<\/strong> \u06c1\u0645 \u062f\u0631\u0633\u062a \u0645\u0631\u0627\u062d\u0644\u060c \u0648\u0627\u0626\u0628\u0631\u06cc\u0634\u0646 \u0622\u0626\u0633\u0648\u0644\u06cc\u0634\u0646 \u0633\u0633\u0679\u0645\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0633\u0627\u062e\u062a\u06cc \u0627\u062c\u0632\u0627\u0621 \u0688\u06cc\u0632\u0627\u0626\u0646 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba \u062c\u0648 \u0646\u06cc\u0646\u0648 \u0645\u06cc\u0679\u0631 \u06a9\u06cc \u0633\u0637\u062d \u06a9\u06cc \u067e\u0648\u0632\u06cc\u0634\u0646\u0646\u06af \u06a9\u06cc \u062f\u0631\u0633\u062a\u06af\u06cc \u06a9\u0648 \u0641\u0639\u0627\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u0627\u0633 \u06a9\u0631\u062f\u0627\u0631 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u062f\u0631\u0633\u062a \u0645\u06cc\u06a9\u0627\u0646\u06a9\u0633\u060c \u0679\u0631\u0627\u0626\u0628\u0644\u0648\u0644\u0648\u062c\u06cc\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0633\u0627\u062e\u062a\u06cc \u0645\u06cc\u06a9\u0627\u0646\u06a9\u0633 \u0645\u06cc\u06ba \u0645\u06c1\u0627\u0631\u062a \u062f\u0631\u06a9\u0627\u0631 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p><strong>\u0627\u0644\u06cc\u06a9\u0679\u0631\u06cc\u06a9\u0644 \u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631<\/strong> \u06c1\u0645 \u06a9\u0646\u0679\u0631\u0648\u0644 \u0633\u0633\u0679\u0645\u0632\u060c \u067e\u0627\u0648\u0631 \u0627\u0644\u06cc\u06a9\u0679\u0631\u0627\u0646\u06a9\u0633\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0633\u06cc\u0646\u0633\u0631 \u0633\u0633\u0679\u0645 \u0688\u06cc\u0632\u0627\u0626\u0646 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba \u062c\u0648 \u0631\u06cc\u0626\u0644 \u0679\u0627\u0626\u0645 \u0641\u06cc\u0688 \u0628\u06cc\u06a9 \u0627\u0648\u0631 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06d2 \u0639\u0645\u0644 \u06a9\u0648 \u06a9\u0646\u0679\u0631\u0648\u0644 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0642\u0627\u0628\u0644 \u0628\u0646\u0627\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p><strong>\u0639\u0645\u0644 \u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631<\/strong> \u0627\u06cc\u06a9 \u0686\u067e \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u06a9\u0627\u0645 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u0648\u0626\u06d2\u060c \u0648\u06c1 \u0644\u06cc\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06d2 \u0622\u0644\u0627\u062a \u06a9\u0648 \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631\u06cc \u0639\u0645\u0644 \u0645\u06cc\u06ba \u0636\u0645 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2 \u0627\u0648\u0631 \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u0627\u0648\u0631 \u06a9\u0627\u0631\u06a9\u0631\u062f\u06af\u06cc \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0639\u0645\u0644 \u06a9\u06d2 \u067e\u06cc\u0631\u0627\u0645\u06cc\u0679\u0631\u0632 \u06a9\u0648 \u0628\u06c1\u062a\u0631 \u0628\u0646\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 \u0627\u0633 \u06a9\u0631\u062f\u0627\u0631 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0641\u0648\u0679\u0648 \u0631\u06cc\u0632\u0633\u0679 \u06a9\u06cc\u0645\u0633\u0679\u0631\u06cc\u060c \u0627\u06cc\u0646\u0686 \u067e\u0631\u0648\u0633\u06cc\u0633\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0645\u06cc\u0679\u0631\u0648\u0644\u0648\u062c\u06cc \u06a9\u0627 \u06af\u06c1\u0631\u0627 \u0639\u0644\u0645 \u062f\u0631\u06a9\u0627\u0631 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p><strong>\u0633\u0627\u0641\u0679 \u0648\u06cc\u0626\u0631 \u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631<\/strong> \u06c1\u0645 \u06a9\u0646\u0679\u0631\u0648\u0644 \u0633\u0627\u0641\u0679 \u0648\u06cc\u0626\u0631\u060c \u06a9\u0645\u067e\u06cc\u0648\u0679\u06cc\u0634\u0646\u0644 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0627\u0644\u06af\u0648\u0631\u062a\u06be\u0645\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0688\u06cc\u0679\u0627 \u062a\u062c\u0632\u06cc\u06c1 \u06a9\u06d2 \u0679\u0648\u0644\u0632 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba \u062c\u0648 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0633\u0633\u0679\u0645 \u06a9\u06cc \u06a9\u0627\u0631\u06a9\u0631\u062f\u06af\u06cc \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u062a\u06cc\u0632\u06cc \u0633\u06d2 \u0627\u06c1\u0645 \u06c1\u0648\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p><strong>\u0645\u0648\u0627\u062f \u0633\u0627\u0626\u0646\u0633\u062f\u0627\u0646<\/strong> \u0646\u0626\u06d2 \u0641\u0648\u0679\u0648 \u0631\u06cc\u0632\u0633\u0679\u060c \u067e\u06cc\u0644\u06cc\u06a9\u0644\u0632\u060c \u0627\u0648\u0631 \u062f\u06cc\u06af\u0631 \u0645\u0648\u0627\u062f \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631\u06cc\u06ba \u062c\u0648 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06cc \u06a9\u0627\u0631\u06a9\u0631\u062f\u06af\u06cc \u06a9\u0648 \u0628\u06c1\u062a\u0631 \u0628\u0646\u0627\u0633\u06a9\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<h3 id=\"heading-career-paths\">\u06a9\u0648\u0631\u0633<\/h3>\n<p>\u0644\u06cc\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0645\u0627\u062d\u0648\u0644\u06cc\u0627\u062a\u06cc \u0646\u0638\u0627\u0645 \u0645\u06cc\u06ba \u062f\u0644\u0686\u0633\u067e\u06cc \u0631\u06a9\u06be\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631\u0632 \u06a9\u06d2 \u06a9\u06cc\u0631\u06cc\u0626\u0631 \u06a9\u06d2 \u06a9\u0626\u06cc \u0627\u0644\u06af \u0631\u0627\u0633\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p><strong>\u0633\u0627\u0632\u0648\u0633\u0627\u0645\u0627\u0646 \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0627\u06ba (ASML, Nikon, Canon)<\/strong>: \u0633\u0627\u0632\u0648\u0633\u0627\u0645\u0627\u0646 \u06a9\u06cc \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc \u0645\u06cc\u06ba \u06a9\u0627\u0645 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u0633\u06d2 \u0622\u067e \u06a9\u0648 \u067e\u0648\u0631\u06d2 \u0646\u0638\u0627\u0645 \u06a9\u06cc \u0646\u0645\u0627\u0626\u0634 \u0645\u0644\u062a\u06cc \u06c1\u06d2: \u0622\u067e\u0679\u06cc\u06a9\u0644\u060c \u0645\u06a9\u06cc\u0646\u06cc\u06a9\u0644\u060c \u0627\u0644\u06cc\u06a9\u0679\u0631\u0627\u0646\u06a9\u060c \u0633\u0627\u0641\u0679 \u0648\u06cc\u0626\u0631 \u0627\u0648\u0631 \u067e\u0631\u0648\u0633\u06cc\u0633 \u0627\u0646\u0679\u06cc\u06af\u0631\u06cc\u0634\u0646\u06d4 ASML \u062e\u0627\u0635 \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u0627\u067e\u0646\u06cc \u0645\u0636\u0628\u0648\u0637 \u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631\u0646\u06af \u062b\u0642\u0627\u0641\u062a \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0633 \u06a9\u06d2 \u0645\u0644\u0627\u0632\u0645\u06cc\u0646 \u06a9\u06cc \u062a\u06a9\u0646\u06cc\u06a9\u06cc \u0645\u06c1\u0627\u0631\u062a \u06a9\u06cc \u06af\u06c1\u0631\u0627\u0626\u06cc \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u062c\u0627\u0646\u0627 \u062c\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p><strong>\u0686\u067e \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 (TSMC\u060c Samsung\u060c Intel)<\/strong>: \u0686\u067e \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u06a9\u06cc \u0644\u06cc\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631\u0646\u06af \u0679\u06cc\u0645 \u067e\u0631 \u06a9\u0627\u0645 \u06a9\u0631\u0646\u0627 \u0622\u067e \u06a9\u0648 \u0645\u06cc\u0646\u0648\u0641\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0646\u06af \u06a9\u06cc \u067e\u0648\u0631\u06cc \u062a\u0635\u0648\u06cc\u0631 \u0633\u06d2 \u0631\u0648\u0634\u0646\u0627\u0633 \u06a9\u0631\u0627\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u060c \u0628\u0634\u0645\u0648\u0644 \u0644\u06cc\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u062f\u0648\u0633\u0631\u06d2 \u0639\u0645\u0644 \u06a9\u06d2 \u0645\u0631\u0627\u062d\u0644 \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be \u06a9\u0633 \u0637\u0631\u062d \u062a\u0639\u0627\u0645\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u060c \u06a9\u0633 \u0637\u0631\u062d \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u06a9\u0627 \u0627\u0646\u062a\u0638\u0627\u0645 \u06a9\u06cc\u0627 \u062c\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0633\u0627\u0645\u0627\u0646 \u06a9\u06cc \u062a\u0648\u062b\u06cc\u0642 \u0627\u0648\u0631 \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u06a9\u0633 \u0637\u0631\u062d \u0627\u0635\u0644\u0627\u062d \u06a9\u06cc \u062c\u0627\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p><strong>EDA\/\u0633\u0627\u0641\u0679 \u0648\u06cc\u0626\u0631 \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0627\u06ba (Synopsys, Cadence, D2S)<\/strong>: \u06a9\u0645\u067e\u06cc\u0648\u0679\u06cc\u0634\u0646\u0644 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0633\u0627\u0641\u0679 \u0648\u06cc\u0626\u0631 \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be \u06a9\u0627\u0645 \u06a9\u0631\u0646\u0627 \u0622\u067e \u06a9\u0648 \u0644\u06cc\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06d2 \u0639\u0645\u0644 \u06a9\u0648 \u0645\u0627\u0688\u0644\u0646\u06af \u0627\u0648\u0631 \u0628\u06c1\u062a\u0631 \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0631\u06cc\u0627\u0636\u06cc\u0627\u062a\u06cc \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0644\u06af\u0648\u0631\u062a\u06be\u0645\u06a9 \u0686\u06cc\u0644\u0646\u062c\u0648\u06ba \u0633\u06d2 \u0622\u06af\u0627\u06c1 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p><strong>\u0634\u0631\u0648\u0639<\/strong>: \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0622\u0644\u0627\u062a \u06a9\u06d2 \u0622\u063a\u0627\u0632 \u067e\u0631 \u06a9\u0627\u0645 \u06a9\u0631\u0646\u0627 \u0627\u06cc\u06a9 \u0686\u06be\u0648\u0679\u06cc\u060c \u062d\u0648\u0635\u0644\u06c1 \u0627\u0641\u0632\u0627\u0626\u06cc \u0648\u0627\u0644\u06cc \u0679\u06cc\u0645 \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be \u0646\u0626\u06cc \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc\u0632 \u067e\u0631 \u062a\u062d\u0642\u06cc\u0642 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u0627 \u0645\u0648\u0642\u0639 \u0641\u0631\u0627\u06c1\u0645 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 \u062e\u0637\u0631\u0627\u062a \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u0644\u06cc\u06a9\u0646 \u0645\u0645\u06a9\u0646\u06c1 \u0627\u0646\u0639\u0627\u0645\u0627\u062a \u0628\u06be\u06cc\u060c \u0645\u0627\u0644\u06cc \u0627\u0648\u0631 \u062a\u06a9\u0646\u06cc\u06a9\u06cc \u0627\u062b\u0631\u0627\u062a \u06a9\u06d2 \u0644\u062d\u0627\u0638 \u0633\u06d2\u06d4<\/p>\n<p><strong>\u062a\u062d\u0642\u06cc\u0642 (IMEC\u060c \u0642\u0648\u0645\u06cc \u0644\u06cc\u0628\u0627\u0631\u0679\u0631\u06cc\u0632\u060c \u06cc\u0648\u0646\u06cc\u0648\u0631\u0633\u0679\u06cc\u0627\u06ba)<\/strong>: \u062a\u062d\u0642\u06cc\u0642\u06cc \u0627\u062f\u0627\u0631\u06d2 \u062c\u06cc\u0633\u06d2 IMEC (\u0628\u06cc\u0644\u062c\u06cc\u0645)\u060c CEA-Leti (\u0641\u0631\u0627\u0646\u0633)\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0645\u0631\u06cc\u06a9\u06cc \u0642\u0648\u0645\u06cc \u0644\u06cc\u0628\u0627\u0631\u0679\u0631\u06cc\u0632 \u0627\u06af\u0644\u06cc \u0646\u0633\u0644 \u06a9\u06cc \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc\u0632 \u06a9\u06cc \u062a\u0631\u0642\u06cc \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u06c1\u0645 \u06a9\u0631\u062f\u0627\u0631 \u0627\u062f\u0627 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u06a9\u0633\u06cc \u062a\u062d\u0642\u06cc\u0642\u06cc \u0627\u062f\u0627\u0631\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba \u06a9\u0627\u0645 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u0633\u06d2 \u0622\u067e \u06a9\u0648 \u0627\u067e\u0646\u06d2 \u0634\u0639\u0628\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba \u0633\u0628 \u0633\u06d2 \u0622\u06af\u06d2 \u06a9\u06cc \u0646\u0645\u0627\u0626\u0634 \u0627\u0648\u0631 \u0627\u067e\u0646\u06cc \u062a\u06a9\u0646\u06cc\u06a9\u06cc \u0633\u0627\u06a9\u06be \u06a9\u0648 \u0634\u0627\u0626\u0639 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u0627\u0648\u0631 \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u06a9\u0627 \u0645\u0648\u0642\u0639 \u0645\u0644\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<h3 id=\"heading-geographic-hubs\">\u062c\u063a\u0631\u0627\u0641\u06cc\u0627\u0626\u06cc \u0645\u0631\u06a9\u0632<\/h3>\n<p>\u0644\u06cc\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u0627 \u0645\u0627\u062d\u0648\u0644\u06cc\u0627\u062a\u06cc \u0646\u0638\u0627\u0645 \u062c\u063a\u0631\u0627\u0641\u06cc\u0627\u0626\u06cc \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u0645\u0631\u062a\u06a9\u0632 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p><strong>\u0622\u0626\u0646\u062f\u06be\u0648\u0648\u0646\/\u0648\u06cc\u0644\u0688\u0648\u0648\u0646\u060c \u0646\u06cc\u062f\u0631\u0644\u06cc\u0646\u0688\u0632<\/strong>: ASML \u06a9\u0627 \u06c1\u06cc\u0688\u06a9\u0648\u0627\u0631\u0679\u0631 \u0627\u0648\u0631 \u06cc\u0648\u0631\u067e\u06cc \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0622\u0644\u0627\u062a \u0645\u0627\u062d\u0648\u0644\u06cc\u0627\u062a\u06cc \u0646\u0638\u0627\u0645 \u06a9\u0627 \u0645\u0631\u06a9\u0632\u06d4 \u06cc\u06c1 \u062e\u0637\u06c1 \u0635\u062d\u062a \u0633\u06d2 \u0645\u062a\u0639\u0644\u0642 \u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631\u0646\u06af \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0648\u06ba\u060c \u0622\u067e\u0679\u06cc\u06a9\u0644 \u0645\u0627\u06c1\u0631\u06cc\u0646 \u0627\u0648\u0631 \u0633\u0627\u0641\u0679 \u0648\u06cc\u0626\u0631 \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0648\u06ba \u06a9\u06d2 \u0627\u06cc\u06a9 \u06af\u06be\u0646\u06d2 \u062c\u06be\u0631\u0645\u0679 \u06a9\u0627 \u06af\u06be\u0631 \u06c1\u06d2 \u062c\u0648 ASML \u0641\u0631\u0627\u06c1\u0645 \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0633\u0644\u06cc\u06a9\u0646 \u0648\u06cc\u0644\u06cc\u060c \u06a9\u06cc\u0644\u06cc\u0641\u0648\u0631\u0646\u06cc\u0627<\/strong>: \u06cc\u06c1 \u0645\u062a\u0639\u062f\u062f \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0622\u0644\u0627\u062a \u06a9\u06d2 \u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e\u0633\u060c EDA \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0648\u06ba\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0628\u0691\u06cc \u0627\u0645\u0631\u06cc\u06a9\u06cc \u0633\u0627\u0632\u0648\u0633\u0627\u0645\u0627\u0646 \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0648\u06ba \u06a9\u0627 \u06af\u06be\u0631 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u067e\u0648\u0631\u0679\u0644\u06cc\u0646\u0688\/\u06c1\u0644\u0632\u0628\u0648\u0631\u0648\u060c \u0627\u0648\u0631\u06cc\u06af\u0648\u0646<\/strong>: \u0631\u06cc\u0627\u0633\u062a\u06c1\u0627\u0626\u06d2 \u0645\u062a\u062d\u062f\u06c1 \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u0646\u0679\u06cc\u0644 \u06a9\u0627 \u0628\u0646\u06cc\u0627\u062f\u06cc \u0645\u06cc\u0646\u0648\u0641\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0646\u06af \u0645\u0631\u06a9\u0632\u060c \u062c\u06c1\u0627\u06ba \u067e\u0631\u0627\u0633\u06cc\u0633 \u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631\u0646\u06af \u06a9\u06cc \u0645\u06c1\u0627\u0631\u062a \u0645\u0631\u06a9\u0648\u0632 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0627\u0644\u0628\u0627\u0646\u06cc\u060c \u0646\u06cc\u0648\u06cc\u0627\u0631\u06a9<\/strong>: SUNY Poly&#8217;s School of Nanoscale Science and Engineering \u06a9\u0627 \u06af\u06be\u0631\u060c \u062c\u0648 IBM\u060c GlobalFoundries \u0627\u0648\u0631 \u0622\u0644\u0627\u062a \u06a9\u06cc \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0648\u06ba \u06a9\u06d2 \u0630\u0631\u06cc\u0639\u06d2 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06c1\u0648\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06cc \u0628\u0691\u06cc \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 R&#038;D \u0633\u06c1\u0648\u0644\u06cc\u0627\u062a \u06a9\u06cc \u0645\u06cc\u0632\u0628\u0627\u0646\u06cc \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0679\u0648\u06a9\u06cc\u0648\/\u06cc\u0648\u06a9\u0648\u06c1\u0627\u0645\u0627\u060c \u062c\u0627\u067e\u0627\u0646<\/strong>: \u0646\u06cc\u06a9\u0648\u0646\u060c \u06a9\u06cc\u0646\u0646\u060c \u0679\u0648\u06a9\u06cc\u0648 \u0627\u0644\u06cc\u06a9\u0679\u0631\u0627\u0646 \u0627\u0648\u0631 \u062f\u06cc\u06af\u0631 \u062c\u0627\u067e\u0627\u0646\u06cc \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0622\u0644\u0627\u062a \u0627\u0648\u0631 \u0645\u0648\u0627\u062f \u06a9\u06cc \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0648\u06ba \u06a9\u0627 \u0627\u06cc\u06a9 \u06af\u06be\u0646\u0627 \u0645\u0627\u062d\u0648\u0644\u06cc\u0627\u062a\u06cc \u0646\u0638\u0627\u0645 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u062a\u0627\u0626\u06cc\u0648\u0627\u0646<\/strong>: \u06cc\u06c1 \u0648\u06c1 \u062c\u06af\u06c1 \u06c1\u06d2 \u062c\u06c1\u0627\u06ba TSMC \u06c1\u06cc\u0688\u06a9\u0648\u0627\u0631\u0679\u0631 \u0627\u0648\u0631 \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0645\u06cc\u0646\u0648\u0641\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0646\u06af \u0627\u0648\u0631 \u0622\u0644\u0627\u062a \u06a9\u06cc \u0645\u06c1\u0627\u0631\u062a \u0645\u0631\u06a9\u0648\u0632 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<h2 id=\"heading-the-lithography-supply-chain-a-map-of-dependencies\">\u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0633\u067e\u0644\u0627\u0626\u06cc \u0686\u06cc\u0646: \u0627\u0646\u062d\u0635\u0627\u0631 \u06a9\u0627 \u0646\u0642\u0634\u06c1<\/h2>\n<h3 id=\"heading-why-the-supply-chain-is-a-strategic-asset\">\u0622\u067e \u06a9\u06cc \u0633\u067e\u0644\u0627\u0626\u06cc \u0686\u06cc\u0646 \u0627\u06cc\u06a9 \u0627\u0633\u0679\u0631\u06cc\u0679\u062c\u06a9 \u0627\u062b\u0627\u062b\u06c1 \u06a9\u06cc\u0648\u06ba \u06c1\u06d2\u06d4<\/h3>\n<p>ASML \u06a9\u06cc EUV \u062e\u0635\u0648\u0635\u06cc\u062a \u0635\u0631\u0641 \u0627\u0633 \u06a9\u06cc \u0627\u067e\u0646\u06cc \u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631\u0646\u06af \u06a9\u06cc \u0639\u0645\u062f\u06af\u06cc \u06a9\u06cc \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06c1\u06d2\u06d4 \u0627\u0633 \u06a9\u0648 \u0627\u06a9\u0679\u06be\u0627 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba 30 \u0633\u0627\u0644 \u0644\u06af\u06d2 \u0627\u0648\u0631 \u06cc\u06c1 \u0627\u06cc\u06a9 \u0633\u067e\u0644\u0627\u0626\u06cc \u0686\u06cc\u0646 \u06a9\u06cc \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u06c1\u06d2 \u062c\u0633\u06d2 \u062c\u0644\u062f\u06cc \u0633\u06d2 \u0646\u0642\u0644 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06a9\u06cc\u0627 \u062c\u0627 \u0633\u06a9\u062a\u0627\u06d4 \u0627\u0633 \u0633\u067e\u0644\u0627\u0626\u06cc \u0686\u06cc\u0646 \u06a9\u0648 \u0633\u0645\u062c\u06be\u0646\u0627 \u06c1\u0631 \u0627\u0633 \u0634\u062e\u0635 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0636\u0631\u0648\u0631\u06cc \u06c1\u06d2 \u062c\u0648 \u06a9\u0633\u06cc \u0635\u0646\u0639\u062a \u06a9\u06cc \u0645\u0633\u0627\u0628\u0642\u062a\u06cc \u062d\u0631\u06a9\u06cc\u0627\u062a \u06a9\u0627 \u0627\u0646\u062f\u0627\u0632\u06c1 \u0644\u06af\u0627\u0646\u0627 \u06cc\u0627 \u0635\u0646\u0639\u062a \u06a9\u06d2 \u0627\u0646\u062f\u0631 \u0622\u063a\u0627\u0632 \u06a9\u06d2 \u0645\u0648\u0627\u0642\u0639 \u06a9\u06cc \u0646\u0634\u0627\u0646\u062f\u06c1\u06cc \u06a9\u0631\u0646\u0627 \u0686\u0627\u06c1\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>EUV \u0633\u067e\u0644\u0627\u0626\u06cc \u0686\u06cc\u0646 \u0645\u06cc\u06ba \u062a\u06cc\u0646 \u062f\u0631\u062c\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba:<\/p>\n<p><strong>\u0679\u0627\u0626\u0631 1 &#8211; \u0633\u0633\u0679\u0645\u0632 \u0627\u0646\u0679\u06cc\u06af\u0631\u06cc\u0679\u0631\u0632<\/strong>: ASML EUV \u0645\u06cc\u06ba \u0648\u0627\u062d\u062f \u0679\u0627\u0626\u0631 1 \u06a9\u06be\u0644\u0627\u0691\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4 \u06c1\u0645 \u0627\u067e\u0646\u06d2 \u0679\u0627\u0626\u0631 2 \u067e\u0627\u0631\u0679\u0646\u0631\u0632 \u06a9\u06cc \u0637\u0631\u0641 \u0633\u06d2 \u0641\u0631\u0627\u06c1\u0645 \u06a9\u0631\u062f\u06c1 \u0627\u062c\u0632\u0627\u0621 \u0633\u06d2 \u067e\u0648\u0631\u06d2 \u0646\u0638\u0627\u0645 \u06a9\u0648 \u062c\u0645\u0639 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p><strong>\u0679\u0627\u0626\u0631 2 &#8211; \u0627\u06c1\u0645 \u0633\u0628 \u0633\u0633\u0679\u0645 \u0633\u067e\u0644\u0627\u0626\u0631\u0632<\/strong>: \u0628\u06c1\u062a \u06a9\u0645 \u062a\u0639\u062f\u0627\u062f \u0645\u06cc\u06ba \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0627\u06ba \u0627\u06cc\u0633\u06d2 \u0633\u0628 \u0633\u0633\u0679\u0645 \u0641\u0631\u0627\u06c1\u0645 \u06a9\u0631 \u0631\u06c1\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba \u062c\u0648 EUV \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0636\u0631\u0648\u0631\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba \u0627\u0648\u0631 \u0622\u0633\u0627\u0646\u06cc \u0633\u06d2 \u062a\u0628\u062f\u06cc\u0644 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06a9\u06cc\u06d2 \u062c\u0627 \u0633\u06a9\u062a\u06d2\u06d4 \u06a9\u0627\u0631\u0644 \u0632\u06cc\u0633 \u0627\u06cc\u0633 \u0627\u06cc\u0645 \u0679\u06cc (\u0622\u067e\u0679\u06a9\u0633)\u060c \u0679\u0631\u0645\u067e\u0641 (CO\u2082 \u0644\u06cc\u0632\u0631)\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0633\u0627\u0626\u0645\u0631\/ASML (\u0644\u0627\u0626\u0679 \u0645\u0627\u0688\u06cc\u0648\u0644) \u0633\u0628 \u0633\u06d2 \u0627\u06c1\u0645 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u0627\u0646 \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0648\u06ba \u0645\u06cc\u06ba \u0633\u06d2 \u06c1\u0631 \u0627\u06cc\u06a9 \u0646\u06d2 EUV \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0645\u062e\u0635\u0648\u0635 \u0635\u0644\u0627\u062d\u06cc\u062a\u0648\u06ba \u06a9\u0648 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u0631\u0628\u0648\u06ba \u0688\u0627\u0644\u0631 \u06a9\u06cc \u0633\u0631\u0645\u0627\u06cc\u06c1 \u06a9\u0627\u0631\u06cc \u06a9\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p><strong>\u0679\u0627\u0626\u0631 3 &#8211; \u067e\u0631\u0632\u06d2 \u0627\u0648\u0631 \u0645\u0648\u0627\u062f \u0641\u0631\u0627\u06c1\u0645 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2<\/strong>: \u0633\u06cc\u0646\u06a9\u0691\u0648\u06ba \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0627\u06ba \u0679\u0627\u0626\u0631 1 \u0627\u0648\u0631 \u0679\u0627\u0626\u0631 2 \u06a9\u06d2 \u06a9\u06be\u0644\u0627\u0691\u06cc\u0648\u06ba \u06a9\u0648 \u062f\u0631\u0633\u062a \u0627\u062c\u0632\u0627\u0621\u060c \u062e\u0635\u0648\u0635\u06cc \u0645\u0648\u0627\u062f \u0627\u0648\u0631 \u062e\u062f\u0645\u0627\u062a \u0641\u0631\u0627\u06c1\u0645 \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u0627\u0646 \u0645\u06cc\u06ba \u0633\u06d2 \u0628\u06c1\u062a \u0633\u06cc \u0686\u06be\u0648\u0679\u06cc\u060c \u0627\u0639\u0644\u06cc\u0670 \u0645\u06c1\u0627\u0631\u062a \u0648\u0627\u0644\u06cc \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0627\u06ba \u06c1\u06cc\u06ba (\u0627\u06a9\u062b\u0631 \u062e\u0627\u0646\u062f\u0627\u0646 \u06a9\u06cc \u0645\u0644\u06a9\u06cc\u062a \u0645\u06cc\u06ba \u0646\u06cc\u062f\u0631\u0644\u06cc\u0646\u0688\u0632\u060c \u062c\u0631\u0645\u0646\u06cc \u0627\u0648\u0631 \u062c\u0627\u067e\u0627\u0646 \u0645\u06cc\u06ba \u062f\u0631\u0633\u062a \u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631\u0646\u06af \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0627\u06ba) \u062c\u0646\u06c1\u0648\u06ba \u0646\u06d2 \u0646\u0633\u0644\u0648\u06ba \u06a9\u06d2 \u062f\u0648\u0631\u0627\u0646 \u0645\u062e\u0635\u0648\u0635 \u0645\u06cc\u0646\u0648\u0641\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0646\u06af \u06a9\u06d2 \u0639\u0645\u0644 \u0645\u06cc\u06ba \u06af\u06c1\u0631\u06cc \u0645\u06c1\u0627\u0631\u062a \u062d\u0627\u0635\u0644 \u06a9\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<h3 id=\"heading-the-zeiss-dependency\">\u0632\u06cc\u0633 \u0627\u0646\u062d\u0635\u0627\u0631<\/h3>\n<p>\u06a9\u0627\u0631\u0644 \u0632\u06cc\u0633 \u0627\u06cc\u0633 \u0627\u06cc\u0645 \u0679\u06cc \u062e\u0635\u0648\u0635\u06cc \u062a\u0648\u062c\u06c1 \u06a9\u0627 \u0645\u0633\u062a\u062d\u0642 \u06c1\u06d2 \u06a9\u06cc\u0648\u0646\u06a9\u06c1 \u06cc\u06c1 EUV \u0633\u067e\u0644\u0627\u0626\u06cc \u0686\u06cc\u0646 \u0645\u06cc\u06ba \u0633\u0628 \u0633\u06d2 \u0627\u06c1\u0645 \u0627\u0646\u062d\u0635\u0627\u0631 \u06a9\u06cc \u0646\u0645\u0627\u0626\u0646\u062f\u06af\u06cc \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 EUV \u0633\u0633\u0679\u0645\u0632 \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06c1\u0648\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u0622\u0626\u06cc\u0646\u06d2 \u06a9\u0648 \u0627\u0646 \u062a\u0635\u0631\u06cc\u062d\u0627\u062a \u067e\u0631 \u067e\u0648\u0631\u0627 \u0627\u062a\u0631\u0646\u0627 \u0686\u0627\u06c1\u06cc\u06d2 \u062c\u0648 \u062c\u0633\u0645\u0627\u0646\u06cc \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u0642\u0627\u0628\u0644 \u062d\u0635\u0648\u0644 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<ul>\n<li>\n<p>\u0633\u0637\u062d \u06a9\u0627 \u06a9\u06be\u0631\u062f\u0631\u0627 \u067e\u0646 0.1 nm RMS \u0633\u06d2 \u06a9\u0645 (\u062a\u0642\u0631\u06cc\u0628\u0627\u064b \u0627\u06cc\u06a9 \u0633\u0644\u06cc\u06a9\u0648\u0646 \u0627\u06cc\u0679\u0645 \u06a9\u0627 \u0642\u0637\u0631)<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>0.1 nm \u0633\u06d2 \u06a9\u0645 \u0688\u0631\u0627\u0626\u0646\u06af \u06a9\u06cc \u062f\u0631\u0633\u062a\u06af\u06cc (\u0645\u062b\u0627\u0644\u06cc \u0634\u06a9\u0644 \u0633\u06d2 \u0627\u0646\u062d\u0631\u0627\u0641)<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>13.5 nm \u067e\u0631 67% \u0633\u06d2 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u0639\u06a9\u0627\u0633\u06cc (~40 \u0645\u062a\u0628\u0627\u062f\u0644 \u062a\u06c1\u0648\u06ba \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be Mo\/Si \u0645\u0644\u0679\u06cc \u0644\u06cc\u0626\u0631 \u06a9\u0648\u0679\u0646\u06af \u06a9\u06d2 \u0630\u0631\u06cc\u0639\u06d2 \u062d\u0627\u0635\u0644 \u06a9\u06cc\u0627 \u06af\u06cc\u0627\u060c \u06c1\u0631 \u0627\u06cc\u06a9 3-4 nm \u0645\u0648\u0679\u06cc)<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p>\u062a\u06be\u0631\u0645\u0644 \u0627\u0633\u062a\u062d\u06a9\u0627\u0645 EUV \u0628\u06cc\u0645 \u06a9\u06d2 \u062a\u06be\u0631\u0645\u0644 \u0628\u0648\u062c\u06be \u06a9\u06d2 \u062a\u062d\u062a \u0628\u06be\u06cc \u0627\u0646 \u062e\u0635\u0648\u0635\u06cc\u0627\u062a \u06a9\u0648 \u0628\u0631\u0642\u0631\u0627\u0631 \u0631\u06a9\u06be\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u06a9\u0627\u0641\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u0627\u0646 \u0634\u06cc\u0634\u0648\u06ba \u06a9\u06cc \u062a\u06cc\u0627\u0631\u06cc \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0622\u0644\u0627\u062a \u0627\u0648\u0631 \u0645\u06c1\u0627\u0631\u062a \u06a9\u06cc \u0636\u0631\u0648\u0631\u062a \u06c1\u0648\u062a\u06cc \u06c1\u06d2 \u062c\u0648 \u062f\u0646\u06cc\u0627 \u0645\u06cc\u06ba \u06a9\u06c1\u06cc\u06ba \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u0645\u0644\u062a\u06cc\u06d4 Zeiss SMT \u0646\u06d2 \u0627\u067e\u0646\u06cc Oberkochen \u0633\u06c1\u0648\u0644\u062a \u0645\u06cc\u06ba \u062e\u0627\u0635 \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 EUV \u0622\u067e\u0679\u06a9\u0633 \u06a9\u06cc \u062a\u06cc\u0627\u0631\u06cc \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u20ac1 \u0628\u0644\u06cc\u0646 \u0633\u06d2 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u06a9\u06cc \u0633\u0631\u0645\u0627\u06cc\u06c1 \u06a9\u0627\u0631\u06cc \u06a9\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4 EUV \u067e\u0631\u0648\u062c\u06cc\u06a9\u0634\u0646 \u0622\u067e\u0679\u06a9\u0633 \u06a9\u06d2 \u0645\u06a9\u0645\u0644 \u0633\u06cc\u0679 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0644\u06cc\u0688 \u0679\u0627\u0626\u0645 \u062a\u0642\u0631\u06cc\u0628\u0627\u064b 18 \u0633\u06d2 24 \u0645\u0627\u06c1 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0627\u0633 \u0627\u0646\u062d\u0635\u0627\u0631 \u06a9\u06cc \u0648\u062c\u06c1 \u0633\u06d2 ASML \u0646\u06d2 2016 \u0645\u06cc\u06ba Zeiss SMT \u0645\u06cc\u06ba 24.9% \u062d\u0635\u0635 \u062d\u0627\u0635\u0644 \u06a9\u06cc\u0627 \u0627\u0648\u0631 Zeiss \u06a9\u06cc \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631\u06cc \u0635\u0644\u0627\u062d\u06cc\u062a\u0648\u06ba \u0645\u06cc\u06ba \u0633\u0631\u0645\u0627\u06cc\u06c1 \u06a9\u0627\u0631\u06cc \u062c\u0627\u0631\u06cc \u0631\u06a9\u06be\u06cc\u06d4 \u06cc\u06c1\u06cc \u0648\u062c\u06c1 \u06c1\u06d2 \u06a9\u06c1 EUV \u0633\u0633\u0679\u0645 \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u062e\u0648\u0627\u06c1\u0627\u06ba \u062d\u0631\u06cc\u0641\u0648\u06ba \u06a9\u0648 \u06cc\u0627 \u062a\u0648 \u0627\u067e\u0646\u06cc \u0622\u067e\u0679\u06a9\u0633 (10 \u0633\u0627\u0644\u06c1\u060c \u0645\u0644\u0679\u06cc \u0628\u0644\u06cc\u0646 \u0688\u0627\u0644\u0631 \u06a9\u0627 \u067e\u0631\u0648\u062c\u06cc\u06a9\u0679) \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631\u0646\u0627 \u067e\u0691\u06d2 \u06af\u0627 \u06cc\u0627 \u0645\u062a\u0628\u0627\u062f\u0644 \u0633\u067e\u0644\u0627\u0626\u0631\u0632 \u062a\u0644\u0627\u0634 \u06a9\u0631\u0646\u0627 \u06c1\u0648\u06ba \u06af\u06d2 \u062c\u0648 \u0641\u06cc \u0627\u0644\u062d\u0627\u0644 \u0645\u0648\u062c\u0648\u062f \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<h3 id=\"heading-startup-opportunities-in-the-supply-chain\">\u0633\u067e\u0644\u0627\u0626\u06cc \u0686\u06cc\u0646 \u0627\u0646\u0679\u0631\u067e\u0631\u06cc\u0646\u06cc\u0648\u0631\u0634\u067e \u06a9\u06d2 \u0645\u0648\u0627\u0642\u0639<\/h3>\n<p>EUV \u0633\u067e\u0644\u0627\u0626\u06cc \u0686\u06cc\u0646 \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u0631\u062a\u06a9\u0627\u0632 \u0627\u0648\u0631 \u06a9\u0645\u0632\u0648\u0631\u06cc \u062e\u0637\u0631\u0627\u062a \u0627\u0648\u0631 \u0645\u0648\u0627\u0642\u0639 \u062f\u0648\u0646\u0648\u06ba \u067e\u06cc\u062f\u0627 \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4 \u0627\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e\u0633 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2\u060c \u0633\u0628 \u0633\u06d2 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u067e\u0631\u062c\u0648\u0634 \u0645\u0648\u0627\u0642\u0639 \u0627\u0646 \u0639\u0644\u0627\u0642\u0648\u06ba \u0645\u06cc\u06ba \u067e\u0627\u0626\u06d2 \u062c\u0627\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba \u062c\u06c1\u0627\u06ba \u0645\u0648\u062c\u0648\u062f\u06c1 \u0633\u067e\u0644\u0627\u0626\u06cc \u0686\u06cc\u0646 \u0645\u06cc\u06ba \u062e\u0644\u0627 \u0645\u0648\u062c\u0648\u062f \u06c1\u06d2 \u06cc\u0627 \u062c\u06c1\u0627\u06ba \u0646\u0626\u06cc \u200b\u200b\u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc\u0632 \u0644\u0627\u06af\u062a \u06a9\u0648 \u06a9\u0645 \u06a9\u0631 \u0633\u06a9\u062a\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba \u06cc\u0627 \u06a9\u0627\u0631\u06a9\u0631\u062f\u06af\u06cc \u06a9\u0648 \u0628\u06c1\u062a\u0631 \u0628\u0646\u0627 \u0633\u06a9\u062a\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<h4 id=\"heading-1-alternative-euv-light-sources\">1. \u0645\u062a\u0628\u0627\u062f\u0644 EUV \u0631\u0648\u0634\u0646\u06cc \u06a9\u0627 \u0630\u0631\u06cc\u0639\u06c1<\/h4>\n<p>\u0645\u0648\u062c\u0648\u062f\u06c1 \u0679\u0646 \u0688\u0631\u0627\u067e\u0644\u06cc\u0679 \u067e\u0644\u0627\u0632\u0645\u0627 \u06a9\u06d2 \u0630\u0631\u0627\u0626\u0639 \u067e\u06cc\u0686\u06cc\u062f\u06c1\u060c \u0645\u06c1\u0646\u06af\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0646 \u06a9\u06cc \u0627\u06c1\u0645 \u062f\u06cc\u06a9\u06be \u0628\u06be\u0627\u0644 \u06a9\u06cc \u0636\u0631\u0648\u0631\u062a \u06c1\u0648\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4 \u0645\u062a\u0628\u0627\u062f\u0644 \u0646\u0642\u0637\u06c1 \u0646\u0638\u0631\u060c \u0628\u0634\u0645\u0648\u0644 \u0645\u0641\u062a \u0627\u0644\u06cc\u06a9\u0679\u0631\u0627\u0646 \u0644\u06cc\u0632\u0631\u0632 \u0627\u0648\u0631 \u0644\u06cc\u0632\u0631 \u0633\u06d2 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631\u062f\u06c1 \u067e\u0644\u0627\u0632\u0645\u0627 \u06a9\u06d2 \u0630\u0631\u0627\u0626\u0639 \u06a9\u0648 \u0645\u062e\u062a\u0644\u0641 \u0627\u06c1\u062f\u0627\u0641\u06cc \u0645\u0648\u0627\u062f \u06a9\u0627 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u0648\u0626\u06d2\u060c \u062a\u062d\u0642\u06cc\u0642\u06cc \u062a\u0631\u062a\u06cc\u0628\u0627\u062a \u0645\u06cc\u06ba \u062a\u0644\u0627\u0634 \u06a9\u06cc\u0627 \u062c\u0627 \u0631\u06c1\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e \u062c\u0648 \u0622\u0633\u0627\u0646\u060c \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u0642\u0627\u0628\u0644 \u0627\u0639\u062a\u0645\u0627\u062f EUV \u0630\u0631\u0627\u0626\u0639 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631 \u0633\u06a9\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba \u0645\u0648\u062c\u0648\u062f\u06c1 \u0646\u0638\u0627\u0645\u0648\u06ba \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be \u0633\u0628 \u0633\u06d2 \u0627\u06c1\u0645 \u0642\u06cc\u0645\u062a \u0627\u0648\u0631 \u0642\u0627\u0628\u0644 \u0627\u0639\u062a\u0645\u0627\u062f \u0645\u0633\u0627\u0626\u0644 \u0645\u06cc\u06ba \u0633\u06d2 \u0627\u06cc\u06a9 \u06a9\u0648 \u062d\u0644 \u06a9\u0631\u06cc\u06ba \u06af\u06d2\u06d4<\/p>\n<h4 id=\"heading-2-euv-pellicle-materials\">2. EUV \u067e\u06cc\u0644\u06cc\u06a9\u0644 \u0645\u0648\u0627\u062f<\/h4>\n<p>\u067e\u06cc\u0644\u06cc\u06a9\u0644\u060c \u0627\u06cc\u06a9 \u067e\u062a\u0644\u06cc \u062c\u06be\u0644\u06cc \u062c\u0648 \u0631\u06cc\u0679\u06cc\u06a9\u0644 \u06a9\u0648 \u0630\u0631\u06c1 \u0622\u0644\u0648\u062f\u06af\u06cc \u0633\u06d2 \u0628\u0686\u0627\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u060c \u067e\u0631\u0648\u0688\u06a9\u0634\u0646 \u0627\u06cc\u067e\u0644\u06cc \u06a9\u06cc\u0634\u0646\u0632 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0636\u0631\u0648\u0631\u06cc \u06c1\u06d2 \u0644\u06cc\u06a9\u0646 EUV \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u062a\u06a9\u0646\u06cc\u06a9\u06cc \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u0645\u0634\u06a9\u0644 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0686\u0648\u0646\u06a9\u06c1 EUV \u0631\u0648\u0634\u0646\u06cc \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u062a\u0631 \u0645\u0648\u0627\u062f \u06a9\u06d2 \u0630\u0631\u06cc\u0639\u06d2 \u062c\u0630\u0628 \u06c1\u0648\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u060c \u0627\u0633 \u0644\u06cc\u06d2 EUV \u067e\u06cc\u0644\u06cc\u06a9\u0644 \u0628\u06c1\u062a \u067e\u062a\u0644\u0627 \u06c1\u0648\u0646\u0627 \u0686\u0627\u06c1\u06cc\u06d2 (\u06a9\u0626\u06cc \u0646\u06cc\u0646\u0648 \u0645\u06cc\u0679\u0631\u0632) \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0639\u0644\u06cc EUV \u0679\u0631\u0627\u0646\u0633\u0645\u06cc\u0634\u0646 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u0645\u0648\u0627\u062f \u0633\u06d2 \u0628\u0646\u0627 \u06c1\u0648\u0627 \u06c1\u0648\u0646\u0627 \u0686\u0627\u06c1\u06cc\u06d2\u06d4 \u0645\u0648\u062c\u0648\u062f\u06c1 \u067e\u06cc\u0644\u06cc\u06a9\u0644 \u0645\u0648\u0627\u062f (\u067e\u0648\u0644\u06cc\u0633\u06cc\u0644\u06cc\u06a9\u0648\u0646\u060c \u06a9\u0627\u0631\u0628\u0646 \u0646\u0627\u0646\u0648\u0679\u0648\u0628 \u0641\u0644\u0645) \u06a9\u06cc \u0639\u0645\u0631 \u0627\u0648\u0631 \u062a\u0631\u0633\u06cc\u0644 \u0645\u062d\u062f\u0648\u062f \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0627\u0639\u0644\u06cc \u062a\u0631\u0633\u06cc\u0644\u060c \u0637\u0648\u06cc\u0644 \u0632\u0646\u062f\u06af\u06cc\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0628\u06c1\u062a\u0631 \u062a\u06be\u0631\u0645\u0644 \u0627\u0633\u062a\u062d\u06a9\u0627\u0645 \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be \u0628\u06c1\u062a\u0631 \u067e\u06cc\u0644\u06cc\u06a9\u0644 \u0645\u0648\u0627\u062f \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u0627\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e \u062d\u0642\u06cc\u0642\u06cc \u062f\u0646\u06cc\u0627 \u06a9\u06cc \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631\u06cc \u0631\u06a9\u0627\u0648\u0679\u0648\u06ba \u06a9\u0648 \u062d\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<h4 id=\"heading-3-tin-recycling-and-management\">3. \u0679\u0646 \u0631\u06cc \u0633\u0627\u0626\u06cc\u06a9\u0644\u0646\u06af \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0646\u062a\u0638\u0627\u0645<\/h4>\n<p>EUV \u0631\u0648\u0634\u0646\u06cc \u06a9\u06d2 \u0630\u0631\u0627\u0626\u0639 \u0679\u0646 \u0645\u0644\u0628\u06d2 \u06a9\u06cc \u06a9\u0627\u0641\u06cc \u0645\u0642\u062f\u0627\u0631 \u067e\u06cc\u062f\u0627 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u062c\u0633 \u06a9\u0627 \u0646\u0638\u0645 \u0622\u067e\u0679\u06cc\u06a9\u0644 \u0633\u0633\u0679\u0645 \u06a9\u06cc \u0622\u0644\u0648\u062f\u06af\u06cc \u06a9\u0648 \u0631\u0648\u06a9\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0636\u0631\u0648\u0631\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4 \u0645\u0648\u062c\u0648\u062f\u06c1 \u0646\u0642\u0637\u06c1 \u0646\u0638\u0631 \u0622\u067e\u0679\u06cc\u06a9\u0644 \u0631\u0627\u0633\u062a\u06d2 \u0633\u06d2 \u0679\u0646 \u06a9\u0648 \u06c1\u0679\u0627\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u06c1\u0627\u0626\u06cc\u0688\u0631\u0648\u062c\u0646 \u06af\u06cc\u0633 \u06a9\u06d2 \u0628\u06c1\u0627\u0624 \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0644\u06cc\u06a9\u0679\u0631\u0648 \u0633\u0679\u06cc\u0679\u06a9 \u062c\u0645\u0639 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u0648\u06ba \u06a9\u0627 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u0627\u06cc\u06a9 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u0645\u0648\u062b\u0631 \u062a\u0634\u0631\u06cc\u062d \u06a9\u06d2 \u0627\u0646\u062a\u0638\u0627\u0645 \u06a9\u0627 \u0646\u0638\u0627\u0645 \u0630\u0631\u06cc\u0639\u06c1 \u06a9\u06cc \u0648\u0634\u0648\u0633\u0646\u06cc\u06cc\u062a\u0627 \u06a9\u0648 \u0628\u06c1\u062a\u0631 \u0628\u0646\u0627 \u0633\u06a9\u062a\u0627 \u06c1\u06d2 \u0627\u0648\u0631 \u062f\u06cc\u06a9\u06be \u0628\u06be\u0627\u0644 \u06a9\u06d2 \u0627\u062e\u0631\u0627\u062c\u0627\u062a \u06a9\u0648 \u06a9\u0645 \u06a9\u0631 \u0633\u06a9\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<h4 id=\"heading-4-precision-metrology-for-euv-optics\">4. EUV \u0622\u067e\u0679\u06a9\u0633 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0635\u062d\u062a \u0633\u06d2 \u0645\u062a\u0639\u0644\u0642 \u0645\u06cc\u0679\u0631\u0648\u0644\u0648\u062c\u06cc<\/h4>\n<p>EUV \u0622\u0626\u06cc\u0646\u06d2 \u06a9\u06cc \u0633\u0637\u062d\u06cc \u0679\u067e\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0627\u0648\u0631 \u06a9\u06be\u0631\u062f\u0631\u06cc \u06a9\u0648 \u0645\u0637\u0644\u0648\u0628\u06c1 \u062f\u0631\u0633\u062a\u06af\u06cc \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be \u0645\u0627\u067e\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u067e\u06cc\u0645\u0627\u0626\u0634 \u06a9\u06cc \u0633\u0627\u0626\u0646\u0633 \u0645\u06cc\u06ba \u0633\u0628 \u0633\u06d2 \u0622\u06af\u06d2 \u062e\u0635\u0648\u0635\u06cc \u0645\u06cc\u0679\u0631\u0648\u0644\u0648\u062c\u06cc \u0679\u0648\u0644\u0632 \u06a9\u06cc \u0636\u0631\u0648\u0631\u062a \u06c1\u0648\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>EUV \u0622\u067e\u0679\u06a9\u0633 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0628\u06c1\u062a\u0631 \u0645\u06cc\u0679\u0631\u0648\u0644\u0648\u062c\u06cc \u0679\u0648\u0644\u0632 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u0627\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e ASML \u06a9\u06cc \u0633\u067e\u0644\u0627\u0626\u06cc \u0686\u06cc\u0646 \u0627\u0648\u0631 \u0627\u06af\u0644\u06cc \u0646\u0633\u0644 \u06a9\u06d2 EUV \u0633\u0633\u0679\u0645\u0632 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u062a\u062d\u0642\u06cc\u0642\u06cc \u0627\u062f\u0627\u0631\u0648\u06ba \u062f\u0648\u0646\u0648\u06ba \u0645\u06cc\u06ba \u06af\u0627\u06c1\u06a9\u0648\u06ba \u06a9\u0648 \u062a\u0644\u0627\u0634 \u06a9\u0631\u06cc\u06ba \u06af\u06d2\u06d4<\/p>\n<h2 id=\"heading-key-metrics-every-lithography-professional-should-know\">\u06a9\u0644\u06cc\u062f\u06cc \u0645\u06cc\u0679\u0631\u06a9\u0633 \u06c1\u0631 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u067e\u06cc\u0634\u06c1 \u0648\u0631 \u06a9\u0648 \u062c\u0627\u0646\u0646\u0627 \u0686\u0627\u06c1\u0626\u06d2\u06d4<\/h2>\n<p>\u0644\u06cc\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u0648 \u0633\u0645\u062c\u06be\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u06a9\u0644\u06cc\u062f\u06cc \u0645\u06cc\u0679\u0631\u06a9\u0633 \u06a9\u06cc \u0627\u06cc\u06a9 \u0633\u06cc\u0631\u06cc\u0632 \u0645\u06cc\u06ba \u0631\u0648\u0627\u0646\u06cc \u06a9\u06cc \u0636\u0631\u0648\u0631\u062a \u06c1\u0648\u062a\u06cc \u06c1\u06d2 \u062c\u0648 \u0646\u0638\u0627\u0645 \u0627\u0648\u0631 \u0639\u0645\u0644 \u06a9\u06cc \u06a9\u0627\u0631\u06a9\u0631\u062f\u06af\u06cc \u06a9\u06cc \u0648\u0636\u0627\u062d\u062a \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4 \u0686\u0627\u06c1\u06d2 \u0622\u067e \u0622\u0644\u0627\u062a \u06a9\u0627 \u062c\u0627\u0626\u0632\u06c1 \u0644\u06d2 \u0631\u06c1\u06d2 \u06c1\u0648\u06ba\u060c \u06a9\u0633\u06cc \u0622\u063a\u0627\u0632 \u06a9\u0627 \u0627\u0646\u062f\u0627\u0632\u06c1 \u0644\u06af\u0627 \u0631\u06c1\u06d2 \u06c1\u0648\u06ba\u060c \u06cc\u0627 \u06a9\u0633\u06cc \u0639\u0645\u0644 \u06a9\u0648 \u0688\u06cc\u0632\u0627\u0626\u0646 \u06a9\u0631 \u0631\u06c1\u06d2 \u06c1\u0648\u06ba\u060c \u062f\u0631\u062c \u0630\u06cc\u0644 \u0646\u0645\u0628\u0631 \u0627\u06c1\u0645 \u06c1\u06cc\u06ba:<\/p>\n<ol>\n<li>\n<p><strong>\u0627\u06c1\u0645 \u062c\u06c1\u062a (CD)<\/strong>: \u0641\u06cc\u0686\u0631 \u06a9\u0627 \u06a9\u0645 \u0627\u0632 \u06a9\u0645 \u0633\u0627\u0626\u0632 \u062c\u0648 \u0642\u0627\u0628\u0644 \u0627\u0639\u062a\u0645\u0627\u062f \u0637\u0631\u06cc\u0642\u06d2 \u0633\u06d2 \u067e\u0631\u0646\u0679 \u06a9\u06cc\u0627 \u062c\u0627 \u0633\u06a9\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 \u0645\u0648\u062c\u0648\u062f\u06c1 EUV \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u06cc\u06c1 \u0627\u06cc\u06a9 \u06c1\u06cc \u0646\u0645\u0627\u0626\u0634 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u062a\u0642\u0631\u06cc\u0628\u0627\u064b 13-16 nm \u06c1\u06d2\u06d4 \u0633\u06cc \u0688\u06cc \u06a9\u06cc \u06cc\u06a9\u0633\u0627\u0646\u06cc\u062a (\u0633\u06cc \u0688\u06cc \u0645\u06cc\u06ba \u0641\u0631\u0642 \u0627\u0648\u0631 \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u0633\u06d2 \u0648\u06cc\u0641\u0631) \u0628\u06be\u06cc \u0627\u062a\u0646\u0627 \u06c1\u06cc \u0627\u06c1\u0645 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0686\u0627\u062f\u0631<\/strong>: \u06cc\u06a9\u06d2 \u0628\u0639\u062f \u062f\u06cc\u06af\u0631\u06d2 \u0644\u06cc\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06a9 \u062a\u06c1\u0648\u06ba \u06a9\u06d2 \u062f\u0631\u0645\u06cc\u0627\u0646 \u0635\u0641 \u0628\u0646\u062f\u06cc \u06a9\u06cc \u062f\u0631\u0633\u062a\u06af\u06cc\u06d4 \u062c\u062f\u06cc\u062f \u062a\u0631\u06cc\u0646 ASML EUV \u0633\u0633\u0679\u0645 \u0630\u06cc\u0644\u06cc 2nm (3-sigma) \u0627\u0648\u0648\u0631\u0644\u06d2 \u062d\u0627\u0635\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u0627\u0648\u0648\u0631\u0644\u06d2 \u06a9\u06cc \u063a\u0644\u0637\u06cc\u0627\u06ba \u0627\u06cc\u0688\u0648\u0627\u0646\u0633 \u0686\u067e\u0633 \u0645\u06cc\u06ba \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u06a9\u06d2 \u0646\u0642\u0635\u0627\u0646 \u06a9\u06cc \u0627\u06cc\u06a9 \u0628\u0691\u06cc \u0648\u062c\u06c1 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u062a\u06be\u0631\u0648 \u067e\u0679<\/strong>: \u0641\u06cc \u06af\u06be\u0646\u0679\u06c1 \u067e\u0631\u0648\u0633\u06cc\u0633 \u0634\u062f\u06c1 \u0648\u06cc\u0641\u0631\u0632 \u06a9\u06cc \u062a\u0639\u062f\u0627\u062f\u06d4 \u0645\u0648\u062c\u0648\u062f\u06c1 EUV \u0633\u0633\u0679\u0645 \u0641\u06cc \u06af\u06be\u0646\u0679\u06c1 125 \u0633\u06d2 170 \u0648\u06cc\u0641\u0631\u0632 \u062d\u0627\u0635\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u062a\u06be\u0631\u0648 \u067e\u0679 \u0628\u0631\u0627\u06c1 \u0631\u0627\u0633\u062a \u0641\u06cc \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u0644\u0627\u06af\u062a \u0627\u0648\u0631 \u0633\u0627\u0645\u0627\u0646 \u06a9\u06cc \u0633\u0631\u0645\u0627\u06cc\u06c1 \u06a9\u0627\u0631\u06cc \u067e\u0631 \u0648\u0627\u067e\u0633\u06cc \u06a9\u0627 \u062a\u0639\u06cc\u0646 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u062a\u0627\u062b\u06cc\u0631<\/strong>: \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631\u06cc \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0633\u0633\u0679\u0645 \u06a9\u06d2 \u062f\u0633\u062a\u06cc\u0627\u0628 \u0648\u0642\u062a \u06a9\u0627 \u0641\u06cc\u0635\u062f\u06d4 \u0628\u0691\u06d2 \u0686\u067e \u0645\u06cc\u0646\u0648\u0641\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0631\u0632 \u0627\u067e\u0646\u06d2 EUV \u0633\u0633\u0679\u0645\u0632 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2>90% \u062f\u0633\u062a\u06cc\u0627\u0628\u06cc \u06a9\u0648 \u06c1\u062f\u0641 \u0628\u0646\u0627 \u0631\u06c1\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u063a\u06cc\u0631 \u0645\u0646\u0635\u0648\u0628\u06c1 \u0628\u0646\u062f \u0688\u0627\u0624\u0646 \u0679\u0627\u0626\u0645 \u0628\u06c1\u062a \u0645\u06c1\u0646\u06af\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 \u0627\u06af\u0631 EUV \u0633\u0633\u0679\u0645 \u0627\u06cc\u06a9 \u06af\u06be\u0646\u0679\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0628\u0646\u062f \u0631\u06c1\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u060c \u062a\u0648 \u0686\u067e \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u062a\u0642\u0631\u06cc\u0628\u0627\u064b $50,000 \u0633\u06d2 $100,000 \u06a9\u06cc \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u06a9\u06be\u0648 \u062f\u06cc\u06ba \u06af\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u062e\u0648\u0631\u0627\u06a9<\/strong>: \u0641\u06cc \u06cc\u0648\u0646\u0679 \u0631\u0642\u0628\u06c1 \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u06a9\u0648 \u0641\u0631\u0627\u06c1\u0645 \u06a9\u06cc \u062c\u0627\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06cc EUV \u062a\u0648\u0627\u0646\u0627\u0626\u06cc \u06a9\u06cc \u0645\u0642\u062f\u0627\u0631\u060c \u062c\u0633 \u06a9\u06cc \u067e\u06cc\u0645\u0627\u0626\u0634 mJ\/cm\u00b2 \u0645\u06cc\u06ba \u06a9\u06cc \u062c\u0627\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4 \u062e\u0648\u0631\u0627\u06a9 \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u0636\u0627\u0641\u06c1 \u0645\u0632\u0627\u062d\u0645\u062a\u06cc \u0646\u0645\u0627\u0626\u0634 \u06a9\u06cc \u06cc\u06a9\u0633\u0627\u0646\u06cc\u062a \u06a9\u0648 \u0628\u06c1\u062a\u0631 \u0628\u0646\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2 \u0644\u06cc\u06a9\u0646 \u062a\u06be\u0631\u0648 \u067e\u0679 \u06a9\u0648 \u06a9\u0645 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u0633\u06d2 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u062e\u0648\u0631\u0627\u06a9 \u062a\u0635\u0648\u06cc\u0631 \u06a9\u06d2 \u0645\u0639\u06cc\u0627\u0631 \u0627\u0648\u0631 \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0631\u06cc \u06a9\u06d2 \u062f\u0631\u0645\u06cc\u0627\u0646 \u062a\u0648\u0627\u0632\u0646 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0644\u0627\u0626\u0646 \u0627\u06cc\u062c \u06a9\u06be\u0631\u062f\u0631\u06cc (LER)<\/strong>: \u067e\u0631\u0646\u0679 \u0634\u062f\u06c1 \u062e\u0635\u0648\u0635\u06cc\u062a \u06a9\u06d2 \u06a9\u0646\u0627\u0631\u06d2 \u06a9\u06cc \u06a9\u06be\u0631\u062f\u0631\u06cc\u060c nm (3-sigma) \u0645\u06cc\u06ba \u0645\u0627\u067e\u0627 \u062c\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 LER EUV \u06a9\u06cc \u0646\u0645\u0627\u0626\u0634 \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u0633\u0679\u0627\u06a9\u0633\u0679\u06a9 \u062a\u0628\u062f\u06cc\u0644\u06cc\u0648\u06ba \u0633\u06d2 \u06a9\u0627\u0631\u0641\u0631\u0645\u0627 \u06c1\u06d2 \u0627\u0648\u0631 \u06a9\u0645 \u0627\u0632 \u06a9\u0645 \u067e\u0631\u0646\u0679 \u0627\u06cc\u0628\u0644 \u0641\u06cc\u0686\u0631 \u0633\u0627\u0626\u0632 \u06a9\u06cc \u0627\u06cc\u06a9 \u0628\u0646\u06cc\u0627\u062f\u06cc \u062d\u062f \u06c1\u06d2\u06d4 \u062c\u062f\u06cc\u062f \u062a\u0631\u06cc\u0646 EUV \u0639\u0645\u0644 2-3nm \u06a9\u06d2 LERs \u062d\u0627\u0635\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u062a\u0648\u062c\u06c1 \u06a9\u06cc \u06af\u06c1\u0631\u0627\u0626\u06cc (DOF)<\/strong>: \u0641\u0648\u06a9\u0633 \u067e\u0648\u0632\u06cc\u0634\u0646\u0632 \u06a9\u06cc \u062d\u062f \u062c\u0633 \u06a9\u06d2 \u0627\u0646\u062f\u0631 \u0642\u0627\u0628\u0644 \u0642\u0628\u0648\u0644 \u062a\u0635\u0648\u06cc\u0631\u06cc \u0645\u0639\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0648 \u0628\u0631\u0642\u0631\u0627\u0631 \u0631\u06a9\u06be\u0627 \u062c\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 DOF \u062c\u062a\u0646\u0627 \u06a9\u0645 \u06c1\u0648\u06af\u0627\u060c \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u0641\u0644\u06cc\u0679\u0646\u0633 \u0627\u0648\u0631 \u0641\u0648\u06a9\u0633 \u06a9\u0646\u0679\u0631\u0648\u0644 \u06a9\u06d2 \u062a\u0642\u0627\u0636\u06d2 \u0627\u062a\u0646\u06d2 \u06c1\u06cc \u0633\u062e\u062a \u06c1\u0648\u06ba \u06af\u06d2\u06d4 \u06c1\u0627\u0626\u06cc-NA EUV \u0645\u06cc\u06ba \u0645\u0648\u062c\u0648\u062f\u06c1 EUV \u0633\u06d2 \u0628\u06c1\u062a \u06a9\u0645 DOF \u06c1\u06d2\u060c \u062c\u0633 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u0686\u06a9 \u0641\u0644\u06cc\u0679\u0646\u0633 \u0627\u0648\u0631 \u0641\u0648\u06a9\u0633 \u0645\u06cc\u0679\u0631\u0648\u0644\u0648\u062c\u06cc \u0645\u06cc\u06ba \u0628\u06c1\u062a\u0631\u06cc \u06a9\u06cc \u0636\u0631\u0648\u0631\u062a \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<li>\n<p><strong>\u0645\u0627\u0633\u06a9 \u0627\u06cc\u0631\u0631 \u0627\u06cc\u0646\u06c1\u0627\u0646\u0633\u0645\u0646\u0679 \u0641\u06cc\u06a9\u0679\u0631 (MEEF)<\/strong>: \u06cc\u06c1 \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u06a9\u06cc \u0633\u06cc \u0688\u06cc \u0627\u06cc\u0631\u0631 \u0627\u0648\u0631 \u0645\u0627\u0633\u06a9 \u06a9\u06cc \u0633\u06cc \u0688\u06cc \u0627\u06cc\u0631\u0631 \u06a9\u0627 \u062a\u0646\u0627\u0633\u0628 \u06c1\u06d2 \u062c\u0648 \u06a9\u0645\u06cc \u06a9\u06cc \u0634\u0631\u062d \u0633\u06d2 \u0636\u0631\u0628 \u06c1\u06d2\u06d4 1 \u0633\u06d2 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 MEEF \u06a9\u0627 \u0645\u0637\u0644\u0628 \u06c1\u06d2 \u06a9\u06c1 \u067e\u0631\u0646\u0679 \u0634\u062f\u06c1 \u062a\u0635\u0648\u06cc\u0631 \u0645\u06cc\u06ba \u0645\u0627\u0633\u06a9 \u06a9\u06cc \u063a\u0644\u0637\u06cc\u0648\u06ba \u06a9\u0648 \u0628\u0691\u06be\u0627 \u062f\u06cc\u0627 \u062c\u0627\u0626\u06d2 \u06af\u0627\u060c \u062c\u0633 \u06a9\u06d2 \u0646\u062a\u06cc\u062c\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba \u0645\u0627\u0633\u06a9 \u06a9\u06d2 \u0645\u0639\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0645\u0632\u06cc\u062f \u0633\u062e\u062a \u062a\u0642\u0627\u0636\u06d2 \u06c1\u0648\u06ba \u06af\u06d2\u06d4<\/p>\n<\/li>\n<\/ol>\n<p>\u0627\u0646 \u0645\u06cc\u0679\u0631\u06a9\u0633 \u0645\u06cc\u06ba \u0645\u0627\u06c1\u0631 \u06c1\u0648\u0646\u0627 \u2014 \u06cc\u06c1 \u0633\u0645\u062c\u06be\u0646\u0627 \u06a9\u06c1 \u0627\u0646 \u06a9\u0648 \u06a9\u06cc\u0627 \u0686\u0644\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u060c \u0648\u06c1 \u06a9\u06cc\u0633\u06d2 \u062a\u0639\u0627\u0645\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0645\u0648\u062c\u0648\u062f\u06c1 \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc\u0632 \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be \u06a9\u06cc\u0627 \u0642\u062f\u0631 \u062d\u0627\u0635\u0644 \u06a9\u06cc \u062c\u0627 \u0633\u06a9\u062a\u06cc \u06c1\u06d2 \u2014 \u0644\u06cc\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06a9 \u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631\u0646\u06af \u06a9\u06cc \u0645\u06c1\u0627\u0631\u062a \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0628\u0646\u06cc\u0627\u062f\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0627\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e \u06a9\u06d2 \u0628\u0627\u0646\u06cc\u0648\u06ba \u0627\u0648\u0631 \u0633\u0631\u0645\u0627\u06cc\u06c1 \u06a9\u0627\u0631\u0648\u06ba \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2\u060c \u0627\u0646 \u0645\u06cc\u0679\u0631\u06a9\u0633 \u06a9\u0648 \u0633\u0645\u062c\u06be\u0646\u0627 \u0627\u0633 \u0628\u0627\u062a \u06a9\u0627 \u062c\u0627\u0626\u0632\u06c1 \u0644\u06cc\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0636\u0631\u0648\u0631\u06cc \u06c1\u06d2 \u06a9\u06c1 \u0622\u06cc\u0627 \u0645\u062c\u0648\u0632\u06c1 \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc \u062f\u0631\u062d\u0642\u06cc\u0642\u062a \u067e\u0631\u0648\u0688\u06a9\u0634\u0646 \u06a9\u06cc \u0631\u06a9\u0627\u0648\u0679 \u06a9\u0648 \u062d\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u06c1\u06d2 \u06cc\u0627 \u06a9\u0633\u06cc \u0627\u06cc\u0633\u06d2 \u0645\u0633\u0626\u0644\u06d2 \u06a9\u0648 \u062d\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u06c1\u06d2 \u062c\u0648 \u0645\u0648\u062c\u0648\u062f \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<h3 id=\"heading-what-to-watch-in-the-next-five-years\">\u0627\u06af\u0644\u06d2 \u067e\u0627\u0646\u0686 \u0633\u0627\u0644\u0648\u06ba \u0645\u06cc\u06ba \u06a9\u06cc\u0627 \u062f\u06cc\u06a9\u06be\u0646\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/h3>\n<p>2030 \u062a\u06a9 \u0644\u06cc\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06d2 \u0645\u0646\u0638\u0631 \u0646\u0627\u0645\u06d2 \u06a9\u06cc \u0648\u0636\u0627\u062d\u062a \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06cc \u06a9\u0686\u06be \u067e\u06cc\u0634\u0631\u0641\u062a \u0645\u06cc\u06ba \u0634\u0627\u0645\u0644 \u06c1\u06cc\u06ba:<\/p>\n<p><strong>\u06c1\u0627\u0626\u06cc-NA EUV \u0628\u0691\u06d2 \u067e\u06cc\u0645\u0627\u0646\u06d2 \u067e\u0631 \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u0645\u06cc\u06ba \u062f\u0627\u062e\u0644 \u06c1\u0648\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/strong>: Intel \u0646\u06d2 \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u0645\u06cc\u06ba High-NA EUV \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u067e\u06c1\u0644\u06d2 \u06c1\u0648\u0646\u06d2 \u06a9\u0627 \u0639\u06c1\u062f \u06a9\u06cc\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 TSMC \u0627\u0648\u0631 Samsung \u067e\u06cc\u0631\u0648\u06cc \u06a9\u0631\u06cc\u06ba \u06af\u06d2\u06d4 High-NA \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u0636\u0627\u0641\u06c1 \u0627\u0633 \u0628\u0627\u062a \u06a9\u0627 \u062a\u0639\u06cc\u0646 \u06a9\u0631\u06d2 \u06af\u0627 \u06a9\u06c1 \u0622\u06cc\u0627 \u0627\u0646\u0688\u0633\u0679\u0631\u06cc \u0634\u06cc\u0688\u0648\u0644 \u06a9\u06d2 \u0645\u0637\u0627\u0628\u0642 2nm \u0633\u06d2 \u0646\u06cc\u0686\u06d2 \u0633\u06a9\u06cc\u0644 \u062c\u0627\u0631\u06cc \u0631\u06a9\u06be \u0633\u06a9\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p><strong>\u0686\u06cc\u0646 \u06a9\u06d2 \u06af\u06be\u0631\u06cc\u0644\u0648 \u0633\u0627\u0645\u0627\u0646 \u06a9\u06cc \u062a\u0631\u0642\u06cc<\/strong>: SMEE \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0633 \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be\u06cc \u062a\u0631\u0642\u06cc \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u0631\u06c1\u06cc\u06ba \u06af\u06d2\u06d4 \u0633\u0648\u0627\u0644 \u06cc\u06c1 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06c1\u06d2 \u06a9\u06c1 \u0622\u06cc\u0627 \u0686\u06cc\u0646 \u0645\u0644\u06a9\u06cc \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u06cc \u0635\u0644\u0627\u062d\u06cc\u062a\u0648\u06ba \u06a9\u0648 \u062a\u0631\u0642\u06cc \u062f\u06d2 \u06af\u0627\u060c \u0628\u0644\u06a9\u06c1 \u06cc\u06c1 \u06c1\u06d2 \u06a9\u06c1 \u06a9\u062a\u0646\u06cc \u062c\u0644\u062f\u06cc \u0627\u0648\u0631 \u06a9\u0633 \u0646\u0648\u0688\u0633 \u067e\u0631\u06d4 \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u0645\u06cc\u06ba \u062f\u0627\u062e\u0644 \u06c1\u0648\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u0627 \u0686\u06cc\u0646\u06cc \u0627\u06d2 \u0622\u0631 \u0627\u06cc\u0641 \u0648\u0633\u0631\u062c\u0646 \u0646\u0638\u0627\u0645 \u0627\u06cc\u06a9 \u0627\u06c1\u0645 \u062c\u06cc\u0648 \u067e\u0648\u0644\u06cc\u0679\u06cc\u06a9\u0644 \u0633\u0646\u06af \u0645\u06cc\u0644 \u06c1\u0648\u06af\u0627\u06d4<\/p>\n<p><strong>\u06a9\u06cc\u0646\u0646 \u06a9\u06cc \u0646\u06cc\u0646\u0688 \u067e\u0631\u0648\u0688\u06a9\u0634\u0646 NIL<\/strong>: \u0627\u06af\u0631 KIOXIA Canon \u06a9\u06cc NIL \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc \u06a9\u0648 NAND \u0641\u0644\u06cc\u0634 \u067e\u0631\u0648\u0688\u06a9\u0634\u0646 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0645\u0648\u0632\u0648\u06ba \u0642\u0631\u0627\u0631 \u062f\u06cc\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u060c \u062a\u0648 \u06cc\u06c1 \u067e\u06c1\u0644\u06cc \u0628\u0627\u0631 \u06c1\u0648 \u06af\u0627 \u06a9\u06c1 \u063a\u06cc\u0631 \u0622\u067e\u0679\u06cc\u06a9\u0644 \u067e\u06cc\u0679\u0631\u0646\u0646\u06af \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc \u0628\u0691\u06d2 \u067e\u06cc\u0645\u0627\u0646\u06d2 \u067e\u0631 \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0645\u06cc\u0646\u0648\u0641\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0646\u06af \u0645\u06cc\u06ba \u062f\u0627\u062e\u0644 \u06c1\u0648\u0626\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4 \u06cc\u06c1 NIL \u06a9\u0648 \u0627\u06cc\u06a9 \u0642\u0627\u0628\u0644 \u0627\u0639\u062a\u0645\u0627\u062f \u0645\u062a\u0628\u0627\u062f\u0644 \u06a9\u06d2 \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u062a\u0648\u062b\u06cc\u0642 \u06a9\u0631\u06d2 \u06af\u0627 \u0627\u0648\u0631 \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc \u0645\u06cc\u06ba \u0633\u0631\u0645\u0627\u06cc\u06c1 \u06a9\u0627\u0631\u06cc \u06a9\u0648 \u062a\u06cc\u0632 \u06a9\u0631\u06d2 \u06af\u0627\u06d4<\/p>\n<p><strong>\u067e\u06cc\u0645\u0627\u0646\u06d2 \u067e\u0631 AI \u0633\u06d2 \u0686\u0644\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06cc \u06a9\u0645\u067e\u06cc\u0648\u0679\u06cc\u0634\u0646\u0644 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc\u06d4<\/strong>: NVIDIA \u06a9\u06d2 cuLitho \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0633\u06cc \u0637\u0631\u062d \u06a9\u06d2 GPU- \u0627\u06cc\u06a9\u0633\u0644\u0631\u06cc\u0679\u0688 \u067e\u0644\u06cc\u0679 \u0641\u0627\u0631\u0645\u0632 \u0645\u0627\u0633\u06a9 \u0688\u06cc\u0679\u0627 \u06a9\u06cc \u062a\u06cc\u0627\u0631\u06cc \u06a9\u06cc \u0645\u0639\u0627\u0634\u06cc\u0627\u062a \u06a9\u0648 \u062a\u0628\u062f\u06cc\u0644 \u06a9\u0631\u0646\u0627 \u0634\u0631\u0648\u0639 \u06a9\u0631 \u0631\u06c1\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u062c\u06cc\u0633\u06d2 \u062c\u06cc\u0633\u06d2 \u06cc\u06c1 \u0679\u0648\u0644\u0632 \u067e\u062e\u062a\u06c1 \u06c1\u0648\u062a\u06d2 \u062c\u0627\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u0648\u06c1 \u062a\u06cc\u0632 \u062a\u0631 \u0688\u06cc\u0632\u0627\u0626\u0646 \u0633\u0627\u0626\u06cc\u06a9\u0644 \u0627\u0648\u0631 \u0645\u0645\u06a9\u0646\u06c1 \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u0646\u0626\u06cc \u067e\u06cc\u0679\u0631\u0646\u0646\u06af \u06a9\u06cc \u062d\u06a9\u0645\u062a \u0639\u0645\u0644\u06cc\u0648\u06ba \u06a9\u0648 \u0642\u0627\u0628\u0644 \u0628\u0646\u0627\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba \u062c\u0648 \u067e\u06c1\u0644\u06d2 \u06a9\u0645\u067e\u06cc\u0648\u0679\u06cc\u0634\u0646\u0644 \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u0628\u06c1\u062a \u0645\u06c1\u0646\u06af\u06cc \u062a\u06be\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p><strong>\u0627\u0633\u06a9\u06cc\u0644\u0646\u06af \u0648\u06cc\u06a9\u0679\u0631 \u06a9\u06d2 \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u0627\u0639\u0644\u06cc \u062f\u0631\u062c\u06d2 \u06a9\u06cc \u067e\u06cc\u06a9\u06cc\u062c\u0646\u06af<\/strong>: \u062c\u06cc\u0633\u06d2 \u062c\u06cc\u0633\u06d2 \u0641\u0631\u0646\u0679 \u0627\u06cc\u0646\u0688 \u0627\u0633\u06a9\u06cc\u0644\u0646\u06af \u0633\u0633\u062a \u067e\u0691\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u060c \u0627\u06cc\u0688\u0648\u0627\u0646\u0633 \u067e\u06cc\u06a9\u06cc\u062c\u0646\u06af \u062c\u06cc\u0633\u06d2 \u0686\u067e\u0644\u06cc\u0679\u060c \u062a\u06be\u0631\u06cc \u0688\u06cc \u0627\u0633\u0679\u06cc\u06a9\u0646\u06af\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0645\u062a\u0636\u0627\u062f \u0627\u0646\u0636\u0645\u0627\u0645 \u062a\u06cc\u0632\u06cc \u0633\u06d2 \u0627\u06c1\u0645 \u06c1\u0648\u062a\u0627 \u062c\u0627\u0626\u06d2 \u06af\u0627\u06d4 \u062c\u062f\u06cc\u062f \u067e\u06cc\u06a9\u06cc\u062c\u0646\u06af \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0622\u0644\u0627\u062a \u0627\u0648\u0631 \u067e\u0631\u0627\u0633\u06cc\u0633 \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc\u0632 \u0641\u0631\u0646\u0679 \u0627\u06cc\u0646\u0688 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0633\u06d2 \u06a9\u0645 \u067e\u062e\u062a\u06c1 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u062c\u0648 \u0646\u0626\u06d2 \u0622\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u0648\u06ba \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0627\u06c1\u0645 \u0645\u0648\u0627\u0642\u0639 \u0641\u0631\u0627\u06c1\u0645 \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<h2 id=\"heading-asmls-survival-odds-a-critical-analysis\">ASML \u06a9\u06cc \u0628\u0642\u0627 \u06a9\u0627 \u0627\u0645\u06a9\u0627\u0646: \u0627\u06cc\u06a9 \u0627\u06c1\u0645 \u062a\u062c\u0632\u06cc\u06c1\u06d4<\/h2>\n<h3 id=\"heading-the-isolation-trap\">\u062a\u0646\u06c1\u0627\u0626\u06cc \u06a9\u0627 \u062c\u0627\u0644<\/h3>\n<p>ASML \u0648\u06c1 \u0648\u0627\u062d\u062f \u0639\u0627\u0644\u0645\u06cc \u0645\u0639\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u06cc \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc \u06c1\u06d2 \u062c\u0648 \u062e\u0637\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba \u062f\u0648\u0633\u0631\u06cc \u0645\u0635\u0646\u0648\u0639\u0627\u062a \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba \u0648\u0627\u0636\u062d \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u0646\u0627\u06a9\u0627\u0645 \u0631\u06c1\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4 \u06cc\u0648\u0631\u067e \u06a9\u06d2 \u0648\u0633\u06cc\u0639 \u062a\u0631 \u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e \u0627\u0648\u0631 \u0679\u06cc\u06a9 \u0627\u06cc\u06a9\u0648 \u0633\u0633\u0679\u0645 \u06a9\u0627 \u0627\u0645\u0631\u06cc\u06a9\u06c1 \u0633\u06d2 \u0645\u0648\u0627\u0632\u0646\u06c1 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u0648\u0626\u06d2\u060c \u06cc\u06c1 \u0627\u0645\u0631\u06cc\u06a9\u06cc \u067e\u0644\u06cc\u0679 \u0641\u0627\u0631\u0645 \u062c\u0646\u0627\u062a \u06a9\u06d2 \u0633\u067e\u0631\u0646\u0648\u0648\u0627 \u06a9\u06d2 \u062e\u0644\u0627\u0641 \u06a9\u06be\u0691\u06d2 \u0631\u06c1\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u0648\u06ba \u06a9\u0627 \u0627\u06cc\u06a9 \u0628\u06c1\u062a \u06a9\u0645 \u0645\u062c\u0645\u0648\u0639\u06c1 \u06c1\u06d2\u06d4 ASML \u0648\u06cc\u0631\u0644 \u06a9\u0644\u0633\u0679\u0631 \u06a9\u06d2 \u0627\u0648\u067e\u0631 \u0627\u06a9\u06cc\u0644\u0627 \u0628\u06cc\u0679\u06be\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0627\u06cc\u06a9 \u0646\u0627\u0632\u06a9 \u0645\u0627\u062d\u0648\u0644\u06cc\u0627\u062a\u06cc \u0646\u0638\u0627\u0645 \u0645\u06cc\u06ba \u0648\u0627\u062d\u062f \u062f\u06cc\u0648 \u06c1\u0648\u0646\u0627 \u0637\u0627\u0642\u062a \u06a9\u06cc \u062d\u06cc\u062b\u06cc\u062a \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06c1\u06d2\u06d4 \u06cc\u06c1 \u0642\u0631\u0646\u0637\u06cc\u0646\u06c1 \u06a9\u0627 \u062c\u0627\u0644 \u06c1\u06d2\u06d4 \u0645\u06cc\u06a9\u0627\u0646\u06a9\u0633 \u0645\u062e\u0635\u0648\u0635 \u0627\u0648\u0631 \u06a9\u0645 \u062a\u062e\u0645\u06cc\u0646\u06c1 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<h4 id=\"heading-no-talent-flywheel\">\u06a9\u0648\u0626\u06cc \u0679\u06cc\u0644\u0646\u0679 \u0641\u0644\u0627\u0626\u06cc \u0648\u06c1\u06cc\u0644 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/h4>\n<p>\u0633\u06cc\u0644\u06cc\u06a9\u0648\u0646 \u0648\u06cc\u0644\u06cc \u0627\u06cc\u0633\u06d2 \u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631\u0632 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u06c1\u06d2 \u062c\u0648 \u0627\u06cc\u067e\u0644\u060c \u06af\u0648\u06af\u0644\u060c \u0646\u06cc\u0648\u0688\u06cc\u0627\u060c \u0627\u0648\u0631 \u062f\u0631\u062c\u0646\u0648\u06ba \u0627\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e\u0633 \u0645\u06cc\u06ba \u0622\u0626\u06cc\u0688\u06cc\u0627\u0632 \u06a9\u0648 \u0639\u0628\u0648\u0631 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba \u0627\u0648\u0631 \u0645\u06c1\u0627\u0631\u062a \u06a9\u06d2 \u067e\u06cc\u0686\u06cc\u062f\u06c1 \u0646\u06cc\u0679 \u0648\u0631\u06a9 \u0628\u0646\u0627\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p>\u0648\u06cc\u0644\u0688\u0648\u0648\u0646 \u0639\u0627\u0645 \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u0627\u06cc\u0633\u06d2 \u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2 \u062c\u0648 \u06cc\u0627 \u062a\u0648 ASML \u0645\u06cc\u06ba \u0631\u06c1\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba \u06cc\u0627 \u0645\u06a9\u0645\u0644 \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u06cc\u0648\u0631\u067e \u0686\u06be\u0648\u0691 \u062f\u06cc\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u06a9\u0648\u0626\u06cc \u0645\u0642\u0627\u0645\u06cc \u06c1\u0645 \u0645\u0631\u062a\u0628\u06c1 \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0627\u06ba \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06c1\u06cc\u06ba \u062c\u0646 \u06a9\u06d2 \u062e\u0644\u0627\u0641 \u0628\u06cc\u0646\u0686 \u0645\u0627\u0631\u06a9 \u06a9\u06cc\u0627 \u062c\u0627\u0626\u06d2\u060c ASML \u06a9\u06d2 \u0688\u06be\u0627\u0646\u0686\u06d2 \u0633\u06d2 \u0628\u0627\u06c1\u0631 \u0679\u06cc\u0644\u0646\u0679 \u06a9\u0648 \u062c\u0630\u0628 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u06a9\u0648\u0626\u06cc \u0645\u0644\u062d\u0642\u06c1 \u0645\u0627\u062d\u0648\u0644\u06cc\u0627\u062a\u06cc \u0646\u0638\u0627\u0645 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06c1\u06d2\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0633\u06d2 \u0645\u062a\u0639\u0644\u0642\u06c1 \u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631\u0632 \u06a9\u06cc \u0627\u06af\u0644\u06cc \u0646\u0633\u0644 \u067e\u06cc\u062f\u0627 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u06a9\u0648\u0626\u06cc \u0645\u0642\u0627\u0645\u06cc \u0627\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e \u0645\u0646\u0638\u0631 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<h4 id=\"heading-political-dependency-becomes-a-leash\">\u0633\u06cc\u0627\u0633\u06cc \u0627\u0646\u062d\u0635\u0627\u0631 \u063a\u0644\u0627\u0645\u06cc \u0628\u0646 \u062c\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/h4>\n<p>\u0688\u0686 \u062d\u06a9\u0648\u0645\u062a \u06a9\u0648 \u0622\u0632\u0627\u062f\u0627\u0646\u06c1 \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u06a9\u0627\u0645 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06cc \u0627\u062c\u0627\u0632\u062a \u062f\u06cc\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 ASML \u06a9\u06cc \u0628\u06c1\u062a \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u0636\u0631\u0648\u0631\u062a \u06c1\u06d2\u06d4 \u06c1\u0627\u0624\u0633\u0646\u06af \u0628\u062d\u0631\u0627\u0646\u060c \u063a\u06cc\u0631 \u0645\u0644\u06a9\u06cc \u06c1\u0646\u0631 \u067e\u0631 \u067e\u0627\u0628\u0646\u062f\u06cc\u0627\u06ba\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0679\u06cc\u06a9\u0633 \u06a9\u06d2 \u062a\u0646\u0627\u0632\u0639\u0627\u062a \u0645\u0639\u0645\u0648\u0644\u06cc \u062c\u06be\u06af\u0691\u06d2 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u06cc\u06c1 570 \u0628\u0644\u06cc\u0646 \u06cc\u0648\u0631\u0648 \u06a9\u06cc \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc \u06a9\u06cc \u0627\u06cc\u06a9 \u0639\u0644\u0627\u0645\u062a \u06c1\u06d2 \u062c\u0648 5 \u0628\u0644\u06cc\u0646 \u06cc\u0648\u0631\u0648 \u06a9\u06cc \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0628\u0646\u0627\u0626\u06d2 \u06af\u0626\u06d2 \u0627\u0646\u0641\u0631\u0627\u0633\u0679\u0631\u06a9\u0686\u0631 \u0645\u06cc\u06ba \u067e\u06be\u0646\u0633\u06cc \u06c1\u0648\u0626\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>2024 \u0633\u06d2 \u0627\u06d2 \u0627\u06cc\u0633 \u0627\u06cc\u0645 \u0627\u06cc\u0644 \u06a9\u06cc \u0645\u0646\u062a\u0642\u0644\u06cc \u06a9\u06cc \u0628\u062d\u062b\u06cc\u06ba \u062e\u0627\u0644\u0635\u062a\u0627\u064b \u06af\u0641\u062a \u0648 \u0634\u0646\u06cc\u062f \u06a9\u06d2 \u0645\u06cc\u062f\u0627\u0646 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u062c\u0628 \u0627\u0633 \u0633\u0627\u0626\u0632 \u06a9\u06cc \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc \u0627\u067e\u0646\u06d2 \u0645\u0644\u06a9 \u0633\u06d2 \u0628\u0627\u06c1\u0631 \u0632\u0646\u062f\u06af\u06cc \u06a9\u0648 \u0633\u0646\u062c\u06cc\u062f\u06af\u06cc \u0633\u06d2 \u0645\u0627\u0688\u0644 \u0628\u0646\u0627\u0646\u0627 \u0634\u0631\u0648\u0639 \u06a9\u0631 \u062f\u06cc\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u060c \u062a\u0648 \u0627\u0633 \u06a9\u06d2 \u0628\u06c1\u062a\u0631\u06cc\u0646 \u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631 \u067e\u06c1\u0644\u06d2 \u06c1\u06cc \u062e\u0627\u0645\u0648\u0634\u06cc \u0633\u06d2 \u0630\u0627\u062a\u06cc \u0645\u0642\u0627\u0645 \u06a9\u06d2 \u0641\u06cc\u0635\u0644\u06d2 \u06a9\u0631 \u0631\u06c1\u06d2 \u06c1\u0648\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u0633\u0628 \u0633\u06d2 \u0627\u0648\u067e\u0631 \u067e\u0631\u062a\u06cc\u0628\u06be\u0627 \u06a9\u06cc \u0646\u0627\u0644\u06cc \u0633\u0633\u062a\u060c \u0646\u0627\u0642\u0627\u0628\u0644 \u062a\u0635\u0648\u0631\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0646\u0627\u0642\u0627\u0628\u0644 \u0648\u0627\u067e\u0633\u06cc \u06c1\u06d2.<\/p>\n<h4 id=\"heading-no-backup-if-asml-stumbles\">\u0627\u06af\u0631 ASML \u063a\u06cc\u0631 \u0645\u0633\u062a\u062d\u06a9\u0645 \u06c1\u0648 \u062c\u0627\u0626\u06d2 \u062a\u0648 \u0628\u06cc\u06a9 \u0627\u067e \u0645\u0645\u06a9\u0646 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06c1\u06d2\u06d4<\/h4>\n<p>\u062c\u0628 \u0627\u0646\u0679\u06cc\u0644 \u0646\u06d2 \u067e\u0631\u0627\u0633\u06cc\u0633 \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc \u0633\u06d2 \u0679\u06be\u0648\u06a9\u0631 \u06a9\u06be\u0627\u0626\u06cc \u062a\u0648 TSMC \u0627\u0648\u0631 AMD \u0646\u06d2 \u0627\u0633 \u062e\u0644\u0627 \u06a9\u0648 \u067e\u064f\u0631 \u06a9\u06cc\u0627\u06d4 \u0627\u06af\u0631 ASML Zeiss \u0633\u067e\u0644\u0627\u0626\u06cc \u0645\u06cc\u06ba \u0631\u06a9\u0627\u0648\u0679\u060c \u06c1\u0627\u0626\u06cc-NA \u0631\u06cc\u0645\u067e \u06a9\u06cc \u0646\u0627\u06a9\u0627\u0645\u06cc\u060c \u0627\u06c1\u0645 \u0627\u06cc\u06af\u0632\u06cc\u06a9\u0679\u0648 \u06a9\u06cc \u0631\u0648\u0627\u0646\u06af\u06cc \u0648\u063a\u06cc\u0631\u06c1 \u06a9\u06cc \u0648\u062c\u06c1 \u0633\u06d2 \u0679\u06be\u0648\u06a9\u0631 \u06a9\u06be\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u060c \u062a\u0648 \u06a9\u0648\u0626\u06cc \u06cc\u0648\u0631\u067e\u06cc \u0645\u062a\u0628\u0627\u062f\u0644 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06c1\u06d2\u06d4 \u067e\u0648\u0631\u06cc \u0639\u0627\u0644\u0645\u06cc \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0633\u067e\u0644\u0627\u0626\u06cc \u0686\u06cc\u0646 \u0645\u06cc\u06ba \u0646\u0627\u06a9\u0627\u0645\u06cc \u06a9\u0627 \u0627\u06cc\u06a9 \u0646\u0642\u0637\u06c1 \u06c1\u06d2 \u062c\u0633 \u0645\u06cc\u06ba \u06a9\u0648\u0626\u06cc \u062c\u063a\u0631\u0627\u0641\u06cc\u0627\u0626\u06cc \u0627\u0648\u0648\u0631\u0644\u06cc\u067e \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<h3 id=\"heading-the-real-threat-vector-value-migration-not-hardware-competition\">\u062d\u0642\u06cc\u0642\u06cc \u062e\u0637\u0631\u06c1 \u0648\u06cc\u06a9\u0679\u0631: \u0642\u062f\u0631 \u06a9\u06cc \u0645\u0646\u062a\u0642\u0644\u06cc\u060c \u06c1\u0627\u0631\u0688 \u0648\u06cc\u0626\u0631 \u0645\u0642\u0627\u0628\u0644\u06c1 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/h3>\n<p>\u0645\u0648\u062c\u0648\u062f\u06c1 \u0641\u0631\u06cc\u0645\u0646\u06af &#8211; &quot;\u06a9\u06cc\u0627 \u0627\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e \u0628\u06c1\u062a\u0631 EUV \u0633\u0633\u0679\u0645\u0632 \u0628\u0646\u0627\u0626\u06cc\u06ba \u06af\u06d2\u061f&#8221; &#8211; \u06cc\u06c1 \u063a\u0644\u0637 \u0633\u0648\u0627\u0644 \u06c1\u06d2\u06d4 \u06a9\u0648\u0626\u06cc \u0628\u06be\u06cc \u0627\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e \u0645\u0633\u0627\u0628\u0642\u062a\u06cc EUV \u0633\u0633\u0679\u0645 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u0628\u0646\u0627 \u0631\u06c1\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 \u0637\u0628\u06cc\u0639\u06cc\u0627\u062a\u060c \u0633\u0631\u0645\u0627\u0626\u06d2 \u06a9\u06d2 \u062a\u0642\u0627\u0636\u06d2\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0633\u067e\u0644\u0627\u0626\u06cc \u0686\u06cc\u0646 \u06a9\u06cc \u067e\u06cc\u0686\u06cc\u062f\u06af\u06cc\u0627\u06ba 10 \u0633\u0627\u0644 \u0633\u06d2 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u0637\u0648\u06cc\u0644 \u067e\u0631\u0648\u062c\u06cc\u06a9\u0679 \u0628\u0646\u0627\u062a\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u06cc\u06c1\u0627\u06ba \u062a\u06a9 \u06a9\u06c1 \u0644\u0627\u0645\u062d\u062f\u0648\u062f \u0641\u0646\u0688\u0646\u06af \u200b\u200b\u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be\u06d4<\/p>\n<p>\u062d\u0642\u06cc\u0642\u06cc \u062e\u0637\u0631\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0648\u06cc\u06a9\u0679\u0631 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u0644\u0637\u06cc\u0641 \u06c1\u0648\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba \u0627\u0648\u0631 \u062a\u06cc\u0632\u06cc \u0633\u06d2 \u062d\u0631\u06a9\u062a \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<h4 id=\"heading-1-value-migration-to-the-software-layer\">1. \u0633\u0627\u0641\u0679 \u0648\u06cc\u0626\u0631 \u067e\u0631\u062a \u0645\u06cc\u06ba \u0642\u062f\u0631 \u06a9\u06cc \u0645\u0646\u062a\u0642\u0644\u06cc\u06d4<\/h4>\n<p>NVIDIA \u06a9\u06d2 cuLitho\u060c Synopsys \u06a9\u06d2 \u06a9\u0645\u067e\u06cc\u0648\u0679\u06cc\u0634\u0646\u0644 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0679\u0648\u0644\u0632\u060c \u0627\u0648\u0631 AI \u067e\u0631 \u0645\u0628\u0646\u06cc \u067e\u0631\u0648\u0633\u06cc\u0633 \u06a9\u0646\u0679\u0631\u0648\u0644 \u067e\u0644\u06cc\u0679 \u0641\u0627\u0631\u0645 \u0645\u0634\u06cc\u0646 \u06a9\u06cc \u0630\u06c1\u0627\u0646\u062a \u06a9\u06cc \u062a\u06c1\u06c1 \u06a9\u0648 \u0627\u0648\u067e\u0631 \u0644\u06d2 \u062c\u0627 \u0631\u06c1\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u0627\u06af\u0631 EUV \u0627\u0633\u06a9\u06cc\u0646\u0631\u0632 \u06a9\u0645\u0631\u0634\u0644 \u0627\u06cc\u06af\u0632\u06cc\u06a9\u06cc\u0648\u0634\u0646 \u0627\u0646\u062c\u0646 \u0628\u0646 \u062c\u0627\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba \u0627\u0648\u0631 IP \u0633\u0627\u0641\u0679 \u0648\u06cc\u0626\u0631 (\u0645\u0627\u0633\u06a9 \u0622\u067e\u0679\u06cc\u0645\u0627\u0626\u0632\u06cc\u0634\u0646\u060c \u067e\u0631\u0648\u0633\u06cc\u0633 \u06a9\u0646\u0679\u0631\u0648\u0644\u060c \u0627\u0648\u0631 \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u06a9\u06cc \u067e\u06cc\u0634\u0646 \u06af\u0648\u0626\u06cc \u0627\u0644\u06af\u0648\u0631\u062a\u06be\u0645) \u0645\u06cc\u06ba \u0631\u06c1\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u060c \u062a\u0648 ASML \u06a9\u06cc \u0642\u06cc\u0645\u062a\u0648\u06ba \u06a9\u0627 \u062a\u0639\u06cc\u0646 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06cc \u0637\u0627\u0642\u062a \u06a9\u0633\u06cc \u0627\u06cc\u06a9 \u06c1\u0627\u0631\u0688 \u0648\u06cc\u0626\u0631 \u06a9\u06d2 \u0645\u062f\u0645\u0642\u0627\u0628\u0644 \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u0645\u0646\u06d2 \u0622\u0626\u06d2 \u0628\u063a\u06cc\u0631 \u06a9\u0645\u0632\u0648\u0631 \u06c1\u0648 \u062c\u0627\u0626\u06d2 \u06af\u06cc\u06d4 \u0645\u0634\u06cc\u0646 \u067e\u0631\u0646\u0679\u0631 \u0628\u0646 \u062c\u0627\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0633\u0627\u0641\u0679 \u0648\u06cc\u0626\u0631 \u0622\u067e\u0631\u06cc\u0679\u0646\u06af \u0633\u0633\u0679\u0645 \u0628\u0646 \u062c\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<h4 id=\"heading-2-customer-consolidation-leverage\">2. \u06a9\u0633\u0679\u0645\u0631 \u0627\u0646\u0636\u0645\u0627\u0645 \u06a9\u0627 \u0641\u0627\u0626\u062f\u06c1 \u0627\u0679\u06be\u0627\u0646\u0627\u06d4<\/h4>\n<p>TSMC\u060c Samsung\u060c \u0627\u0648\u0631 Intel \u0645\u0634\u062a\u0631\u06a9\u06c1 \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 ASML EUV \u0622\u0645\u062f\u0646\u06cc \u06a9\u06cc \u0627\u06a9\u062b\u0631\u06cc\u062a \u06a9\u06cc \u0646\u0645\u0627\u0626\u0646\u062f\u06af\u06cc \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u0627\u0646 \u062a\u06cc\u0646\u0648\u06ba \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0648\u06ba \u06a9\u0627 \u0645\u0634\u062a\u0631\u06a9\u06c1 R&#038;D \u0628\u062c\u0679 ASML \u06a9\u06cc \u067e\u0648\u0631\u06cc \u0645\u0627\u0631\u06a9\u06cc\u0679 \u06a9\u06cc\u067e\u0679\u0644\u0627\u0626\u0632\u06cc\u0634\u0646 \u0633\u06d2 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u06c1\u06d2\u06d4 \u0627\u06cc\u06a9 \u06af\u0641\u062a \u0648 \u0634\u0646\u06cc\u062f \u06a9\u06d2 \u0622\u0644\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u0645\u062a\u0628\u0627\u062f\u0644 \u067e\u06cc\u0679\u0631\u0646\u0646\u06af \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc\u0632 (\u06cc\u06c1\u0627\u06ba \u062a\u06a9 \u06a9\u06c1 \u06a9\u0645\u062a\u0631 \u0628\u06be\u06cc) \u06a9\u0648 \u062a\u0639\u0627\u0648\u0646 \u0641\u0631\u0627\u06c1\u0645 \u06a9\u0631\u0646\u0627 ASML \u06a9\u06d2 \u0645\u0627\u0631\u062c\u0646 \u0688\u06be\u0627\u0646\u0686\u06d2 \u06a9\u0648 \u0645\u0633\u062a\u0642\u0644 \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u062a\u0628\u062f\u06cc\u0644 \u06a9\u0631 \u062f\u06d2 \u06af\u0627\u06d4 \u0627\u0633 \u0633\u0637\u062d \u067e\u0631\u060c \u06af\u0627\u06c1\u06a9\u0648\u06ba \u06a9\u06cc \u062a\u0648\u062c\u06c1 \u0627\u06cc\u06a9 \u06a9\u06be\u0627\u0626\u06cc \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06c1\u06d2. \u06cc\u06c1 \u0627\u06cc\u06a9 \u06cc\u0631\u063a\u0645\u0627\u0644\u06cc \u06a9\u06cc \u0635\u0648\u0631\u062a \u062d\u0627\u0644 \u06c1\u06d2 \u062c\u0648 \u062f\u0648\u0646\u0648\u06ba \u0637\u0631\u0641 \u062c\u0627\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<h4 id=\"heading-3-ai-architecture-diversification\">3. AI \u0641\u0646 \u062a\u0639\u0645\u06cc\u0631 \u06a9\u0627 \u062a\u0646\u0648\u0639\u06d4<\/h4>\n<p>\u0646\u06cc\u0648\u0631\u0648\u0645\u0648\u0631\u0641\u06a9 \u0686\u067e\u0633\u060c \u0627\u06cc\u0646\u0627\u0644\u0627\u06af AI \u0627\u0646\u0641\u0631\u0646\u0633\u060c \u0641\u0648\u0679\u0648\u0648\u0646\u06a9 \u06a9\u0645\u067e\u06cc\u0648\u0679\u0646\u06af\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0646 \u0645\u06cc\u0645\u0648\u0631\u06cc \u06a9\u0645\u067e\u06cc\u0648\u0679\u0646\u06af \u0622\u0631\u06a9\u06cc\u0679\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0632 \u06a9\u0648 EUV \u067e\u06cc\u0645\u0627\u0646\u06d2 \u06a9\u06cc \u06a9\u062b\u0627\u0641\u062a \u067e\u0631 2nm \u0645\u0646\u0637\u0642 \u06a9\u06cc \u0636\u0631\u0648\u0631\u062a \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06c1\u06d2\u06d4 \u0627\u06af\u0631 AI \u06a9\u0645\u067e\u06cc\u0648\u0679 \u06a9\u0627 20-30% \u0628\u06be\u06cc \u0627\u06cc\u0633\u06d2 \u0622\u0631\u06a9\u06cc\u0679\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0632 \u0645\u06cc\u06ba \u0634\u0641\u0679 \u06c1\u0648 \u062c\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2 \u062c\u0648 \u0679\u0631\u0627\u0646\u0632\u0633\u0679\u0631 \u06a9\u062b\u0627\u0641\u062a \u06a9\u06d2 \u0645\u0642\u0627\u0628\u0644\u06d2 \u06a9\u0648 \u0631\u0648\u06a9\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u060c \u062a\u0648 ASML \u06a9\u06cc \u0645\u062c\u0645\u0648\u0639\u06cc \u0642\u0627\u0628\u0644 \u0634\u0646\u0627\u062e\u062a \u0645\u0627\u0631\u06a9\u06cc\u0679 \u0633\u0627\u0626\u06cc\u06a9\u0644 \u06a9\u06cc \u0628\u062c\u0627\u0626\u06d2 \u0633\u0627\u062e\u062a\u06cc \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u0633\u06a9\u0691 \u062c\u0627\u0626\u06d2 \u06af\u06cc\u06d4<\/p>\n<p>\u06cc\u06c1 2030 \u06a9\u0627 \u0645\u0646\u0638\u0631\u0646\u0627\u0645\u06c1 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06c1\u06d2\u06d4 \u0627\u0646\u0679\u06cc\u0644 \u06a9\u0627 \u0644\u0648\u06c1\u06cc 2\u060c \u0622\u0626\u06cc \u0628\u06cc \u0627\u06cc\u0645 \u06a9\u0627 \u0646\u0627\u0631\u062a\u06be \u067e\u0648\u0644\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0627\u06cc\u0646\u0627\u0644\u0627\u06af \u0627\u06d2 \u0622\u0626\u06cc \u0627\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e\u0633 \u06a9\u0627 \u0628\u0691\u06be\u062a\u0627 \u06c1\u0648\u0627 \u0645\u062c\u0645\u0648\u0639\u06c1 \u0622\u062c \u0633\u0644\u06a9\u0627\u0646 \u0628\u06be\u06cc\u062c \u0631\u06c1\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<h3 id=\"heading-the-probability-table\">\u0627\u0645\u06a9\u0627\u0646\u0627\u062a \u06a9\u06cc \u0645\u06cc\u0632<\/h3>\n<p>ASML \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0642\u0631\u06cc\u0628 \u062a\u0631\u06cc\u0646 \u06a9\u06cc\u0633 \u0645\u0636\u0628\u0648\u0637 \u06c1\u06d2\u06d4 \u06a9\u0648\u0626\u06cc \u0642\u0627\u0628\u0644 \u0627\u0639\u062a\u0645\u0627\u062f EUV \u0645\u062a\u0628\u0627\u062f\u0644 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06c1\u06d2\u06d4 \u0627\u06d2 \u0622\u0626\u06cc \u0627\u0646\u0641\u0631\u0627\u0633\u0679\u0631\u06a9\u0686\u0631 \u06a9\u06cc \u0645\u0627\u0646\u06af \u0645\u06cc\u06ba \u062a\u06cc\u0632\u06cc \u0622\u0631\u06c1\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4 High-NA \u0627\u0635\u0644\u06cc \u0641\u06cc\u0628\u0633 \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u067e\u0646\u0627 \u0631\u0627\u0633\u062a\u06c1 \u0628\u0646\u0627 \u0631\u06c1\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 2026 \u06a9\u06cc \u067e\u06c1\u0644\u06cc \u0633\u06c1 \u0645\u0627\u06c1\u06cc \u06a9\u06d2 \u0646\u062a\u0627\u0626\u062c (8.8 \u0628\u0644\u06cc\u0646 \u06cc\u0648\u0631\u0648 \u06a9\u06cc \u0641\u0631\u0648\u062e\u062a\u060c \u067e\u0648\u0631\u06d2 \u0633\u0627\u0644 \u06a9\u06cc \u0631\u06c1\u0646\u0645\u0627\u0626\u06cc \u06a9\u0648 3.6-40 \u0628\u0644\u06cc\u0646 \u06cc\u0648\u0631\u0648 \u062a\u06a9 \u0628\u0691\u06be\u0627 \u06a9\u0631) \u0627\u0633 \u0628\u0627\u062a \u06a9\u06cc \u062a\u0635\u062f\u06cc\u0642 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba \u06a9\u06c1 \u0679\u06cc\u0644 \u0648\u0646\u0688 \u062d\u0642\u06cc\u0642\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0644\u06cc\u06a9\u0646 2032 \u0633\u06d2 \u0622\u06af\u06d2 \u06a9\u0627 \u0631\u0627\u0633\u062a\u06c1 \u0627\u0646 \u0637\u0631\u06cc\u0642\u0648\u06ba \u0633\u06d2 \u0648\u0627\u0642\u0639\u06cc \u063a\u06cc\u0631 \u06cc\u0642\u06cc\u0646\u06cc \u06c1\u06d2 \u062c\u0648 \u0627\u062a\u0641\u0627\u0642 \u0631\u0627\u0626\u06d2 \u06a9\u06cc \u0639\u06a9\u0627\u0633\u06cc \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06a9\u0631\u062a\u06d2\u06d4<\/p>\n<table>\n<thead>\n<tr>\n<th>\u0645\u062f\u062a<\/th>\n<th>\u0627\u062c\u0627\u0631\u06c1 \u062f\u0627\u0631\u06cc \u0628\u0631\u0642\u0631\u0627\u0631 \u06c1\u06d2\u06d4<\/th>\n<th>\u0627\u06c1\u0645 \u062e\u0637\u0631\u0627\u062a<\/th>\n<\/tr>\n<\/thead>\n<tbody>\n<tr>\n<td>2026-2030<\/td>\n<td>88%<\/td>\n<td>\u0646\u0627\u0642\u0627\u0628\u0644 \u0627\u0639\u062a\u0645\u0627\u062f\u060c \u0641\u0632\u06a9\u0633 \u0627\u0648\u0631 \u0627\u06d2 \u0622\u0626\u06cc \u0688\u06cc\u0645\u0627\u0646\u0688 \u06a9\u0627 \u063a\u0644\u0628\u06c1 \u06c1\u06d2\u06d4<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>2030~2035<\/td>\n<td>55%<\/td>\n<td>\u0633\u0627\u0641\u0679 \u0648\u06cc\u0626\u0631 \u06a9\u06d2 \u0630\u0631\u06cc\u0639\u06d2 \u0642\u062f\u0631 \u06a9\u06cc \u0645\u0646\u062a\u0642\u0644\u06cc\u060c \u0686\u06cc\u0646 \u06a9\u06cc DUV \u062e\u0648\u062f \u06a9\u0641\u0627\u0644\u062a<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>2035~2040<\/td>\n<td>25%<\/td>\n<td>\u0627\u06cc\u06a9\u0648 \u0633\u0633\u0679\u0645 \u0622\u0626\u0633\u0648\u0644\u06cc\u0634\u0646 \u06a9\u0645\u067e\u0627\u0624\u0646\u0688\u0632\u060c AI \u0641\u0646 \u062a\u0639\u0645\u06cc\u0631 \u06a9\u0627 \u062a\u0646\u0648\u0639\u060c \u067e\u06cc\u0631\u0627\u0688\u06cc\u0645 \u0634\u0641\u0679<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<p>\u0686\u0648\u0646\u06a9\u06c1 \u062a\u0646\u06c1\u0627\u0626\u06cc \u06a9\u0627 \u062c\u0627\u0644 \u0646\u0627\u0646 \u0644\u0627\u0626\u0646\u0631 \u06c1\u06d2\u060c \u0627\u0633 \u0644\u06cc\u06d2 88% \u0633\u06d2 25% \u062a\u06a9 \u06a9\u06cc \u06a9\u0645\u06cc \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u062a\u0631 \u062a\u062c\u0632\u06cc\u0627\u062a\u06cc \u0645\u0627\u0688\u0644\u0632 \u0633\u06d2 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u062a\u06cc\u0632 \u062f\u06a9\u06be\u0627\u0626\u06cc \u062f\u06cc\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4 \u06cc\u06c1 \u062a\u0631\u0642\u06cc \u067e\u0633\u0646\u062f \u0646\u0642\u0635\u0627\u0646 \u06a9\u0627 \u0633\u0628\u0628 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u0628\u0646\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 \u06cc\u06c1 \u062e\u0627\u0645\u0648\u0634\u06cc \u0633\u06d2 \u0627\u0633 \u0648\u0642\u062a \u062a\u06a9 \u062c\u0645\u0639 \u06c1\u0648 \u062c\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2 \u062c\u0628 \u062a\u06a9 \u06a9\u06c1 \u0627\u06cc\u06a9 \u0679\u0631\u06af\u0631 \u0627\u06cc\u0648\u0646\u0679 (\u0632\u06cc\u0633 \u0622\u0648\u0679\u06cc\u062c\u060c \u0679\u06cc\u0644\u0646\u0679 \u0627\u06cc\u06a9\u0633\u0648\u0688\u0633\u060c \u06c1\u0627\u0626\u06cc-NA \u0631\u06cc\u0645\u067e \u06a9\u06cc \u0646\u0627\u06a9\u0627\u0645\u06cc) \u0627\u06cc\u06a9 \u062a\u06cc\u0632 \u062f\u0648\u0628\u0627\u0631\u06c1 \u062a\u0634\u062e\u06cc\u0635 \u06a9\u0627 \u0633\u0628\u0628 \u0628\u0646\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<h3 id=\"heading-the-cost-and-flexibility-problem-asml-in-a-diversified-world\">\u0644\u0627\u06af\u062a \u0627\u0648\u0631 \u0644\u0686\u06a9\u062f\u0627\u0631 \u0686\u06cc\u0644\u0646\u062c\u0632: \u0627\u06cc\u06a9 \u0645\u062a\u0646\u0648\u0639 \u062f\u0646\u06cc\u0627 \u0645\u06cc\u06ba ASML<\/h3>\n<p>ASML \u06a9\u06d2 \u0628\u0627\u0631\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba \u0633\u0627\u062e\u062a\u06cc \u062f\u0639\u0648\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba \u062c\u0648 \u0634\u0627\u0630 \u0648 \u0646\u0627\u062f\u0631 \u06c1\u06cc \u0648\u0627\u0636\u062d \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u0628\u06cc\u0627\u0646 \u06a9\u06cc\u06d2 \u062c\u0627\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 380 \u0645\u0644\u06cc\u0646 \u0688\u0627\u0644\u0631 \u06a9\u06cc \u0645\u0634\u06cc\u0646\u060c \u062c\u0633 \u06a9\u06cc \u0641\u0631\u0627\u06c1\u0645\u06cc \u0645\u06cc\u06ba 18 \u0645\u0627\u06c1 \u0644\u06af\u06cc\u06ba \u06af\u06d2 \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0633 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0627\u06cc\u06a9 \u0648\u0642\u0641 \u0634\u062f\u06c1 \u0628\u0648\u0626\u0646\u06af 747 \u06a9\u06cc \u0636\u0631\u0648\u0631\u062a \u06c1\u0648\u06af\u06cc\u060c \u0627\u0633 \u06a9\u06d2 \u0628\u0631\u0639\u06a9\u0633 \u06c1\u06d2 \u062c\u0648 \u062a\u06cc\u0632 \u0631\u0641\u062a\u0627\u0631\u060c AI \u0633\u06d2 \u0686\u0644\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06cc \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc \u06a9\u06cc \u0645\u0639\u06cc\u0634\u062a \u0645\u06cc\u06ba \u062f\u0631\u06a9\u0627\u0631 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u062f\u0646\u06cc\u0627 \u0686\u067e \u0622\u0631\u06a9\u06cc\u0679\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0632\u060c \u0633\u067e\u0644\u0627\u0626\u06cc \u0686\u06cc\u0646\u0632\u060c \u0645\u06cc\u0646\u0648\u0641\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0646\u06af \u062c\u063a\u0631\u0627\u0641\u06cc\u06d2\u060c \u0627\u0648\u0631 \u06a9\u0645\u067e\u06cc\u0648\u0679\u0646\u06af \u0645\u0639\u06cc\u0634\u062a\u0648\u06ba \u0645\u06cc\u06ba \u062a\u0646\u0648\u0639 \u067e\u06cc\u062f\u0627 \u06a9\u0631 \u0631\u06c1\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4 ASML \u06a9\u06cc \u0645\u0635\u0646\u0648\u0639\u0627\u062a \u0627\u0633 \u0631\u062c\u062d\u0627\u0646 \u06a9\u06d2 \u0628\u0627\u0644\u06a9\u0644 \u0628\u0631\u0639\u06a9\u0633 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p>\u0644\u0627\u06af\u062a \u06a9\u06d2 \u0645\u0633\u0627\u0626\u0644 \u0645\u0632\u06cc\u062f \u067e\u06cc\u0686\u06cc\u062f\u06c1 \u06c1\u0648\u062a\u06d2 \u062c\u0627 \u0631\u06c1\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 ASML \u0645\u0634\u06cc\u0646\u0648\u06ba \u06a9\u06cc \u06c1\u0631 \u0646\u0633\u0644 \u067e\u0686\u06be\u0644\u06cc \u0627\u06cc\u06a9 \u0633\u06d2 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u0645\u06c1\u0646\u06af\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4 NXE:3400 \u06a9\u06cc \u0642\u06cc\u0645\u062a ~\\(150M\u06d4 NXE:3600D \u06a9\u06cc \u0642\u06cc\u0645\u062a ~\\)380M \u06c1\u06d2\u06d4 High-NA EXE:5000 \u06a9\u06cc \u0622\u067e\u0631\u06cc\u0679\u0646\u06af \u0644\u0627\u06af\u062a \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u06c1\u06d2\u060c \u062c\u0633 \u06a9\u06cc \u0627\u0637\u0644\u0627\u0639 ~$380M+ \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u06cc\u06c1 \u0631\u0641\u062a\u0627\u0631 \u062a\u0645\u0627\u0645 \u0635\u0627\u0631\u0641\u06cc\u0646 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u067e\u0627\u0626\u06cc\u062f\u0627\u0631 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06c1\u06d2\u06d4 \u0686\u06be\u0648\u0679\u06d2 \u0641\u06cc\u0628\u0633\u060c \u0627\u0633\u067e\u06cc\u0634\u0644\u0679\u06cc \u0686\u067e \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0628\u06be\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u0648\u0626\u06d2 \u0645\u0627\u0631\u06a9\u06cc\u0679 \u0645\u06cc\u0646\u0648\u0641\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0631\u0632 \u06a9\u06cc \u0642\u06cc\u0645\u062a\u06cc\u06ba \u0633\u0628 \u0633\u06d2 \u0622\u06af\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u0645\u0627\u0646\u06af \u06a9\u06cc \u06a9\u0645\u06cc \u06a9\u06cc \u0648\u062c\u06c1 \u0633\u06d2 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u0628\u0644\u06a9\u06c1 \u0627\u0633 \u0648\u062c\u06c1 \u0633\u06d2 \u06a9\u06c1 \u0627\u0646 \u06a9\u06d2 \u0633\u0631\u0645\u0627\u0626\u06d2 \u06a9\u06cc \u0636\u0631\u0648\u0631\u06cc\u0627\u062a \u0645\u0644\u06a9\u06cc \u0633\u0637\u062d \u06a9\u06d2 \u0648\u0639\u062f\u0648\u06ba \u06a9\u06cc \u0637\u0631\u0641 \u0645\u0646\u062a\u0642\u0644 \u06c1\u0648 \u0631\u06c1\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p>\u06cc\u06c1 ASML \u06a9\u06d2 \u06a9\u0633\u0679\u0645\u0631 \u0628\u06cc\u0633 \u067e\u0631 \u0645\u0632\u06cc\u062f \u062a\u0648\u062c\u06c1 \u0645\u0631\u06a9\u0648\u0632 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u060c \u062c\u0633 \u0633\u06d2 \u062a\u06cc\u0646 \u0633\u06d2 \u0686\u0627\u0631 \u0635\u0627\u0631\u0641\u06cc\u0646 \u06a9\u0627 \u0641\u0627\u0626\u062f\u06c1 \u0628\u0691\u06be\u062a\u0627 \u06c1\u06d2 \u062c\u0648 \u062d\u0642\u06cc\u0642\u062a \u0645\u06cc\u06ba \u062e\u0631\u06cc\u062f\u0627\u0631\u06cc \u062c\u0627\u0631\u06cc \u0631\u06a9\u06be\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0645\u062a\u062d\u0645\u0644 \u06c1\u0648 \u0633\u06a9\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p>\u0644\u0686\u06a9\u062f\u0627\u0631 \u062f\u0646\u06cc\u0627 \u0645\u06cc\u06ba\u060c \u0644\u0686\u06a9 \u06a9\u06d2 \u0645\u0633\u0627\u0626\u0644 \u0628\u06be\u06cc \u06c1\u0648\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 AI \u062f\u0648\u0631 \u062a\u06cc\u0632 \u0631\u0641\u062a\u0627\u0631 \u062a\u0639\u0645\u06cc\u0631\u0627\u062a\u06cc \u062a\u062c\u0631\u0628\u0627\u062a \u06a9\u06cc \u062e\u0635\u0648\u0635\u06cc\u062a \u06c1\u06d2\u06d4 \u0646\u0626\u06d2 \u0686\u067e \u0688\u06cc\u0632\u0627\u0626\u0646 \u062c\u06cc\u0633\u06d2 \u06a9\u06c1 \u062d\u0633\u0628 \u0636\u0631\u0648\u0631\u062a ASICs\u060c \u0646\u06cc\u0648\u0631\u0648\u0645\u0648\u0631\u0641\u06a9 \u067e\u0631\u0648\u0633\u06cc\u0633\u0631\u0632\u060c \u0641\u0648\u0679\u0648\u0648\u0646\u06a9 \u0686\u067e\u0633\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0627\u06cc\u0646\u0627\u0644\u0627\u06af \u0627\u0646\u0641\u0631\u0646\u0633 \u0627\u0646\u062c\u0646\u0648\u06ba \u06a9\u0648 \u0633\u0627\u0644\u0648\u06ba \u06a9\u06d2 \u0628\u062c\u0627\u0626\u06d2 \u0645\u06c1\u06cc\u0646\u0648\u06ba \u0645\u06cc\u06ba \u0645\u0627\u067e\u0627 \u062c\u0627\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u0646\u0638\u0627\u0645 \u0627\u0644\u0627\u0648\u0642\u0627\u062a \u067e\u0631 \u0631\u06cc\u06a9\u0627\u0631\u0688 \u06a9\u06cc\u0627 \u062c\u0627 \u0631\u06c1\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>ASML \u06a9\u06d2 \u0642\u0627\u0628\u0644\u06cc\u062a \u06a9\u06d2 \u0686\u06a9\u0631\u060c \u0688\u06cc\u0644\u06cc\u0648\u0631\u06cc \u0644\u06cc\u0688 \u0679\u0627\u0626\u0645\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0639\u0645\u0644 \u06a9\u06d2 \u0627\u0646\u0636\u0645\u0627\u0645 \u06a9\u06d2 \u062a\u0642\u0627\u0636\u06d2 \u0633\u0627\u0644\u0648\u06ba \u0645\u06cc\u06ba \u0645\u0627\u067e\u0627 \u062c\u0627\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u0646\u0638\u0627\u0645 \u0627\u0644\u0627\u0648\u0642\u0627\u062a \u067e\u0631 \u0686\u0644\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u0646\u0626\u06d2 AI \u0627\u06cc\u06a9\u0633\u0644\u0631\u06cc\u0679\u0631 \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u0627\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e EUV \u0679\u0648\u0644\u0632 \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 18 \u0645\u0627\u06c1 \u0627\u0648\u0631 \u0627\u067e\u0646\u06d2 \u0639\u0645\u0644 \u06a9\u06cc \u062a\u0635\u062f\u06cc\u0642 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0645\u0632\u06cc\u062f \u062f\u0648 \u0633\u0627\u0644 \u0627\u0646\u062a\u0638\u0627\u0631 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06a9\u0631 \u0633\u06a9\u062a\u06d2\u06d4 \u0648\u06c1 \u0628\u0627\u0644\u063a \u0646\u0648\u0688\u0633\u060c \u0645\u062a\u0628\u0627\u062f\u0644 \u0641\u06cc\u0628\u0633\u060c \u06cc\u0627 \u0645\u06a9\u0645\u0644 \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u0645\u062e\u062a\u0644\u0641 \u0645\u06cc\u0646\u0648\u0641\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0646\u06af \u0627\u067e\u0631\u0648\u0686 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p>ASML \u06a9\u06cc \u0645\u0634\u06cc\u0646\u06cc\u06ba \u0642\u0627\u0628\u0644 \u0628\u06be\u0631\u0648\u0633\u06c1\u060c \u0627\u0639\u0644\u06cc\u0670 \u062d\u062c\u0645\u060c \u0637\u0648\u06cc\u0644 \u0641\u0627\u0635\u0644\u06d2 \u062a\u06a9 \u0686\u067e\u0633 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06cc \u062f\u0646\u06cc\u0627 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0628\u06c1\u062a\u0631 \u0628\u0646\u0627\u0626\u06cc \u06af\u0626\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u062c\u06c1\u0627\u06ba AI \u062c\u062f\u062a \u0637\u0631\u0627\u0632\u06cc \u0648\u0627\u0642\u0639 \u06c1\u0648\u062a\u06cc \u06c1\u06d2 \u0627\u0633 \u06a9\u06cc \u062f\u0646\u06cc\u0627 \u06a9\u0645 \u0646\u0645\u0627\u0626\u0646\u062f\u06c1 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0686\u067e\u0644\u06cc\u0679 \u0627\u0648\u0631 \u067e\u06cc\u06a9\u06cc\u062c\u0646\u06af \u06a9\u06cc \u062a\u0628\u062f\u06cc\u0644\u06cc\u0627\u06ba \u0627\u0633 \u0631\u062c\u062d\u0627\u0646 \u06a9\u0648 \u062a\u06cc\u0632 \u06a9\u0631 \u0631\u06c1\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u062c\u06cc\u0633\u06d2 \u062c\u06cc\u0633\u06d2 \u0627\u0646\u0688\u0633\u0679\u0631\u06cc \u0627\u0644\u06af \u0627\u0644\u06af \u0686\u067e\u0644\u06cc\u0679 \u0622\u0631\u06a9\u06cc\u0679\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0632 \u06a9\u06cc \u0637\u0631\u0641 \u0628\u0691\u06be \u0631\u06c1\u06cc \u06c1\u06d2\u060c \u0627\u0646\u0636\u0645\u0627\u0645\u060c \u067e\u06cc\u06a9\u06cc\u062c\u0646\u06af\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0622\u067e\u0633 \u0645\u06cc\u06ba \u062c\u0691\u0646\u06d2 \u06a9\u06cc \u0642\u062f\u0631 \u06a9\u06d2 \u0645\u0642\u0627\u0628\u0644\u06d2 \u062c\u062f\u06cc\u062f \u06cc\u06a9 \u0633\u0646\u06af\u06cc \u0688\u06cc\u0632 \u06a9\u06cc \u0642\u062f\u0631 \u0633\u06a9\u0691\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0686\u067e\u0644\u06cc\u0679 \u067e\u0631 \u0645\u0628\u0646\u06cc AI \u0627\u06cc\u06a9\u0633\u0644\u0631\u06cc\u0679\u0631 \u062c\u062f\u06cc\u062f \u062a\u0631\u06cc\u0646 \u06a9\u0645\u067e\u06cc\u0648\u0679 \u0688\u0627\u0626\u0632 (EUV \u06a9\u06cc \u0636\u0631\u0648\u0631\u062a \u06c1\u06d2) \u06a9\u0648 \u0628\u0627\u0644\u063a \u0646\u0648\u0688 \u0645\u06cc\u0645\u0648\u0631\u06cc\u060c I\/O\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0627\u06cc\u0646\u0627\u0644\u0627\u06af \u0688\u0627\u0626\u0632 (EUV \u06a9\u06cc \u0636\u0631\u0648\u0631\u062a \u06c1\u06d2) \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be \u0645\u0644 \u06a9\u0631 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u0631 \u0633\u06a9\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u06cc\u06c1\u0627\u06ba \u062a\u06a9 \u06a9\u06c1 \u062c\u06cc\u0633\u06d2 \u062c\u06cc\u0633\u06d2 AI \u06a9\u06cc \u0637\u0644\u0628 \u0628\u0691\u06be \u0631\u06c1\u06cc \u06c1\u06d2\u060c EUV \u0645\u0648\u0627\u062f \u0641\u06cc \u0628\u06be\u06cc\u062c\u06d2 \u06af\u0626\u06d2 \u0633\u0633\u0679\u0645 \u0645\u06cc\u06ba \u06a9\u0644 \u0633\u0644\u06cc\u06a9\u0648\u0646 \u0648\u06cc\u0644\u06cc\u0648 \u06a9\u06d2 \u0627\u06cc\u06a9 \u062d\u0635\u06d2 \u0633\u06d2 \u06a9\u0645 \u06c1\u0648 \u0631\u06c1\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 ASML \u06a9\u0679\u0646\u06af \u0627\u06cc\u062c \u0688\u0627\u0626\u06cc \u0631\u06cc\u0648\u0646\u06cc\u0648 \u062d\u0627\u0635\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2 \u0644\u06cc\u06a9\u0646 \u0627\u0646\u0679\u06cc\u06af\u0631\u06cc\u0634\u0646 \u0644\u06cc\u0626\u0631 \u0645\u06cc\u06ba \u0642\u062f\u0631 \u06a9\u06d2 \u0628\u0691\u06be\u062a\u06d2 \u06c1\u0648\u0626\u06d2 \u062d\u0635\u06c1 \u0633\u06d2 \u0645\u062d\u0631\u0648\u0645 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u067e\u06be\u0631 \u062a\u0646\u0648\u0639 \u0636\u0631\u0648\u0631\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4 \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc \u06a9\u06d2 \u06c1\u0631 \u062f\u0648\u0633\u0631\u06d2 \u0634\u0639\u0628\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba \u06af\u0632\u0634\u062a\u06c1 \u062f\u06c1\u0627\u0626\u06cc \u06a9\u06d2 \u0633\u0628\u0642 \u0648\u0627\u0636\u062d \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u0648\u0627\u062d\u062f \u0630\u0631\u06cc\u0639\u06c1 \u0627\u0646\u062d\u0635\u0627\u0631 \u0627\u06cc\u06a9 \u0627\u0633\u0679\u0631\u06cc\u0679\u062c\u06a9 \u0630\u0645\u06c1 \u062f\u0627\u0631\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u06a9\u0644\u0627\u0624\u0688 \u0635\u0627\u0631\u0641\u06cc\u0646 AWS\u060c Azure\u060c \u0627\u0648\u0631 GCP \u0645\u06cc\u06ba \u0645\u062a\u0646\u0648\u0639 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 2021 \u0686\u067e \u06a9\u06cc \u06a9\u0645\u06cc \u06a9\u06d2 \u0628\u0639\u062f \u06a9\u0627\u0631 \u0633\u0627\u0632 \u0686\u067e \u0633\u067e\u0644\u0627\u0626\u0631\u0632 \u06a9\u0648 \u0645\u062a\u0646\u0648\u0639 \u0628\u0646\u0627\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u062d\u06a9\u0648\u0645\u062a \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0645\u06cc\u0646\u0648\u0641\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0646\u06af \u06a9\u06d2 \u0645\u0642\u0627\u0645\u0627\u062a \u06a9\u0648 \u0645\u062a\u0646\u0648\u0639 \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0633\u06cc\u06a9\u0691\u0648\u06ba \u0628\u0644\u06cc\u0646 \u0688\u0627\u0644\u0631 \u062e\u0631\u0686 \u06a9\u0631 \u0631\u06c1\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0627\u06cc\u06a9 \u062c\u06af\u06c1 \u0635\u0646\u0639\u062a \u0646\u06d2 \u0645\u062a\u0646\u0648\u0639 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06a9\u06cc\u0627 \u06c1\u06d2\u060c \u06a9\u06cc\u0648\u0646\u06a9\u06c1 \u06cc\u06c1 \u0644\u0641\u0638\u06cc \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06a9\u0631 \u0633\u06a9\u062a\u0627\u060c EUV \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4 \u06cc\u06c1 ASML \u06a9\u06cc \u0637\u0627\u0642\u062a \u06a9\u0648 \u0638\u0627\u06c1\u0631 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 \u06cc\u06c1 \u0627\u06cc\u06a9 \u0646\u0638\u0627\u0645\u06cc \u06a9\u0645\u0632\u0648\u0631\u06cc \u06a9\u06cc \u0639\u0644\u0627\u0645\u062a \u06c1\u06d2 \u062c\u0633 \u06a9\u06d2 \u0628\u0627\u0631\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba \u062a\u0645\u0627\u0645 \u0628\u0691\u06d2 \u0686\u067e \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2\u060c \u062d\u06a9\u0648\u0645\u062a\u06cc\u06ba \u0627\u0648\u0631 \u0633\u067e\u0644\u0627\u0626\u06cc \u0686\u06cc\u0646 \u06a9\u06d2 \u0633\u0679\u0631\u06cc\u0679\u062c\u0633\u0679 \u0633\u0646\u062c\u06cc\u062f\u06af\u06cc \u0633\u06d2 \u0622\u06af\u0627\u06c1 \u06c1\u06cc\u06ba \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0633\u06d2 \u062d\u0644 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06cc \u06a9\u0648\u0634\u0634 \u06a9\u0631 \u0631\u06c1\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p>\u0627\u06cc\u06a9 \u0628\u06c1\u062a\u0631 EUV \u0633\u0633\u0679\u0645 \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u06a9\u0633\u06cc \u0627\u06cc\u06a9 \u0645\u062f\u0645\u0642\u0627\u0628\u0644 \u0633\u06d2 \u062d\u0644 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u0646\u06a9\u0644\u06d2 \u06af\u0627\u06d4 \u06cc\u06c1 \u0645\u062a\u0628\u0627\u062f\u0644\u0627\u062a \u06a9\u06d2 \u0628\u062a\u062f\u0631\u06cc\u062c \u062c\u0645\u0639 \u06c1\u0648\u0646\u06d2 \u0633\u06d2 \u0622\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u060c \u0628\u0634\u0645\u0648\u0644 \u0645\u06cc\u0645\u0648\u0631\u06cc \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 NIL\u060c \u062e\u0635\u0648\u0635\u06cc \u0645\u0646\u0637\u0642 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0627\u06cc-\u0628\u06cc\u0645\u060c \u0644\u0627\u06af\u062a \u0633\u06d2 \u0645\u062a\u0639\u0644\u0642 \u062d\u0633\u0627\u0633 \u0627\u06cc\u067e\u0644\u06cc \u06a9\u06cc\u0634\u0646\u0632 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0628\u0627\u0644\u063a \u0646\u0648\u0688 \u0686\u067e\u0644\u06cc\u0679\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0622\u062e\u0631 \u06a9\u0627\u0631 \u0646\u0626\u06d2 \u0641\u0646 \u062a\u0639\u0645\u06cc\u0631\u0627\u062a \u062c\u0648 \u0645\u06a9\u0645\u0644 \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u0679\u0631\u0627\u0646\u0632\u0633\u0679\u0631 \u06a9\u062b\u0627\u0641\u062a \u06a9\u06cc \u062f\u0648\u0691 \u0633\u06d2 \u06af\u0631\u06cc\u0632 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p>\u06c1\u0631 \u0645\u062a\u0628\u0627\u062f\u0644 \u0645\u0627\u0646\u06af \u06a9\u0627 \u0627\u06cc\u06a9 \u062d\u0635\u06c1 \u062d\u0627\u0635\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2 \u062c\u0633 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 ASML \u06a9\u06cc \u0645\u0634\u06cc\u0646\u0648\u06ba \u06a9\u06cc \u0636\u0631\u0648\u0631\u062a \u06c1\u0648\u062a\u06cc\u06d4 \u0627\u062c\u0627\u0631\u06c1 \u062f\u0627\u0631\u06cc\u0627\u06ba \u0679\u0648\u0679\u06cc \u0646\u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u0645\u0679 \u062c\u0627\u062a\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p>ASML \u0627\u06cc\u0633\u06cc \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06c1\u06d2 \u062c\u0633 \u06a9\u0648 \u0641\u0648\u0631\u0627\u064b \u06a9\u06be\u0648 \u062f\u06cc\u0627 \u062c\u0627\u0626\u06d2\u06d4 \u06cc\u06c1 \u0648\u06c1 \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0627\u06ba \u06c1\u06cc\u06ba \u062c\u0646\u06c1\u0648\u06ba \u0646\u06d2 \u0627\u06cc\u06a9 \u0627\u06cc\u0633\u06d2 \u0646\u0645\u0648\u0646\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba \u0646\u0627\u0642\u0627\u0628\u0644 \u062a\u0633\u062e\u06cc\u0631 \u067e\u0648\u0632\u06cc\u0634\u0646 \u0628\u0646\u0627\u0626\u06cc \u06c1\u06d2 \u062c\u0648 \u0686\u0648\u0679\u06cc \u06a9\u06cc \u0645\u0637\u0627\u0628\u0642\u062a \u0633\u06d2 \u0686\u06be \u0633\u06d2 \u0622\u0679\u06be \u0633\u0627\u0644 \u06a9\u06d2 \u0641\u0627\u0635\u0644\u06d2 \u067e\u0631 \u06c1\u06d2 (\u0627\u06cc\u06a9 \u0645\u0627\u062d\u0648\u0644\u06cc\u0627\u062a\u06cc \u0646\u0638\u0627\u0645 \u0645\u06cc\u06ba \u06a9\u0627\u0645 \u06a9\u0631\u0646\u0627 \u062c\u0648 \u067e\u06cc\u0645\u0627\u0646\u06d2 \u06a9\u0648 \u0628\u0631\u0642\u0631\u0627\u0631 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u0631\u06a9\u06be \u0633\u06a9\u062a\u0627)\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0633\u0645\u0627\u0631\u0679 \u067e\u06cc\u0633\u06c1 \u067e\u06c1\u0644\u06d2 \u06c1\u06cc \u0627\u0633 \u06a9\u06d2 \u06a9\u0646\u0627\u0631\u06d2 \u067e\u0631 \u06a9\u06be\u0691\u0627 \u06c1\u06d2 \u06a9\u06c1 \u0622\u06af\u06d2 \u06a9\u06cc\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0645\u0634\u06cc\u0646\u06cc\u06ba 2032 \u0633\u06d2 \u067e\u06c1\u0644\u06d2 \u06a9\u06c1\u06cc\u06ba \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u062c\u0627 \u0631\u06c1\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u0627\u0633 \u06a9\u06d2 \u0628\u0639\u062f\u060c \u0627\u06cc\u0633\u06d2 \u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e\u0633 \u0645\u06cc\u06ba \u0633\u0631\u0645\u0627\u06cc\u06c1 \u06a9\u0627\u0631\u06cc \u06a9\u0631\u06cc\u06ba \u062c\u0648 \u0633\u0627\u0641\u0679 \u0648\u06cc\u0626\u0631 \u06a9\u06cc \u062a\u06c1\u0648\u06ba\u060c \u067e\u06cc\u06a9\u06cc\u062c\u0646\u06af \u0627\u06cc\u06a9\u0648 \u0633\u0633\u0679\u0645\u0632\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0679\u0648\u0644\u0632 \u0628\u0646\u0627 \u0631\u06c1\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba \u062c\u0648 ASML \u06a9\u06cc \u0645\u0634\u06cc\u0646\u0648\u06ba \u06a9\u0648 \u0628\u06c1\u062a\u0631 \u0628\u0646\u0627 \u0631\u06c1\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u06cc\u06c1 \u0648\u06c1 \u062c\u06af\u06c1 \u06c1\u06d2 \u062c\u06c1\u0627\u06ba \u0642\u062f\u0631 \u062d\u0631\u06a9\u062a \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<h2 id=\"heading-conclusion\">\u0646\u062a\u06cc\u062c\u06c1<\/h2>\n<p>\u0644\u06cc\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u062a\u0645\u0627\u0645 \u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631\u0646\u06af \u06a9\u06d2 \u062a\u06a9\u0646\u06cc\u06a9\u06cc \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u0633\u0628 \u0633\u06d2 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u0645\u0637\u0627\u0644\u0628\u06c1 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2\u060c \u062d\u06a9\u0645\u062a \u0639\u0645\u0644\u06cc \u06a9\u06d2 \u0644\u062d\u0627\u0638 \u0633\u06d2 \u0627\u06c1\u0645 \u0627\u0648\u0631 \u0641\u06a9\u0631\u06cc \u0637\u0648\u0631 \u067e\u0631 \u062f\u0644\u0686\u0633\u067e \u0634\u0639\u0628\u0648\u06ba \u0645\u06cc\u06ba \u0633\u06d2 \u0627\u06cc\u06a9 \u06c1\u06d2\u06d4 \u0648\u06c1 \u0645\u0634\u06cc\u0646\u06cc\u06ba \u062c\u0648 \u0633\u0644\u06cc\u06a9\u0648\u0646 \u0645\u06cc\u06ba \u0633\u0631\u06a9\u0679\u0633 \u067e\u0631\u0646\u0679 \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba \u0648\u06c1 \u0627\u0646\u0633\u0627\u0646\u06cc \u0630\u06c1\u0627\u0646\u062a \u06a9\u0627 \u06a9\u0645\u0627\u0644 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u06cc\u06c1 \u062f\u06c1\u0627\u0626\u06cc\u0648\u06ba \u06a9\u06cc \u0633\u0631\u0645\u0627\u06cc\u06c1 \u06a9\u0627\u0631\u06cc\u060c \u06c1\u0632\u0627\u0631\u0648\u06ba \u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631\u0632\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0628\u06d2 \u0645\u062b\u0627\u0644 \u062f\u0631\u0633\u062a\u06af\u06cc \u0627\u0648\u0631 \u067e\u06cc\u0686\u06cc\u062f\u06af\u06cc \u06a9\u06cc \u0639\u0627\u0644\u0645\u06cc \u0633\u067e\u0644\u0627\u0626\u06cc \u0686\u06cc\u0646 \u06a9\u0627 \u0646\u062a\u06cc\u062c\u06c1 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>EUV \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0645\u06cc\u06ba ASML \u06a9\u0627 \u063a\u0644\u0628\u06c1 \u0637\u0648\u06cc\u0644 \u0645\u062f\u062a\u06cc \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc \u06a9\u06cc \u0634\u0631\u0637\u0648\u06ba \u06a9\u06cc \u0637\u0627\u0642\u062a \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u06cc\u06a9 \u06a9\u06cc\u0633 \u0627\u0633\u0679\u0688\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4 EUV \u0633\u06d2 \u0648\u0627\u0628\u0633\u062a\u06af\u06cc \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be \u062d\u0631\u06cc\u0641 \u06a9\u06d2 \u0686\u0644\u06d2 \u062c\u0627\u0646\u06d2 \u0633\u06d2\u060c ASML \u0646\u06d2 \u0627\u06cc\u06a9 \u0627\u062c\u0627\u0631\u06c1 \u062f\u0627\u0631\u06cc \u0642\u0627\u0626\u0645 \u06a9\u06cc \u062c\u0648 \u0627\u0628 \u0639\u0627\u0644\u0645\u06cc \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc \u0633\u067e\u0644\u0627\u0626\u06cc \u0686\u06cc\u0646 \u06a9\u0627 \u06af\u06cc\u0679 \u0648\u06d2 \u06c1\u06d2\u06d4 \u0627\u0646 \u0627\u062c\u0627\u0631\u06c1 \u062f\u0627\u0631\u06cc\u0648\u06ba \u06a9\u06d2 \u0645\u0633\u062a\u0642\u0628\u0644 \u0642\u0631\u06cc\u0628 \u0645\u06cc\u06ba \u0679\u0648\u0679\u0646\u06d2 \u06a9\u0627 \u0627\u0645\u06a9\u0627\u0646 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06c1\u06d2\u06d4 \u06a9\u06cc\u0648\u0646\u06a9\u06c1 \u062f\u0627\u062e\u0644\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba \u0631\u06a9\u0627\u0648\u0679 \u0628\u06c1\u062a \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u062a\u0627\u06c1\u0645\u060c \u0644\u06cc\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u06a9\u0627 \u0645\u0627\u062d\u0648\u0644\u06cc\u0627\u062a\u06cc \u0646\u0638\u0627\u0645 \u062c\u0627\u0645\u062f \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06c1\u06d2\u06d4 \u067e\u06cc\u0679\u0631\u0646\u0646\u06af \u06a9\u06d2 \u0646\u0626\u06d2 \u0637\u0631\u06cc\u0642\u06d2\u060c \u0646\u0626\u06d2 \u0645\u0648\u0627\u062f\u060c \u0646\u0626\u06d2 \u0633\u0627\u0641\u0679 \u0648\u06cc\u0626\u0631 \u0679\u0648\u0644\u0632\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0646\u0626\u06d2 \u067e\u06cc\u06a9\u06cc\u062c\u0646\u06af \u0622\u0631\u06a9\u06cc\u0679\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0632 \u0627\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e\u0633 \u0627\u0648\u0631 \u0646\u0626\u06d2 \u0622\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u0648\u06ba \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0645\u0648\u0627\u0642\u0639 \u067e\u06cc\u062f\u0627 \u06a9\u0631 \u0631\u06c1\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p>AI \u0627\u0646\u0642\u0644\u0627\u0628 \u062c\u062f\u06cc\u062f \u0686\u067e\u0633 \u06a9\u06cc \u0628\u06d2 \u0645\u062b\u0627\u0644 \u0645\u0627\u0646\u06af \u06a9\u0648 \u0622\u06af\u06d2 \u0628\u0691\u06be\u0627 \u0631\u06c1\u0627 \u06c1\u06d2\u060c \u062c\u0633 \u06a9\u06d2 \u0646\u062a\u06cc\u062c\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba \u0627\u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u062f\u0631\u06a9\u0627\u0631 \u0622\u0644\u0627\u062a \u0627\u0648\u0631 \u0645\u0648\u0627\u062f \u0645\u06cc\u06ba \u0628\u06d2 \u0645\u062b\u0627\u0644 \u0633\u0631\u0645\u0627\u06cc\u06c1 \u06a9\u0627\u0631\u06cc \u06c1\u0648 \u0631\u06c1\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0627\u0648\u0631 \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0627\u0646\u0688\u0633\u0679\u0631\u06cc \u06a9\u06cc \u062c\u063a\u0631\u0627\u0641\u06cc\u0627\u0626\u06cc \u0633\u06cc\u0627\u0633\u06cc \u062a\u0642\u0633\u06cc\u0645 \u0645\u062a\u0628\u0627\u062f\u0644 \u0633\u067e\u0644\u0627\u0626\u06cc \u0686\u06cc\u0646\u0632 \u06a9\u06cc \u0645\u0627\u0646\u06af \u067e\u06cc\u062f\u0627 \u06a9\u0631 \u0631\u06c1\u06cc \u06c1\u06d2 \u062c\u0633 \u06a9\u06cc \u062e\u062f\u0645\u062a \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06a9\u0631 \u0633\u06a9\u062a\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631\u0632\u060c \u0633\u0631\u0645\u0627\u06cc\u06c1 \u06a9\u0627\u0631\u0648\u06ba \u0627\u0648\u0631 \u06a9\u0627\u0631\u0648\u0628\u0627\u0631\u06cc \u0627\u0641\u0631\u0627\u062f \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u062c\u0648 \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc \u0645\u06cc\u06ba \u0633\u0628 \u0633\u06d2 \u0622\u06af\u06d2 \u06a9\u0627\u0645 \u06a9\u0631\u0646\u0627 \u0686\u0627\u06c1\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0645\u0627\u062d\u0648\u0644\u06cc\u0627\u062a\u06cc \u0646\u0638\u0627\u0645 \u0645\u0646\u0641\u0631\u062f \u0645\u0648\u0627\u0642\u0639 \u0641\u0631\u0627\u06c1\u0645 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4 \u0686\u06cc\u0644\u0646\u062c\u0632 \u0645\u0634\u06a9\u0644 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u062e\u0637\u0631\u0627\u062a \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u0627\u0648\u0631 \u06a9\u0627\u0645\u06cc\u0627\u0628\u06cc \u06a9\u0627 \u0627\u062b\u0631 \u0627\u06cc\u067e \u0688\u0627\u0624\u0646 \u0644\u0648\u0688\u0632 \u0645\u06cc\u06ba \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u0628\u0644\u06a9\u06c1 \u0688\u06cc\u062c\u06cc\u0679\u0644 \u062f\u0646\u06cc\u0627 \u06a9\u06d2 \u0641\u0632\u06cc\u06a9\u0644 \u0627\u0646\u0641\u0631\u0627\u0633\u0679\u0631\u06a9\u0686\u0631 \u0645\u06cc\u06ba \u0645\u0627\u067e\u0627 \u062c\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0622\u067e \u06a9\u06cc \u062c\u06cc\u0628 \u0645\u06cc\u06ba \u0686\u067e \u0627\u0646 \u0645\u0634\u06cc\u0646\u0648\u06ba \u06a9\u06d2 \u0630\u0631\u06cc\u0639\u06c1 \u0645\u0645\u06a9\u0646 \u06c1\u0648\u0626\u06cc \u06c1\u06d2 \u062c\u0646 \u06a9\u06d2 \u0628\u0627\u0631\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u062a\u0631 \u0644\u0648\u06af\u0648\u06ba \u0646\u06d2 \u06a9\u0628\u06be\u06cc \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u0633\u0646\u0627 \u06c1\u0648\u06af\u0627\u060c \u062f\u0646\u06cc\u0627 \u0628\u06be\u0631 \u06a9\u06d2 \u0634\u06c1\u0631\u0648\u06ba \u0645\u06cc\u06ba \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0648\u06ba \u06a9\u06d2 \u0630\u0631\u06cc\u0639\u06c1 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631\u062f\u06c1 \u0641\u0632\u06a9\u0633 \u06a9\u0627 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u0648\u0626\u06d2 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u062a\u0631 \u0644\u0648\u06af\u0648\u06ba \u0646\u06d2 \u06a9\u0628\u06be\u06cc \u0645\u0637\u0627\u0644\u0639\u06c1 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06a9\u06cc\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0627\u0633 \u062f\u0646\u06cc\u0627 \u06a9\u0648 \u0633\u0645\u062c\u06be\u0646\u0627 \u2013 \u0627\u0633 \u06a9\u06cc \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc\u060c \u06a9\u0627\u0631\u0648\u0628\u0627\u0631\u06cc \u062d\u0631\u06a9\u06cc\u0627\u062a\u060c \u0627\u0648\u0631 \u062c\u063a\u0631\u0627\u0641\u06cc\u0627\u0626\u06cc \u0633\u06cc\u0627\u0633\u06cc \u0627\u06c1\u0645\u06cc\u062a \u2013 \u06c1\u0631 \u0627\u0633 \u0634\u062e\u0635 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u062a\u06cc\u0632\u06cc \u0633\u06d2 \u0627\u06c1\u0645 \u06c1\u0648\u062a\u06cc \u062c\u0627 \u0631\u06c1\u06cc \u06c1\u06d2 \u062c\u0648 \u06cc\u06c1 \u0633\u0645\u062c\u06be\u0646\u0627 \u0686\u0627\u06c1\u062a\u0627 \u06c1\u06d2 \u06a9\u06c1 \u0645\u0633\u062a\u0642\u0628\u0644 \u06a9\u06c1\u0627\u06ba \u0628\u0646\u0627\u06cc\u0627 \u062c\u0627 \u0631\u06c1\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0627\u06af\u0644\u06cc \u062f\u06c1\u0627\u0626\u06cc \u06a9\u06d2 \u062f\u0648\u0631\u0627\u0646\u060c \u06c1\u0627\u0626\u06cc-NA EUV \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u06cc\u0627 \u062c\u0627\u0626\u06d2 \u06af\u0627\u060c \u067e\u06cc\u0679\u0631\u0646\u0646\u06af \u06a9\u06cc \u0646\u0626\u06cc \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc\u0632 \u0645\u0631\u06a9\u0632\u06cc \u062f\u06be\u0627\u0631\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba \u0634\u0627\u0645\u0644 \u06c1\u0648\u06ba \u06af\u06cc\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0633\u0679\u0627\u0631\u0679 \u0627\u067e\u0633 \u06a9\u06cc \u0627\u06cc\u06a9 \u0646\u0626\u06cc \u0646\u0633\u0644 \u0645\u0627\u062d\u0648\u0644\u06cc\u0627\u062a\u06cc \u0646\u0638\u0627\u0645 \u0645\u06cc\u06ba \u062f\u0627\u062e\u0644 \u06c1\u0648\u06af\u06cc\u06d4<\/p>\n<p>\u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0627\u06ba \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0641\u0631\u0627\u062f \u062c\u0648 \u0628\u0646\u06cc\u0627\u062f\u06cc \u0628\u0627\u062a\u0648\u06ba \u06a9\u0648 \u0633\u0645\u062c\u06be\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba &#8211; \u0631\u0648\u0634\u0646\u06cc \u0627\u0648\u0631 \u0633\u0644\u06cc\u06a9\u0648\u0646 \u06a9\u06cc \u0637\u0628\u06cc\u0639\u06cc\u0627\u062a\u060c \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u0627\u0648\u0631 \u062a\u06be\u0631\u0648 \u067e\u0679 \u06a9\u06cc \u0627\u0642\u062a\u0635\u0627\u062f\u06cc\u0627\u062a\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0633\u067e\u0644\u0627\u0626\u06cc \u0686\u06cc\u0646\u0632 \u06a9\u06cc \u062c\u063a\u0631\u0627\u0641\u06cc\u0627\u0626\u06cc \u0633\u06cc\u0627\u0633\u062a &#8211; \u0622\u06af\u06d2 \u06a9\u06cc\u0627 \u06c1\u0648\u062a\u0627 \u06c1\u06d2 \u0627\u0633 \u067e\u0631 \u0646\u06cc\u0648\u06cc\u06af\u06cc\u0679 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0628\u06c1\u062a\u0631\u06cc\u0646 \u067e\u0648\u0632\u06cc\u0634\u0646 \u0645\u06cc\u06ba \u06c1\u0648\u06ba \u06af\u06d2\u06d4 \u06cc\u06c1 \u06c1\u06cc\u0646\u0688 \u0628\u06a9 \u0622\u067e \u06a9\u0627 \u0646\u0642\u0637\u06c1 \u0622\u063a\u0627\u0632 \u06c1\u06d2\u06d4 \u0628\u0627\u0642\u06cc \u0644\u06cc\u0628\u0632\u060c \u0641\u06cc\u0628\u0633 \u0627\u0648\u0631 \u0641\u06cc\u0644\u0688 \u0645\u06cc\u06ba \u0628\u0646\u0627\u06cc\u0627 \u06af\u06cc\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<h3 id=\"heading-ready-to-go-deeper-into-lithography-and-semiconductor-strategy\"><strong>\u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0627\u0648\u0631 \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u062d\u06a9\u0645\u062a \u0639\u0645\u0644\u06cc \u06a9\u06d2 \u0628\u0627\u0631\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba \u0645\u0632\u06cc\u062f \u062c\u0627\u0646\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06c1\u06cc\u06ba\u061f<\/strong><\/h3>\n<p>\u062c\u06cc\u0633\u0627 \u06a9\u06c1 \u06c1\u0645 \u0644\u062a\u06be\u0648\u06af\u0631\u0627\u0641\u06cc \u0645\u0634\u06cc\u0646\u0631\u06cc\u060c ASML \u062d\u0631\u06cc\u0641\u0648\u06ba\u060c \u0627\u0648\u0631 \u062c\u062f\u06cc\u062f \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0645\u06cc\u0646\u0648\u0641\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0646\u06af \u06a9\u06d2 \u0622\u063a\u0627\u0632 \u06a9\u06cc \u062c\u06af\u06c1 \u067e\u0631 \u0627\u0633 \u06c1\u06cc\u0646\u0688 \u0628\u06a9 \u06a9\u0648 \u062e\u062a\u0645 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u0627\u06cc\u06a9 \u0686\u06cc\u0632 \u0648\u0627\u0636\u062d \u06c1\u06d2: \u0645\u0633\u062a\u0642\u0628\u0644 \u0627\u0646 \u0679\u06cc\u0645\u0648\u06ba \u06a9\u0627 \u06c1\u06d2 \u062c\u0648 \u0641\u0632\u06a9\u0633\u060c \u067e\u0631\u0648\u0633\u06cc\u0633 \u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631\u0646\u06af\u060c \u0633\u067e\u0644\u0627\u0626\u06cc \u0686\u06cc\u0646 \u06a9\u06cc \u062d\u06a9\u0645\u062a \u0639\u0645\u0644\u06cc\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0633\u0627\u0641\u0679 \u0648\u06cc\u0626\u0631 \u06a9\u0648 \u062d\u0642\u06cc\u0642\u06cc\u060c \u06a9\u0627\u0645 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u0646\u0638\u0627\u0645\u0648\u06ba \u0645\u06cc\u06ba \u062c\u0648\u0691 \u0633\u06a9\u062a\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u0627\u06af\u0631 \u0622\u067e \u0645\u0632\u06cc\u062f \u0622\u06af\u06d2 \u062c\u0627\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u062a\u0648 \u0627\u067e\u0644\u0627\u0626\u06cc\u0688 AI\u060c \u0633\u06cc\u0645\u06cc \u06a9\u0646\u0688\u06a9\u0679\u0631 \u0627\u0646\u0679\u06cc\u0644\u06cc \u062c\u0646\u0633\u060c \u0627\u0648\u0631 \u06af\u06c1\u0631\u06cc \u062a\u06a9\u0646\u06cc\u06a9\u06cc \u0637\u0631\u06cc\u0642\u0648\u06ba \u0645\u06cc\u06ba LunarTech \u06a9\u06d2 \u06a9\u0627\u0645 \u06a9\u0648 \u062f\u0631\u06cc\u0627\u0641\u062a \u06a9\u0631\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p>\u062f\u0646\u06cc\u0627 \u06a9\u06cc \u062c\u062f\u06cc\u062f \u062a\u0631\u06cc\u0646 \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0648\u06ba \u0645\u06cc\u06ba AI \u06a9\u06d2 \u0639\u0644\u0645\u0628\u0631\u062f\u0627\u0631\u0648\u06ba \u06a9\u06cc \u0637\u0631\u0641 \u0633\u06d2 \u0627\u0633\u062a\u0639\u0645\u0627\u0644 \u06a9\u06cc \u062c\u0627\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06cc \u0627\u0646\u06c1\u06cc \u062d\u06a9\u0645\u062a \u0639\u0645\u0644\u06cc\u0648\u06ba \u0633\u06d2 \u062e\u0648\u062f \u06a9\u0648 \u0628\u0627\u0627\u062e\u062a\u06cc\u0627\u0631 \u0628\u0646\u0627\u0626\u06cc\u06ba\u06d4 \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u06a9\u06cc \u062a\u06cc\u0627\u0631\u06cc \u06a9\u06cc \u0627\u0646 \u062a\u06a9\u0646\u06cc\u06a9\u0648\u06ba \u0645\u06cc\u06ba \u0645\u06c1\u0627\u0631\u062a \u062d\u0627\u0635\u0644 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u0633\u06d2 \u0646\u06c1 \u0635\u0631\u0641 \u0622\u067e \u06a9\u0648 \u0641\u06cc\u0644\u0688 \u06a9\u06cc \u0631\u0641\u062a\u0627\u0631 \u06a9\u0648 \u0628\u0631\u0642\u0631\u0627\u0631 \u0631\u06a9\u06be\u0646\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba \u0645\u062f\u062f \u0645\u0644\u06d2 \u06af\u06cc \u0628\u0644\u06a9\u06c1 \u0622\u067e \u06a9\u0648 \u0641\u06cc\u0644\u0688 \u06a9\u06cc \u0648\u0636\u0627\u062d\u062a \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba \u0628\u06be\u06cc \u0645\u062f\u062f \u0645\u0644\u06d2 \u06af\u06cc\u06d4 \u0627\u06cc \u0628\u06a9 \u06cc\u06c1\u0627\u06ba \u0633\u06d2 \u0688\u0627\u0624\u0646 \u0644\u0648\u0688 \u06a9\u0631\u06a9\u06d2 \u0622\u062c \u06c1\u06cc \u0634\u0631\u0648\u0639 \u06a9\u0631\u06cc\u06ba: https:\/\/www.lunartech.ai\/download\/the-ai-engineering-handbook\u06d4<\/p>\n<h2 id=\"heading-about-lunartech-lab\"><strong>LunarTech \u0644\u06cc\u0628\u0632 \u06a9\u06d2 \u0628\u0627\u0631\u06d2 \u0645\u06cc\u06ba<\/strong><\/h2>\n<p><em>&quot;\u0627\u0635\u0644\u06cc AI. \u0627\u0635\u0644\u06cc ROI\u06d4 \u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631\u0632 \u0633\u06d2\u060c \u0633\u0644\u0627\u0626\u06cc\u0688 \u0688\u06cc\u06a9 \u0633\u06d2 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba\u06d4&#8221;<\/em><\/p>\n<p><strong>\u0644\u0648\u0646\u0627 \u0679\u06cc\u06a9 \u0644\u06cc\u0628<\/strong> AI\u060c \u0688\u06cc\u0679\u0627 \u0633\u0627\u0626\u0646\u0633\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0633\u0627\u0641\u0679 \u0648\u06cc\u0626\u0631 \u067e\u0631\u0648\u0688\u06a9\u0679\u0633\u060c \u0688\u06cc\u0679\u0627 \u067e\u0644\u06cc\u0679 \u0641\u0627\u0631\u0645\u0632\u060c \u0627\u0648\u0631 AI \u067e\u0631 \u0645\u0628\u0646\u06cc \u0633\u0633\u0679\u0645\u0632 \u0645\u06cc\u06ba \u0688\u06cc\u062c\u06cc\u0679\u0644 \u062a\u0628\u062f\u06cc\u0644\u06cc \u0645\u06cc\u06ba \u0645\u06c1\u0627\u0631\u062a \u0631\u06a9\u06be\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u0627 \u0627\u06cc\u06a9 \u06af\u06c1\u0631\u06cc \u0679\u06cc\u06a9\u0646\u0627\u0644\u0648\u062c\u06cc \u0627\u062e\u062a\u0631\u0627\u0639\u06cc \u067e\u0627\u0631\u0679\u0646\u0631\u06d4<\/p>\n<p>\u06c1\u0645 \u062d\u0642\u06cc\u0642\u06cc \u0646\u0638\u0627\u0645 \u0628\u0646\u0627\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u067e\u0627\u0648\u0631\u067e\u0648\u0627\u0626\u0646\u0679 \u06a9\u06cc \u062d\u06a9\u0645\u062a \u0639\u0645\u0644\u06cc \u0646\u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u06c1\u0645\u0627\u0631\u06cc \u0679\u06cc\u0645 AI \u06a9\u0648 \u0688\u06cc\u0632\u0627\u0626\u0646 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u067e\u0631\u0648\u0688\u06a9\u0679\u060c \u0688\u06cc\u0679\u0627\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631\u0646\u06af \u06a9\u06cc \u0645\u06c1\u0627\u0631\u062a \u06a9\u0648 \u06cc\u06a9\u062c\u0627 \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u06c1\u06d2 \u062c\u0648 \u0642\u0627\u0628\u0644 \u067e\u06cc\u0645\u0627\u0626\u0634\u060c \u0628\u0631\u0642\u0631\u0627\u0631 \u0631\u06a9\u06be\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0642\u0627\u0628\u0644\u060c \u0627\u0648\u0631 \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06c1\u06d2\u06d4 \u06c1\u0645 \u0648\u06cc\u0646\u0688\u0631 \u063a\u06cc\u0631 \u062c\u0627\u0646\u0628\u062f\u0627\u0631 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u0639\u0627\u0644\u0645\u06cc \u0633\u0637\u062d \u067e\u0631 \u062a\u0642\u0633\u06cc\u0645 \u0634\u062f\u06c1\u060c \u0627\u0648\u0631 \u062d\u0642\u06cc\u0642\u06cc \u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631\u0646\u06af \u067e\u0631 \u0645\u0628\u0646\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u06c1\u0627\u0626\u067e \u067e\u0631 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u06c1\u0645\u0627\u0631\u0627 \u0645\u0627\u0688\u0644 \u0645\u063a\u0631\u0628\u06cc \u06cc\u0648\u0631\u067e\u06cc \u0627\u0648\u0631 \u0634\u0645\u0627\u0644\u06cc \u0627\u0645\u0631\u06cc\u06a9\u06c1 \u06a9\u06cc \u0642\u06cc\u0627\u062f\u062a \u06a9\u0648 \u0627\u06cc\u06a9 \u0627\u0639\u0644\u06cc \u06a9\u0627\u0631\u06a9\u0631\u062f\u06af\u06cc \u06a9\u0627 \u0645\u0638\u0627\u06c1\u0631\u06c1 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06cc \u062a\u06a9\u0646\u06cc\u06a9\u06cc \u0679\u06cc\u0645 \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be \u062c\u0648\u0691\u062a\u0627 \u06c1\u06d2 \u062c\u0648 \u0628\u06af \u0641\u0648\u0631 \u06a9\u06cc \u0642\u06cc\u0645\u062a \u06a9\u06d2 70% \u067e\u0631 \u0639\u0627\u0644\u0645\u06cc \u0645\u0639\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u06cc \u062e\u062f\u0645\u0627\u062a \u0641\u0631\u0627\u06c1\u0645 \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<h3 id=\"heading-how-we-work-from-scratch-in-four-phases\">\u06c1\u0645 \u06a9\u06cc\u0633\u06d2 \u06a9\u0627\u0645 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba \u2014 \u0634\u0631\u0648\u0639 \u0633\u06d2 4 \u0645\u0631\u0627\u062d\u0644 \u0645\u06cc\u06ba<\/h3>\n<p><strong>1. \u0688\u0633\u06a9\u0648\u0631\u06cc \u0633\u067e\u0631\u0646\u0679 (2-4 \u06c1\u0641\u062a\u06d2):<\/strong> \u06c1\u0645 \u0688\u06cc\u0679\u0627 \u0627\u0648\u0631 ROI \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be \u0634\u0631\u0648\u0639 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u06cc\u06c1 \u06a9\u0648\u0626\u06cc \u0645\u0641\u0631\u0648\u0636\u06c1 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06c1\u06d2 \u06a9\u06c1 \u0627\u0633 \u0628\u0627\u062a \u06a9\u06cc \u0648\u0636\u0627\u062d\u062a \u06a9\u06cc \u062c\u0627\u0626\u06d2 \u06a9\u06c1 \u06a9\u06cc\u0627 \u062a\u0639\u0645\u06cc\u0631 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0642\u0627\u0628\u0644 \u06c1\u06d2\u060c \u06a9\u06cc\u0627 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0633 \u067e\u0631 \u06a9\u062a\u0646\u06cc \u0644\u0627\u06af\u062a \u0622\u0626\u06d2 \u06af\u06cc\u06d4<\/p>\n<p><strong>2. \u062a\u0635\u0648\u0631 \u06a9\u0627 \u067e\u0627\u0626\u0644\u0679\/ \u062b\u0628\u0648\u062a (8-12 \u06c1\u0641\u062a\u06d2):<\/strong> \u06c1\u0645 \u0627\u06c1\u0645 \u062e\u06cc\u0627\u0644\u0627\u062a \u06a9\u0648 \u062a\u06cc\u0632\u060c \u062a\u0648\u062c\u06c1 \u0645\u0631\u06a9\u0648\u0632 \u0627\u0648\u0631 \u0642\u0627\u0628\u0644 \u067e\u06cc\u0645\u0627\u0626\u0634 \u0637\u0631\u06cc\u0642\u06d2 \u0633\u06d2 \u067e\u0631\u0648\u0679\u0648 \u0679\u0627\u0626\u067e \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u06cc\u06c1 \u0645\u0631\u062d\u0644\u06c1 \u0627\u0633\u06a9\u06cc\u0644\u0646\u06af \u0633\u06d2 \u067e\u06c1\u0644\u06d2 \u0645\u0627\u0688\u0644\u060c \u0627\u0646\u0636\u0645\u0627\u0645 \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0635\u0644 ROI \u06a9\u06cc \u062c\u0627\u0646\u0686 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p><strong>3. \u0645\u06a9\u0645\u0644 \u0646\u0641\u0627\u0630 (6-12 \u0645\u0627\u06c1):<\/strong> \u06c1\u0645 \u0627\u067e\u0646\u06d2 \u062d\u0644 \u06a9\u0648 \u0635\u0646\u0639\u062a\u06cc \u0628\u0646\u0627\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u0628\u0634\u0645\u0648\u0644 \u0645\u062d\u0641\u0648\u0638 \u0688\u06cc\u0679\u0627 \u067e\u0627\u0626\u067e \u0644\u0627\u0626\u0646\u0632\u060c \u067e\u0631\u0648\u0688\u06a9\u0634\u0646 \u06af\u0631\u06cc\u0688 \u0645\u0627\u0688\u0644\u060c \u0645\u06a9\u0645\u0644 \u062a\u0639\u0645\u06cc\u0644\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0622\u067e \u06a9\u06cc \u0679\u06cc\u0645\u0648\u06ba \u06a9\u0648 \u0639\u0644\u0645 \u06a9\u06cc \u0645\u0646\u062a\u0642\u0644\u06cc\u06d4<\/p>\n<p><strong>4. \u0645\u0646\u0638\u0645 \u062e\u062f\u0645\u0627\u062a (\u062c\u0627\u0631\u06cc):<\/strong> \u06c1\u0645 \u062c\u0627\u0631\u06cc ROI \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0622\u067e \u06a9\u06d2 AI \u0645\u0627\u0688\u0644\u0632 \u06a9\u0648 \u0628\u0631\u0642\u0631\u0627\u0631 \u0631\u06a9\u06be\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u062f\u0648\u0628\u0627\u0631\u06c1 \u062a\u0631\u0628\u06cc\u062a \u062f\u06cc\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba \u0627\u0648\u0631 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u0633\u06c1 \u0645\u0627\u06c1\u06cc \u062c\u0627\u0626\u0632\u06d2 \u0627\u0633 \u0628\u0627\u062a \u06a9\u0648 \u06cc\u0642\u06cc\u0646\u06cc \u0628\u0646\u0627\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba \u06a9\u06c1 \u06a9\u0627\u0631\u06a9\u0631\u062f\u06af\u06cc \u0648\u0642\u062a \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be \u0628\u06c1\u062a\u0631 \u06c1\u0648 \u0631\u06c1\u06cc \u06c1\u06d2 \u0627\u0648\u0631 \u062e\u0631\u0627\u0628 \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u06c1\u0648 \u0631\u06c1\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4 \u0686\u0648\u0646\u06a9\u06c1 \u06c1\u0645 LunarTech \u0627\u06a9\u06cc\u0688\u0645\u06cc \u06a9\u06d2 \u0645\u0627\u0644\u06a9 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u06c1\u0645 \u0627\u067e\u0646\u06d2 \u0635\u0627\u0631\u0641\u06cc\u0646 \u06a9\u06cc \u062a\u06a9\u0646\u06cc\u06a9\u06cc \u0679\u06cc\u0645\u0648\u06ba \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u062d\u0633\u0628 \u0636\u0631\u0648\u0631\u062a \u062a\u0631\u0628\u06cc\u062a \u0628\u06be\u06cc \u0628\u0646\u0627\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba \u062a\u0627\u06a9\u06c1 \u0648\u06c1 \u06c1\u0645\u0627\u0631\u06d2 \u0628\u063a\u06cc\u0631 \u06a9\u0627\u0645 \u062c\u0627\u0631\u06cc \u0631\u06a9\u06be \u0633\u06a9\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p>\u062a\u0645\u0627\u0645 \u0645\u0646\u0635\u0648\u0628\u06d2 \u0688\u06cc\u0632\u0627\u0626\u0646 \u06a9\u06cc\u06d2 \u06af\u0626\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 <strong>\u0634\u0631\u0648\u0639 \u0633\u06d2<\/strong>\u067e\u0631\u0648\u0688\u06a9\u0679 \u06a9\u06d2 \u0639\u0644\u0645\u060c \u0688\u06cc\u0679\u0627 \u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631\u0646\u06af\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0644\u0627\u06af\u0648 AI \u062a\u062d\u0642\u06cc\u0642 \u06a9\u0648 \u0645\u0631\u0628\u0648\u0637 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<h3 id=\"heading-why-lunartech-lab\">LunarTech \u0644\u06cc\u0628 \u06a9\u06cc\u0648\u06ba\u061f<\/h3>\n<p>LunarTech Lab \u062d\u06a9\u0645\u062a \u0639\u0645\u0644\u06cc \u0627\u0648\u0631 \u062d\u0642\u06cc\u0642\u06cc \u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631\u0646\u06af \u06a9\u06d2 \u062f\u0631\u0645\u06cc\u0627\u0646 \u0641\u0631\u0642 \u06a9\u0648 \u062e\u062a\u0645 \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u06c1\u06d2 \u062c\u0633 \u06a9\u06cc \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u062a\u0631 \u062d\u0631\u06cc\u0641\u0648\u06ba \u0645\u06cc\u06ba \u06a9\u0645\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4 \u0631\u0648\u0627\u06cc\u062a\u06cc \u0645\u0634\u0627\u0648\u0631\u062a\u06cc \u0641\u0631\u0645\u06cc\u06ba\u060c \u0628\u0634\u0645\u0648\u0644 \u0628\u06af \u0641\u0648\u0631\u060c \u0641\u0631\u06cc\u0645 \u0648\u0631\u06a9 \u0641\u0631\u0648\u062e\u062a \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba \u0646\u06c1 \u06a9\u06c1 \u0633\u0633\u0679\u0645\u0632 &#8211; \u0645\u06c1\u0646\u06af\u06cc \u0633\u0644\u0627\u0626\u06cc\u0688 \u0688\u06cc\u06a9 \u062c\u0633 \u067e\u0631 \u0628\u06c1\u062a \u06a9\u0645 \u0639\u0645\u0644\u062f\u0631\u0622\u0645\u062f \u06c1\u0648\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u06c1\u0645 \u0648\u06c1\u06cc \u0627\u0633\u0679\u0631\u06cc\u0679\u062c\u06a9 \u0648\u0636\u0627\u062d\u062a \u0641\u0631\u0627\u06c1\u0645 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u0644\u06cc\u06a9\u0646 \u062a\u0642\u0631\u06cc\u0628\u0627\u064b 70% \u0644\u0627\u06af\u062a \u067e\u0631\u060c \u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631\u0632 \u0627\u0648\u0631 \u0688\u06cc\u0679\u0627 \u0633\u0627\u0626\u0646\u0633\u062f\u0627\u0646\u0648\u06ba \u0633\u06d2 \u062c\u0648 \u0648\u06c1 \u0688\u06cc\u0632\u0627\u0626\u0646 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u06a9\u0644\u0627\u0624\u0688 \u0641\u0631\u0627\u06c1\u0645 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u0648\u0627\u0644\u06d2 \u0627\u067e\u0646\u06d2 \u0627\u0633\u0679\u06cc\u06a9 \u06a9\u0648 \u0622\u06af\u06d2 \u0628\u0691\u06be\u0627\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba \u0627\u0648\u0631 \u06a9\u0644\u0627\u0626\u0646\u0679\u0633 \u06a9\u0648 \u0644\u0627\u06a9 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 LunarTech \u0648\u06cc\u0646\u0688\u0631 \u063a\u06cc\u0631 \u062c\u0627\u0646\u0628\u062f\u0627\u0631 \u06c1\u06d2\u06d4 \u06c1\u0645 \u0622\u0632\u0627\u062f\u06cc \u0627\u0648\u0631 \u0637\u0648\u06cc\u0644 \u0645\u062f\u062a\u06cc \u0644\u0686\u06a9 \u06a9\u0648 \u06cc\u0642\u06cc\u0646\u06cc \u0628\u0646\u0627\u062a\u06d2 \u06c1\u0648\u0626\u06d2\u060c \u0622\u067e \u06a9\u06d2 \u0627\u06c1\u062f\u0627\u0641 \u06a9\u06d2 \u0645\u0637\u0627\u0628\u0642 \u0628\u06c1\u062a\u0631\u06cc\u0646 \u0627\u0646\u062a\u062e\u0627\u0628 \u06a9\u0631\u06cc\u06ba \u06af\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u0622\u0624\u0679 \u0633\u0648\u0631\u0633\u0646\u06af \u06a9\u0645\u067e\u0646\u06cc\u0627\u06ba \u062c\u062f\u062a \u06a9\u06d2 \u0628\u063a\u06cc\u0631 \u06a9\u0627\u0645 \u06a9\u0631\u062a\u06cc \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 LunarTech \u0627\u06cc\u06a9 R&#038;D \u067e\u0627\u0631\u0679\u0646\u0631 \u06a9\u06cc \u0637\u0631\u062d \u06a9\u0627\u0645 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u060c \u067e\u06c1\u0644\u06d2 \u0627\u0635\u0648\u0644\u0648\u06ba \u06a9\u06cc \u0628\u0646\u06cc\u0627\u062f \u067e\u0631 \u0622\u0626\u06cc \u067e\u06cc \u06a9\u0648 \u062a\u062e\u0644\u06cc\u0642 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2 \u0627\u0648\u0631 \u0642\u0627\u0628\u0644 \u067e\u06cc\u0645\u0627\u0626\u0634 ROI \u0641\u0631\u0627\u06c1\u0645 \u06a9\u0631\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u06d4<\/p>\n<p>\u062f\u0631\u06cc\u0627\u0641\u062a \u0633\u06d2 \u0644\u06d2 \u06a9\u0631 \u062a\u0639\u06cc\u0646\u0627\u062a\u06cc \u062a\u06a9\u060c \u06c1\u0645 \u062d\u06a9\u0645\u062a \u0639\u0645\u0644\u06cc\u060c \u0633\u0627\u0626\u0646\u0633 \u0627\u0648\u0631 \u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631\u0646\u06af \u06a9\u0648 \u0627\u06cc\u06a9 \u0639\u0632\u0645 \u0645\u06cc\u06ba \u06cc\u06a9\u062c\u0627 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u06c1\u0645 \u0633\u0644\u0627\u0626\u06cc\u0688\u06cc\u06ba \u0646\u06c1\u06cc\u06ba \u0628\u06cc\u0686\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4 \u06c1\u0645 \u0645\u0648\u062b\u0631 \u0627\u0646\u0679\u06cc\u0644\u06cc \u062c\u0646\u0633 \u0641\u0631\u0627\u06c1\u0645 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<h3 id=\"heading-stay-connected-with-lunartech\">LunarTech \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be \u062c\u0691\u06d2 \u0631\u06c1\u06cc\u06ba<\/h3>\n<p>LunarTech \u0646\u06cc\u0648\u0632 \u0644\u06cc\u0679\u0631 \u0645\u06cc\u06ba LunarTech Lab \u06a9\u0648 \u0641\u0627\u0644\u0648 \u06a9\u0631\u06cc\u06ba\u06d4 <strong>\u0627\u0648\u0631<\/strong> <strong>\u0644\u0646\u06a9\u0688<\/strong><strong>\u060c<\/strong> \u06cc\u06c1 \u0648\u06c1 \u062c\u06af\u06c1 \u06c1\u06d2 \u062c\u06c1\u0627\u06ba \u062c\u062f\u062a \u062d\u0642\u06cc\u0642\u06cc \u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631\u0646\u06af \u0633\u06d2 \u0645\u0644\u062a\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4 \u0627\u067e\u0644\u0627\u0626\u06cc\u0688 AI \u0627\u0648\u0631 \u0633\u0627\u0641\u0679 \u0648\u06cc\u0626\u0631 \u0688\u0648\u06cc\u0644\u067e\u0645\u0646\u0679 \u0645\u06cc\u06ba \u0633\u0628 \u0633\u06d2 \u0622\u06af\u06d2 \u0633\u06d2 \u0628\u0635\u06cc\u0631\u062a\u060c \u067e\u0631\u0648\u062c\u06cc\u06a9\u0679 \u06a9\u06cc \u06a9\u06c1\u0627\u0646\u06cc\u0627\u06ba\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0635\u0646\u0639\u062a \u06a9\u06cc \u0627\u062e\u062a\u0631\u0627\u0639\u0627\u062a \u062d\u0627\u0635\u0644 \u06a9\u0631\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<h3 id=\"heading-lunartech-academy-build-the-future\">LunarTech \u0627\u06a9\u06cc\u0688\u0645\u06cc &#8211; \u0645\u0633\u062a\u0642\u0628\u0644 \u06a9\u06cc \u062a\u0639\u0645\u06cc\u0631<\/h3>\n<p>\u0627\u06af\u0631 \u0622\u067e Claude Code \u0633\u06d2 \u0645\u062a\u0627\u062b\u0631 \u06c1\u06cc\u06ba \u0627\u0648\u0631 AI \u06a9\u06cc \u0645\u062f\u062f \u0633\u06d2 \u062a\u0631\u0642\u06cc \u06a9\u0648 \u06a9\u06cc\u0627 \u0645\u0645\u06a9\u0646 \u0628\u0646\u0627\u062a\u0627 \u06c1\u06d2\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0627\u06af\u0644\u06cc \u062e\u0637\u0648\u0637 \u067e\u0631 \u06a9\u0627\u0645 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0627\u067e\u0646\u06cc \u0635\u0644\u0627\u062d\u06cc\u062a\u0648\u06ba \u06a9\u0648 \u0628\u0691\u06be\u0627\u0646\u0627 \u0686\u0627\u06c1\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u062a\u0648 https:\/\/academy.lunartech.ai \u0645\u06cc\u06ba \u0634\u0627\u0645\u0644 \u06c1\u0648\u0646\u06d2 \u067e\u0631 \u063a\u0648\u0631 \u06a9\u0631\u06cc\u06ba\u06d4 \u06c1\u0645\u0627\u0631\u06d2 \u067e\u0631\u0648\u06af\u0631\u0627\u0645\u0648\u06ba \u0645\u06cc\u06ba AI \u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631\u0646\u06af\u060c \u0645\u0634\u06cc\u0646 \u0644\u0631\u0646\u0646\u06af\u060c \u0688\u06cc\u0679\u0627 \u0633\u0627\u0626\u0646\u0633\u060c \u0627\u0648\u0631 \u0627\u067e\u0644\u0627\u0626\u06cc\u0688 \u0688\u06cc\u0648\u0644\u067e\u0645\u0646\u0679 \u06a9\u0627 \u0627\u062d\u0627\u0637\u06c1 \u06a9\u06cc\u0627 \u06af\u06cc\u0627 \u06c1\u06d2\u060c \u062c\u0648 \u0622\u067e \u06a9\u0648 \u0639\u0645\u0644\u06cc\u060c \u0635\u0646\u0639\u062a \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u0645\u06c1\u0627\u0631\u062a \u0641\u0631\u0627\u06c1\u0645 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba \u062c\u0633 \u06a9\u06cc \u0622\u067e \u06a9\u0648 \u067e\u0631\u0648\u0688\u06a9\u0634\u0646 \u0633\u0633\u0679\u0645 \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2\u060c AI \u0627\u06cc\u062c\u0646\u0679\u0648\u06ba \u06a9\u0648 \u0645\u0624\u062b\u0631 \u0637\u0631\u06cc\u0642\u06d2 \u0633\u06d2 \u06c1\u062f\u0627\u06cc\u062a \u06a9\u0631\u0646\u06d2\u060c \u0627\u0648\u0631 \u062c\u06c1\u0627\u0632 \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u0641\u0679 \u0648\u06cc\u0626\u0631 \u062c\u0648 \u062d\u0642\u06cc\u0642\u062a \u0645\u06cc\u06ba \u06a9\u0627\u0645 \u06a9\u0631\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<p>\u0686\u0627\u06c1\u06d2 \u0622\u067e \u0627\u06cc\u06a9 \u0688\u0648\u06cc\u0644\u067e\u0631 \u06c1\u06cc\u06ba \u062c\u0648 \u0633\u0637\u062d \u06a9\u0648 \u0628\u0691\u06be\u0627\u0646\u0627 \u0686\u0627\u06c1\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u0627\u06cc\u06a9 \u0628\u0627\u0646\u06cc \u062c\u0648 \u0645\u06a9\u0645\u0644 \u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631\u0646\u06af \u0679\u06cc\u0645 \u06a9\u06d2 \u0628\u063a\u06cc\u0631 \u062a\u0639\u0645\u06cc\u0631 \u06a9\u0631\u0646\u0627 \u0686\u0627\u06c1\u062a\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u06cc\u0627 \u0627\u06cc\u06a9 \u0688\u0648\u0645\u06cc\u0646 \u0645\u0627\u06c1\u0631 \u062c\u0648 \u0622\u067e \u06a9\u06d2 \u0639\u0644\u0645 \u06a9\u0648 \u0642\u0627\u0628\u0644 \u0639\u0645\u0644 \u0633\u0627\u0641\u0679 \u0648\u06cc\u0626\u0631 \u0645\u06cc\u06ba \u062a\u0628\u062f\u06cc\u0644 \u06a9\u0631\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u062a\u06cc\u0627\u0631 \u06c1\u06d2\u060c LunarTech \u0627\u06a9\u06cc\u0688\u0645\u06cc \u0627\u0633 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2 \u0628\u0646\u0627\u0626\u06cc \u06af\u0626\u06cc \u06c1\u06d2 \u062c\u06c1\u0627\u06ba \u0622\u067e \u062c\u0627 \u0631\u06c1\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u060c \u0646\u06c1 \u06a9\u06c1 \u0622\u067e \u062c\u06c1\u0627\u06ba \u06af\u0626\u06d2 \u06c1\u06cc\u06ba\u06d4<\/p>\n<\/p><\/div>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>\u0622\u067e \u06a9\u06d2 \u0633\u0645\u0627\u0631\u0679 \u0641\u0648\u0646 \u06a9\u06d2 \u0627\u0646\u062f\u0631 \u0645\u0648\u062c\u0648\u062f \u0686\u067e \u0633\u0628 \u0633\u06d2 \u0632\u06cc\u0627\u062f\u06c1 \u062f\u0631\u0633\u062a \u0645\u06cc\u0646\u0648\u0641\u06cc\u06a9\u0686\u0631\u0646\u06af \u06a9\u06d2 \u0639\u0645\u0644 \u06a9\u06cc \u067e\u06cc\u062f\u0627\u0648\u0627\u0631 \u06c1\u06d2 \u062c\u0648 \u0627\u0628 \u062a\u06a9 \u0628\u0646\u06cc \u0646\u0648\u0639 \u0627\u0646\u0633\u0627\u0646 \u0646\u06d2 \u0648\u0636\u0639 \u06a9\u06cc \u06c1\u06d2\u06d4 \u0627\u0633\u06d2 \u0628\u0646\u0627\u0646\u06d2 \u06a9\u06d2 \u0644\u06cc\u06d2\u060c \u0627\u0646\u062c\u06cc\u0646\u0626\u0631\u0632 \u06a9\u0648 \u0635\u0646\u0639\u062a\u06cc \u067e\u06cc\u0645\u0627\u0646\u06d2 \u067e\u0631 \u062a\u0642\u0631\u06cc\u0628\u0627\u064b \u06a9\u0627\u0645\u0644 \u062f\u0631\u0633\u062a\u06af\u06cc \u06a9\u06d2 \u0633\u0627\u062a\u06be \u0633\u0644\u06cc\u06a9\u0648\u0646 \u0648\u06cc\u0641\u0631 \u067e\u0631 \u0627\u0631\u0628\u0648\u06ba \u0628\u0627\u0631 \u0648\u0627\u0626\u0631\u0633 \u0633\u06d2 \u0686\u06be\u0648\u0679\u06d2 \u067e\u06cc\u0679\u0631\u0646 \u06a9\u06be\u06cc\u0646\u0686\u0646\u0627 \u0686\u0627\u06c1\u06cc\u06d2\u06d4 \u062c\u0648 \u0645\u0634\u06cc\u0646\u06cc\u06ba [&hellip;]<\/p>\n","protected":false},"author":7,"featured_media":0,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","ast-disable-related-posts":"","theme-transparent-header-meta":"","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"default","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-4)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-4)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-4)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"footnotes":""},"categories":[1],"tags":[],"class_list":["post-23635","post","type-post","status-publish","format-standard","hentry","category-blog"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/umang.pk\/en_us\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/23635","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/umang.pk\/en_us\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/umang.pk\/en_us\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/umang.pk\/en_us\/wp-json\/wp\/v2\/users\/7"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/umang.pk\/en_us\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=23635"}],"version-history":[{"count":0,"href":"https:\/\/umang.pk\/en_us\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/23635\/revisions"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/umang.pk\/en_us\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=23635"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/umang.pk\/en_us\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=23635"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/umang.pk\/en_us\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=23635"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}